【課題】 電圧が印加された場合に放電が生じる等の不都合が生じず、かつ高い熱伝導率を維持しつつ、低い体積抵抗率を有する窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた静電チャックを提供すること。
【解決手段】 ランタノイド元素を酸化物換算の含有量で、０．５質量％以上、７質量％以下含有させて、窒化アルミニウム結晶の粒界にランタノイド元素とアルミニウムとの複合酸化物が形成され、常温での体積抵抗率が１×１０^９〜１×１０^１４Ω・ｃｍである窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより被吸着体１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】脱粒粉塵の発生が少ない窒化アルミニウム質焼結体、例えばガスノズルを提供すること。
【解決手段】少なくとも表面部が窒化アルミニウムを主成分とする粒子を焼結してなり、周囲を前記窒化アルミニウムを主成分とする粒子により囲まれて表面側に開口する複数の凹部を有した基材と、希土類元素とアルミニウムとを含む複合酸化物から成り、一部が前記凹部内に充填され、他部が前記凹部間を連結するように前記基材の表面部上に形成された被膜と、を含むこと。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微細なＢＮ粒子がＡｌＮマトリックス中に均一分散したＡｌＮ・ＢＮ複合粉末を提供することを目的としている。
【解決手段】窒化ホウ素と窒化アルミニウムとが複合化されてなるＡｌＮ・ＢＮ複合粉末であって、該複合粉末の比表面積Ｘ(m²/g)と、該複合粉末を下記条件で成形焼結したＡｌＮ・ＢＮ複合焼結体のヤング率Ｙ(GPa)とが、下記式を満足するＡｌＮ・ＢＮ複合粉末：0.8≦Ｘ×5.5/(323−Ｙ) 成形焼結条件：ＡｌＮ・ＢＮ複合粉末１００重量部に対して、焼結助剤として５．２６重量部のY₂O₃を加え、エタノールを分散媒として湿式ボールミル混合した後、乾燥させた。Ｙ₂Ｏ₃焼結助剤を混合した原料粉末を35mm×45mm×5mmの角柱状
に加重50ｋｇ/cm²で一軸加圧成形し、続いて200MPaで静水圧プレスを行い焼結用ペレットを成形した。ペレットを、多目的雰囲気炉（富士電波工業社製、ハイマルチ10K）を用い
て窒素雰囲気中、1800℃で1時間常圧焼結し、測定サンプルとした。 （もっと読む）

【課題】焼成炉内の雰囲気が窒化アルミニウム成形体に接触しないように遮断することが可能な窒化アルミニウムの焼成方法とその焼成用治具を提供する。
【解決手段】焼成用治具１ａはベース３ａとこのベース３ａの上部を覆う蓋部３ｂとからなり、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素のいずれかを主成分とする坩堝３と、底板５と枠体６とからなり、窒化ホウ素及び窒化アルミニウムなどの窒化物セラミックス又はモリブデン及びタングステンなどの高融点金属のいずれかを主成分とするセッター４とから構成され、枠体６は枠板片６ａ〜６ｃとから構成される。 （もっと読む）

【課題】板等の固体の成膜面に蒸着により薄膜を形成する場合に蒸着用材料の加熱に使用され、加熱により溶融、蒸発させる蒸着用材料の溶融物の耐濡れ性に優れた分子線源用坩堝を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウム焼結体により構成され、且つ、少なくとも内壁面を構成する窒化アルミニウム焼結体が、アルミニウム以外の金属元素の総濃度が５００質量ｐｐｍ以下であり、且つ、酸素濃度が１．０質量％以下である、薄膜堆積用分子線源用坩堝１０。坩堝１０は、窒化アルミニウム焼結体のバルクを製造した後、この窒化アルミニウム焼結体のバルクを非酸化性雰囲気下で、冷却しながら切削加工して坩堝１０の形状とする。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板上に無電解メッキにより直接金属膜を形成することによってメタライズドセラミック基板を製造する方法において、信頼性が高く、十分な密着強度が得られるメタライズドセラミック基板を作製可能な方法を提供すること。
【解決手段】表面に導電層または導電ペースト層を有していてもよいセラミック基板からなる原料基板を準備する工程（Ａ）と、該原料基板上にセラミックペースト層を形成し、該セラミックペースト層を焼成しセラミック焼結体層を形成する工程（Ｂ）と、該セラミック焼結体層上に無電解メッキにより金属膜を形成する工程（Ｃ）と、を含むメタライズドセラミック基板の製造方法。 （もっと読む）

ドープされた及びドープされていない化学量論的な高純度の多結晶ＡｌＮセラミックスの製造が、例えばＡｌペレットを窒素ガスと反応させることによって行われる。このような多結晶ＡｌＮセラミックスは、高純度のＡｌＮ単結晶の製造で使用することができ、このＡｌＮ単結晶は、その導電性を増大させるためにアニールすることがでる。 （もっと読む）

【課題】焼結後の加工によって透光性が低下した窒化アルミニウム焼結体について、簡単な手段で、透光性を回復する手段を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係る中空形状の窒化アルミニウム焼結体は、可視光領域における光線透過率が８７％以上であることを特徴としている。このような透光性の改善された窒化アルミニウム焼結体は、通常の窒化アルミニウム焼結体を、不活性雰囲気中１３００〜１４００℃で１時間以上熱処理することで得られる。 （もっと読む）

【課題】１５００℃以下の低温焼成によってＡＬＯＮ粉末を製造すること。
【解決手段】金属アルミニウム粉末と水酸化アルミニウム粉末を含む成型物を窒化した後、粉砕することを特徴とする酸窒化アルミニウム粉末の製造方法。本発明においては、成型物の金属アルミニウム粉末と水酸化アルミニウム粉末の含有率が、それぞれ１０〜３０質量％、７０〜９０質量％であり、成型物が２〜８ＭＰａの圧力で成形されたものであることが好ましい。また、成型物が、開通孔の複数を有するものであることが更に好ましい。 （もっと読む）

【課題】研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を提供する。
【解決手段】粒界強度を向上させると共に、且つ、焼結処理中に窒化アルミニウムと固溶することにより粒界相として存在しなくなるＳｉＯ_２又はＭｇＯを窒化アルミニウム粉末に微量添加し、１６００［℃］以上１７５０［℃］以下の低温で窒化アルミニウム粉末を焼結することにより、研磨による平坦性に優れた窒化アルミニウム焼結体を製造できることを知見した。 （もっと読む）