【課題】 簡便かつ部材を汚染することのない方法で、表面の濡れ性を制御したセラミックス部材およびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 ＡｌＮ、Ａｌ₂Ｏ₃、ＳｉＣ、Ｓｉ₃Ｎ₄から選ばれる一種の材料を主成分として９５重量％以上含むセラミック部材の表面粗さＲａを０．５μｍ以下に研磨する工程と、該セラミック部材を４００〜９００℃で加熱処理する工程と、該セラミック部材をアルコール中に浸漬する工程と、該セラミック部材を１００℃以上で乾燥する工程と、を含む製造方法により、該セラミック部材表面の水滴との接触角が６０°〜１２０°であるセラミック部材を得る。 （もっと読む）

【課題】多結晶体の格子欠陥、結晶粒界、及び微細な空隙（Pore）を低減する。
【解決手段】多結晶バルク体又は多結晶膜からなる多結晶体に対して、周期数２回以上のサイクルアニールを実施する。下記式（１）、特に下記式（２）を充足する条件で、サイクルアニールを実施することが好ましい。
０．４５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｌ＜Ｔ_Ｈ＜Ｔ_ｍ・・・（１）、
０．４５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｌ＜Ｔ_Ｈ、０．５５Ｔ_ｍ≦Ｔ_Ｈ＜Ｔ_ｍ・・・（２）
（式中、Ｔ_ｍは多結晶体の融点（Ｋ）である。融点がなく、溶融せずに昇華する性質を有する多結晶体の場合には、Ｔ_ｍは昇華温度（Ｋ）とする。ただし、多結晶体が焼結助剤を含む多結晶セラミックスからなる場合、Ｔ_ｍは焼結助剤の融点（Ｋ）とする。Ｔ_Ｌ（Ｋ）はサイクルアニールの最低温度、Ｔ_Ｈ（Ｋ）はサイクルアニールの最高温度である。） （もっと読む）

【課題】窒化アルミニウム基板の再生方法及び再生した窒化アルミニウム基板を使用した回路基板を提供する。
【解決手段】焼結助剤中にＭｇＯを含まない窒化アルミニウム焼結体の表面にＭｇを含むロウ材が存在する窒化アルミニウム基板を、１７００〜１７８０℃にて加熱してロウ材を除去することを特徴とする窒化アルミニウム基板の再生方法であり、前記再生方法で再生した窒化アルミニウム基板を使用することを特徴とする回路基板である。 （もっと読む）

【課題】基材を汚染することがなくしかも読み取り精度の良好な識別情報を備えるセラミックス基材、該セラミックス基材を含むセラミックス製品等を提供する。
【解決手段】セラミックス基材の表面に、酸素欠損により変色した酸素欠損領域からなる識別要素を含む識別情報を表示する識別情報表示部を形成する。こうすることで、汚染を抑制しつつ読み取り精度の良好な識別情報表示部を形成できる。 （もっと読む）

【課題】特別な工程や添加剤等を必要とせずに、種々の仕様用途に応じて制御された細孔径や気孔率等を有する炭化珪素系多孔質成形体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素系多孔質成形体の表面にＳｉＣＯからなる層を形成することにより、細孔を制御した炭化珪素系多孔質成形体を製造する。炭化珪素系多孔質成形体としては、平均細孔径０．２〜２ｎｍ、平均気孔率３０〜７０％、比表面積１０〜１０００ｍ^２／ｇの成形体を得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、導電性ＡｌＮからなる導電性セラミックス及びその製造方法並びにその導電性セラミックスを用いた半導体製造装置用部材に関する。
従来のＡｌＮセラミックスでは室温で高い導電性を得ることは困難であったが、本発明の導電性ＡｌＮからなる導電性セラミックスは、粒界相に希土類窒化物を含んでおり、該希土類窒化物が三次元的に網目状に連続した導電ネットワークを形成し、室温における導電率が１０^−１０Ｓ／ｃｍ以上となる。
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【課題】β”−Ａｌ_２Ｏ_３構造を有する固体カリウムイオン伝導体、その製造方法、及び、該カリウムイオン伝導体を用いることによるカリウムの製造方法の提供。
【解決手段】多結晶質アルカリ金属β”−Ａｌ_２Ｏ_３モールディングをカリウムとアルミニウムを含有している酸化物粉末に埋め込み、少なくとも１００℃／Ｈｒで少なくとも１１００℃に加熱し、更に少なくとも１３００℃に加熱し、この温度で少なくとも１時間維持した後に冷却することによって、固体カリウムイオン伝導体を得る。カリウム金属は、カリウムアマルガムを原料とし、カリウムアマルガムを含有するアノード１６と固体カリウムイオン伝導体からなる固体電解質管１の内部に充填された液体カリウム金属からなるカソード１７を用いて電気分解することにより生成し、パラフィンが充填された不活性雰囲気にある容器２０中に導かれ、球体２３の形状で固化させらることによって得られる。 （もっと読む）

セラミックス焼結体切削工具の表面に均一に分布した直線状の転位の転位密度が１×１０^４〜９×１０^１３ｃｍ^−２の組織を有することを特徴とする破壊靱性値や耐熱衝撃性を改善した高寿命セラミックス焼結体切削工具、特にドリル、刃先交換チップ（スローアウェイチップ）。
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【課題】 煩雑な工程を経ることなく、耐酸化性・強度特性に優れた二珪化モリブデン系セラミックス発熱体を提供する。
【解決手段】 本発明に係る二珪化モリブデン系セラミックス発熱体は、高周波誘導加熱を利用して高温加工された加工部を備えたことを特徴とする。また、本発明に係る二珪化モリブデン系セラミックス発熱体は、高周波誘導加熱を利用して高温接合された接合部を備えたことを特徴とする。高周波誘導加熱を利用することで、好ましくは、発熱体の発熱部、及び端部電極部を除く端子部の表面全域がシリコン（Ｓｉ）系酸化物に被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 「色むら」や「しみ」の発生を抑制できる窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 成形体を所定の焼結温度ＴＳで焼結して焼結体を得る焼結工程と、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡでアニーリングするアニーリング工程と、を備える。アニーリング工程においては、焼結体を所定のアニーリング温度ＴＡとなるまで加熱し、続いて焼結体をアニーリング温度ＴＡで所定時間維持し、その後焼結体の温度をアニーリング温度ＴＡから冷却する。アニーリング温度ＴＡはＴＡ≦ＴＳを満たすように定められ、焼結体を１２００℃からアニーリング温度ＴＡまで加熱する際の昇温速度が２００℃／ｈ以下であり、焼結体をアニーリング温度ＴＡから１２００℃まで降温する際の降温速度が２００℃／ｈ以下である。 （もっと読む）