本発明は、ａ） 酸不安定性基で保護された少なくとも一種の酸性構造要素を含みかつ水性アルカリ性溶液中に不溶性の、ポリマー主鎖から伸びるスルホン側基を含む新規ポリマー、及びｂ） 露光時に酸を生成することができる化合物を含む、３００ｎｍ〜１００ｎｍの範囲の波長に感度を示す新規の化学増幅型フォトレジストに関する。また本発明は、該新規ポジ型フォトレジスト組成物に像を形成する方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】 アニオン性水溶性重合体の凝集剤としての機能性の向上を目的とした、架橋型アニオン性水溶性重合体を安定した分散液の状態で効率良く製造する方法の提供、及び該架橋型アニオン性水溶性重合体を使用した抄紙方法を提供すること。
【解決手段】 該架橋型アニオン性水溶性重合体は、重合体濃度１質量％に溶解した水溶液の濁度が、分光光度計で測定して１０〜５００ＦＡＵ（波長８５０ｎｍの可視光線により測定）であり、アニオン性水溶性単量体、（メタ）アクリルアミド及び共重合可能な他の非イオン性水溶性単量体からなる水溶性単量体（混合物）を架橋剤の存在下に、塩水溶液中で該塩水溶液に可能な高分子分散剤を共存させる分散重合法により安定した分散液の状態で効率良く製造する。また該架橋型アニオン性水溶性重合体分散液を添加することによって歩留率及び／又は濾水性が向上し、更に地合の良好な紙を抄紙することができる。 （もっと読む）