【課題】高圧力での送液及び高流量での送液を可能とするマイクロポンプユニットを得る。
【解決手段】順方向及び逆方向に送液可能な複数のマイクロポンプ10a,10b,10cを積み重ねたマイクロポンプユニット。積み重ねたマイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替える。並列流量モードでは、各段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されるとともに、各段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。直列圧力モードでは、奇数段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されかつ偶数段のマイクロポンプが奇数段のマイクロポンプとは逆の方向で送液駆動されるとともに、最上段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。 （もっと読む）

【課題】単一のハウジング内に、表裏の一面に液体ポンプ室を形成し他面に大気室を形成する圧電振動子と、該圧電振動子に対する給電制御用電気部品を搭載した制御基板とを収納し、上記圧電振動子を振動させることにより液体ポンプ室内に液体を給排してポンプ作用を行わせるドライバ内蔵圧電ポンプにおいて、良好に駆動基板の発熱要素の発熱を放熱することができるドライバ内蔵圧電ポンプの放熱構造を得る。
【解決手段】ハウジングに、制御基板を収納する基板収納空間と、この基板収納空間を上記大気室に連通させる大気室通路と、基板収納空間をハウジング外部に連通させる外部連通路とを形成したドライバ内蔵圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】駆動停止時の液漏れが生じるおそれのないバルブ付きダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムポンプにおいては、吐出流路に設けた逆止弁だけで、ダイヤフラムを振動させない駆動停止状態での液漏れを防止するのは困難であるとの認識の元に、特に吐出流路に、逆止弁より吐出ポート側に位置させて常閉型の開閉バルブを設けた。 （もっと読む）

【課題】線膨張係数の異なる複数の部材を接合してなる接合体の全体としての剛性を高めると共に、小型・薄型であっても熱応力に対する剥離が生じにくくした接合体の提供と、流体機器の提供とを図る。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、圧電振動子６５の屈曲振動を利用してポンプ室５２内の流体に圧力をかけて流体を吐出する。圧電ポンプ１０１は高剛性板６０Ｃと接合層６０Ａとポンプ室本体７０とを備える。高剛性板６０Ｃはステンレススチールである。接合層６０Ａとポンプ本体７０はPETからなる。接合層６０Ａは高剛性板６０Ｃの主面に形成されている。接合層６０Ａとポンプ室本体７０とは線膨張係数が高剛性板６０Cよりも大きい。ポンプ室本体７０は高剛性板６０Ｃよりも低剛性で、その外側端の少なくとも一部が接合層６０Ａの端よりも内側に当たる位置で接合層６０Ａに接合している。 （もっと読む）

小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプ。マイクロポンプは第一のチャンバ及び第二のチャンバを含む。可撓性膜は第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列される。可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。 （もっと読む）

【課題】単位時間あたりの流体の吐出量が大きいダイヤフラム式ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】ダイヤフラム式ポンプ１は、膜張設口２０ａ、２０ｂと流入口２２ａと流出口２２ｂとポンプ室２４ａ、２４ｂとを有するケース２と、複数の電極膜３００ａと一対の電極膜３００ａの間に介装され印加電圧の変化により面方向に伸縮する誘電膜３０１ａとを有し膜張設口２０ａ、２０ｂを封止する膜部材３ａ、３ｂと、膜部材３ａ、３ｂを付勢する付勢部材６ａ、６ｂと、を備える。低電圧状態においては、付勢部材６ａ、６ｂが付勢力を蓄積している。高電圧状態においては、膜部材３ａ、３ｂが面方向に伸張しようとして弛緩し、膜部材３ａ、３ｂの弛緩量に応じて、付勢部材６ａ、６ｂが、付勢力により膜部材３ａ、３ｂを変形させ、ポンプ室２４ａ、２４ｂの容積を増加または減少させる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、保護膜の配置数が少なく、単位時間あたりの流体の吐出量が大きいダイヤフラム式ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】ダイヤフラム式ポンプ１は、膜張設口２００と流入口２２ａと流出口２２ｂとポンプ室２４とを有するケース２と、複数の電極膜３００と誘電膜３０１とが積層された伸縮膜３０と伸縮膜３０のポンプ室２４側に配置される保護膜３１とを有する膜部材３と、ポンプ室２４に収容され膜部材３に付勢力を加える導電性の付勢部材４とを備える。低電圧状態においては、付勢部材４が付勢力を蓄積している。高電圧状態においては、膜部材３が面方向に伸張しようとして弛緩し、膜部材３の弛緩量に応じて、付勢部材４が膜部材３を駆動方向に変形させ、ポンプ室２４の容積を増加または減少させる。 （もっと読む）

【課題】駆動信号を半波波形とすることで効率的に圧電素子を駆動する。
【解決手段】昇圧回路Ｌｖｓ，Ｑ３，Ｄ１は、低電圧の信号電源を昇圧して、圧電素子の駆動制御信号に応じて決定された高電圧の駆動電源を発生する。駆動波発生手段が前記信号電源を電源として、前記駆動制御信号に応じた振幅を有する圧電素子の駆動波形を発生し、アンプＡＰ１、ＡＰ２が駆動波形を増幅し、前記駆動制御信号に応じた振幅であって、圧電素子を駆動する駆動信号を得る。駆動波形発生手段において、駆動波形として、サイン波形の一方側に膨らむ部分をカットして他方側に膨らむ部分のみを残した波形（半波波形）を発生し、これをアンプＡＰ１、ＡＰ２に入力することで、圧電素子ＰＺを半波駆動する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの圧力を適正な範囲に保ち流体の吸入吐出の効率を向上可能な流体搬送装置を提供する。
【解決手段】流体吸入吐出するポンプの機能を有し流体が内部に満たされるポンプ室と、ポンプ室壁面の一部を構成する筺体部と、電解伸縮を行う導電性高分子膜で形成されポンプ室壁面の一部を構成するダイヤフラムと、内部に含まれた電解液の一部がダイヤフラムに接する電解液室と、ダイヤフラムに電圧を印加する電源と、電解液室の電解液内に位置しかつ内部に気体を含む気泡部で構成する弾性部を備えてダイヤフラムに対する圧力を維持する圧力維持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】立ち上がり時のショックを軽減する。
【解決手段】昇圧回路において、低電圧電源の出力を昇圧して高電圧の駆動電源電圧を発生する。また、出力回路では、駆動電源を電源として、圧電素子を駆動する一対の相補的な駆動信号を出力する。駆動電源の立ち上がり時において、一対の駆動信号を所定期間だけ同一の値としておき、その後互いに逆相で変化させる。 （もっと読む）