バルブプレートおよび／または組み立てられたバルブをリードフレームから単一化するための方法および装置が記載される。方法および装置は、バルブプレートおよび／または組み立てられたバルブをリードフレームに接合するタブを溶融させるために電流を利用する。バルブは、オフセットされたアパーチャ（１８、２０）を有する第１（１４）および第２（１６）のバルブプレートと、第１および第２のプレートの間に配設されるとともに第１および第２のプレートの間で移動可能なフラップ（１７）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、陽極接合時に可動部がガラス基板へ張り付くことを防止し、製造コストを抑制し、且つ接合不良を防止するＭＥＭＳデバイスの製造方法及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るＭＥＭＳデバイスの製造方法は、半導体基板に固定部と前記固定部の内側あるいは外側に位置する可動部を形成し、ガラス基板の一方の面上に前記半導体基板と対向させたときに前記可動部の周囲に位置する領域に導電部材を配置し、前記ガラス基板の他方の面を前記可動部と対向させた状態で前記半導体基板と前記導電部材の間に電圧を印加して前記半導体基板と前記ガラス基板の陽極接合を行う、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型軽量かつ低電圧で静音動作が可能であり、流体の吸入吐出量が大きく、安定に動作可能な流体搬送装置を提供する。
【解決手段】流体を吸入吐出するポンプの機能を有し、流体を内部に含むポンプ室と、ポンプ室壁面の一部を構成する筺体部と、電解伸縮を行う導電性高分子膜で形成されポンプ室壁面の一部を構成するダイヤフラムと、内部に含まれた電解液がダイヤフラムに接する閉空間部と、ポンプ室内のダイヤフラムに接した部分に少なくとも電解液が配置され、さらに、前記電解液中に前記ダイヤフラムと対向して配置された電極とを備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく、組立が容易な流体用ダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】軸心一方向Ｌ１に開口する椀型のダイヤフラム50と、ダイヤフラム50の開口縁部を軸心一方向Ｌ１に延設して形成した短円筒状の吐出弁膜部52と、複数のダイヤフラム50を円周等分配に一体状に連結する軸心直交平面状の横隔膜部54と、を有するダイヤフラム集合体と、軸心直交平面状の平板部24と、平板部24から円周等分配に軸心他方向Ｌ２に突設された複数の短円筒状の吸入弁膜22と、を有する吸入弁膜集合体２と、ダイヤフラム集合体５と吸入弁膜集合体２の間に介装され、吐出弁膜52が外周面に密着分離自在に接触する円筒状の吐出弁座部35と、吐出弁座部35と同心状に配設されて吸入弁膜22が外周面に密着分離自在に接触する円形状の吸入弁座部32と、を有する中蓋体３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】圧電部の組成がより安定した圧電素子およびその製造方法ならびに前記圧電素子を用いたポンプを提供する。
【解決手段】本発明の圧電素子は、圧電材料を備える圧電部６と、圧電部６の主面上に形成された下部電極５と、下部電極５上に形成されたバリア層４と、バリア層４上に形成された酸化層３とを備え、バリア層４は、鉛系ペロブスカイト型化合物に含まれる元素のうち、チタンと酸素を除く元素の少なくとも１つがドープされた酸化チタンからなる。 （もっと読む）

連続して、可撓性ダイヤフラム（２）、ポンプ室（４）及び遮蔽板（３）を含んでなるスタックの形のマイクロポンプであって、該ポンプ室（４）は、例えば可撓性ダイヤフラム（２）を介して外部と連通し；該ダイヤフラム（２）は、マイクロポンプの外側に配置されるアクチュエータ（５）に更に固定されており、上記ダイアフラム（２）は、その主軸に沿って剛性で、そしてその主軸に対して垂直方向には可撓性であるストリップ（６）の形の少なくとも１つのエレメントによって、アクチュエータ（５）に固定されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】強アルカリ性の洗剤に耐え、吐出量を一定に制御できるダイヤフラム式の洗剤供給用ポンプを提供する
【解決手段】洗剤供給用ポンプ１は、ダイヤフラム式であり、モータ５の回転によりダイヤフラム６１を往復振動させる偏心駆動機構７と、ダイヤフラム６１が臨むポンプ室６内の圧力によって開閉される吸入弁８ａと吐出弁８ｂ、及びこれらの弁８が着座される弁座８１とが内装されたポンプケース６２と、を備える。ダイヤフラム６１及び弁座８１は、耐強アルカリ性で低温（略０℃）での硬化が常温（略２０℃）での硬度より１０(デュロメータＡ)以上硬化しないゴム、例えばブチルゴムから成る。これにより、洗剤供給用ポンプ１は、強アルカリ性の洗剤に耐え、ダイヤフラム式としたので吐出量を一定に制御することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプを駆動するために供給する電圧を流体の移送量に高い効率で変換できる圧電ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流通方向に沿って配設された２つ以上の圧電素子とその圧電素子を支持する支持部材とを備える構造体と、上記構造体を挟む第１及び第２の基板とを含有し、第２の基板と上記構造体とによって囲まれたポンプ室と、そのポンプ室と連通する第１及び第２の開口部とを有し、かつ、各々の圧電素子の間で流体の流路が絞られている圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】流体の移送効率が高く、しかも流体の漏出を防止できる圧電ポンプを歩留まりよく作製できる圧電ポンプの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電素子を含む構造体とその構造体に積層した第１の基板とを備える複合体と、第２の基板とを準備する第１の工程と、構造体が第２の基板に対向するように複合体と第２の基板とを接合してポンプ室を設ける第２の工程とを含有し、第２の工程において、ポンプ室の外周に沿って複合体及び／又は第２の基板に設けた溝内に充填した接着性樹脂により、複合体と第２の基板とを接合する圧電ポンプの製造方法。 （もっと読む）