【課題】安定して熱源を冷却することができる冷却装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】冷却装置は、ピストン又は可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、ポンプ室へ流体を流入させる入口流路と、ポンプ室から流体を流出させる出口流路と、入口流路とポンプ室との間に、入口流路を開閉する流体抵抗要素と、を備えるポンプ２０と、出口流路から入口流路へ流体を循環させる循環流路１８と、循環流路１８の出口流路より入口流路に近い箇所に、ポンプ室に流入する流体の圧力を調整させる第２流路１９と、を備え、第２流路１９の調整容量は、循環流路１８の流体の圧力増分をΔＰ、その時の循環流路１８の体積増分をΔＶ、流体を循環させたときの循環流路１８の出口流路側の圧力をＰ_Sとしたときに、式
【数１】


を満たす調整容量Ｖ_Bである。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】脈動流体が噴射されない間は、余分な流体の流出および流体の供給を停止する事により、術部視野を確保し、微少切除深さ、または微小領域の切除を可能とする。
【解決手段】脈動流体を発生させるための容積変更手段と、流体供給手段から流体室の入口流路の間に第１流路切換手段および流体室の出口流路から流体噴射口の間に第２流路切換手段２とが備えられ、容積変更手段は駆動が開始される時間Ｔ１から脈動流体を発生させる時間Ｔ３までの第１期間を除く、第２期間内Ｔ３〜Ｔ５に駆動され、第１流路切換手段を第１期間内の時間Ｔ２、もしくは第２期間内に発生させる最終の脈動流体の噴射が開始される時間Ｔ４に動作させ、第２流路切換手段を第１期間内の時間Ｔ２、もしくは第２期間内に発生される最終の脈動流体の噴射が終了した時間Ｔ５に動作させる。 （もっと読む）

【課題】全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、接続流路を介して接続される第１空間および第２空間を形成するケースと、第１空間に接続される流体吸入管と、第２空間に接続される流体吐出管と、第１空間を覆うようにケースに設けられる第１変形部材と、第２空間を覆うようにケースに設けられる第２変形部材とを含む。第２変形部材は、第１変形部材より大きく形成され、第２変形部材の最大変位は、第１変形部材の最大変位より大きい。 （もっと読む）

【課題】供給圧力の変動する液体が供給された場合でも、液体噴射装置の操作感が損なわれることを回避する。
【解決手段】液体圧送手段を用いて液体室に液体を圧送するとともに、容積変更部に駆動電圧を印加して液体室の容積を減少させることによって、加圧した液体室内の液体を噴射ノズルから噴射する。容積変更部に駆動電圧を印加するに際しては、液体室に圧送される液体の圧力変動が液体の噴射に与える影響を、駆動電圧の電圧波形を変更することによって補償するとともに、供給流量が所定の圧力以下に低減した場合は駆動波形の時間間隔を補正する。こうすれば、たとえ液体室に圧送される液体の圧力が変動した場合でも、液体噴射装置の操作に違和感が現れることを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で最適な流体噴射条件の流体を噴射する流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、かつ、供給される流体供給流量を検出する検出器１１を有し、圧力室８０の容積を変化させる周波数を流体供給流量に比例するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ポンプ筐体に格別な加工を行うことなく、吐出圧の高い圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラムに圧電体を接着した振動板を使用し、振動板の外周部をポンプ筐体に固定する。振動板と対向するポンプ筐体の表面は平坦面に形成され、振動板は、ポンプ筐体と逆側を向くダイヤフラムの主面に圧電体を熱硬化型接着剤により接着固定したものである。ダイヤフラムは、圧電体より線膨張係数が大きいので、圧電体への電圧の非印加時において、ダイヤフラムはポンプ筐体側と逆方向に凸状に反った形状を有し、ダイヤフラムの反りによってポンプ筐体との間にポンプ室が形成される。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低い容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】電磁式直動アクチュエータ３を用いてポンプ室８の容積を変化させる可動体１２を駆動する容積型ポンプ１は、可動体１２に接続されている移動体３３を、電磁式直動アクチュエータ３を励磁することにより発生する電磁力によって、ポンプ室８の容積が第１容積となる第１位置３３Ａと、ポンプ室８の容積が第１容積よりも大きい第２容積となる第２位置３３Ｂの間で直線往復移動させる。移動体３３を第１位置３３Ａから第２位置３３Ｂに移動させる第１移動工程、或いは、移動体３３を第２位置３３Ｂから第１位置３３Ａに移動させる第２移動工程では、電磁式直動アクチュエータ３に対し、連続して、或いは、間歇的に励磁電流を印加し、印加される励磁電流の電流値を、第１移動工程或いは第２移動工程の工程開始時点ｔ０から時間経過に連れて所定の減少形態で減少させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電子機械システムを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。複数の圧電アイランドは、複数のチャネル（２０５）を有するボディ（２００）に支持される。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、それを取り扱い基板に一時的に結合し、カットされた圧電レイヤ（１０７）をエッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に取り付け、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】切除力と切除速度を独立して調整可能な流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、ポンプ１０から供給される流体供給流量と、圧力室８０の容積変化の周波数（圧電素子３０の駆動周波数に相当）と、を比例の関係で変化させる。圧力室８０の容積変化量（排除体積）は切除力を変化させ、排除体積と駆動周波数の積は切除速度を変化させることから、切除力と切除速度を独立して調整できる。 （もっと読む）