【課題】ポンプ室のコンプライアンスと出口流路の入口から液体流路の出口までの流路抵抗との積で定められる時定数τよりも短い周期で駆動しても、高効率で送液可能な送液ポンプ、液体循環装置、及び医療機器を提供する。
【解決手段】送液ポンプは、ポンプ室１０２と、ポンプ室１０２から液体流路１２２に向けて液体が流出する出口流路１１６と、出口流路１１６と液体流路１２２との間に設けられて、ポンプ室１０２のコンプライアンスよりも大きなコンプライアンスを有する出口側バッファー室１１８と、ポンプ室１０２に液体を供給する入口流路１１４と、入口流路１１４とポンプ室１０２との間に設けられた逆止弁１１０と、を備え、送液ポンプ１００は、ポンプ室１０２の容積を増減させる１サイクルあたりの時間が、ポンプ室１０２のコンプライアンスと出口流路１１６の入口から液体流路１２２の出口までの流路抵抗との積で定められる時定数よりも短い。 （もっと読む）

【課題】気体溶存量の増加による性能低下を簡便に回避可能な送液ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ室を、出口流路を介して出口側バッファ室に接続し、出口側バッファ室から液体を圧送する。そして、ポンプ室と出口流路と出口側バッファ室とは共振系を構成しており、この共振系の固有振動数は気体溶存量に依存する。そこで固有振動数を測定して気体溶存量を検出する。こうすれば、送液しよう液体中の気体溶存量を簡便に検出することができるので、気体溶存量の増加によるポンプ性能の低下を簡便に回避可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能とする。
【解決手段】圧電素子に対して負電圧を印加して圧電素子を収縮させることによってポンプ室の容積を増加させ、印加した負電圧を解除することによってポンプ室の容積を減少させる。このようにポンプ室内の流体を圧送することとすれば、ダイアフラムが変形していない時（初期状態）のポンプ室の容積を幾らでも小さくすることができる。従って、初期状態ではポンプ室の気泡の溜まり易い箇所が潰れるようにすることで、ポンプ室内に気泡が残ることを回避することが可能である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてダイアフラムを駆動する送液ポンプにおいて、ポンプ室に混入した気泡を容易に除去可能とする。
【解決手段】基台部と基台部から立設された柱部とからなる駆動部材の柱部の先端をポンプ室の外部からダイアフラムに接続しておき、電荷を印加して圧電素子を伸長させることにより、基台部をダイアフラムから離間可能とする。こうした送液ポンプでは、初期状態からポンプ室の容積を増加させた後に、ポンプ室の容積を初期状態に戻すことで流体を圧送することになるので、初期状態でのポンプ室の容積をいくらでも小さく設定することができる。その結果、ポンプ室内に気泡が残ることを回避することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる、小型低背の流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１と基板１９１とを備える。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と枠板１６１と連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。振動板１４１は、可撓板１５１の可動部１５４に対向する振動板１４１の領域から当該可動部１５４の方向へ突出する突出部１４３を有する。そして、可撓板１５１は振動板１４１に対向するよう枠板１６１に接合される。可撓板１５１は可動部１５４と固定部１５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度変化による圧力−流量特性の変動を抑制することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】圧電ポンプ１０１は、振動板ユニット１６０と可撓板１５１と基板１９１とを備える。振動板ユニット１６０は、圧電素子１４２の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する金属材料で形成されている。可撓板１５１及び基板１９１は、振動板ユニット１６０の線膨張係数より大きな線膨張係数を有する材料で形成されている。振動板ユニット１６０は、振動板１４１と、枠板１６１と、連結部１６２とによって構成される。振動板１４１の周囲には枠板１６１が設けられていて、振動板１４１は３つの連結部１６２で枠板１６１に対して３点で柔軟に弾性支持されている。そして、枠板１６１は可撓板１５１に接着固定される。 （もっと読む）

【課題】冷却媒体の送液ポンプの大型化や高速化をすることなく冷却能力を向上させる。
【解決手段】送液ポンプの出口流路に出口側バッファ室を設け、少なくとも送液ポンプから出口側バッファ室までは液体で満たしておく。こうすれば、送液ポンプと出口側バッファ室とによって共振系が構成されるので、共振周波数に相当する周期（あるいは整数倍の周期）で送液ポンプを駆動することで、共振を利用して高い圧力を発生させて、その圧力を用いて液体を圧送することができる。このため、出口流路側に出口側バッファ室を設けるだけで、送液ポンプの大型化や高速化を行うことなく、液体の流量を増加させて、冷却能力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高効率な流体吐出が可能な電磁往復動流体装置を提供すること。
【解決手段】往復動部材と、往復動部材を直線状経路に沿って往復駆動する駆動部とを有し、往復動部材の往復動により流体を吸引排出する電磁往復動流体装置において、駆動部は、往復動部材に固定された磁性体からなるアーマチャ１０８と、アーマチャの直線状経路を挟んで相互に対向する一対の磁極部１１２を有し、磁極部の略矩形状の磁極面には切欠き部が設けられているステータコア１１０と、ステータコアに磁束を発生させるためのソレノイドコイル１２０と、アーマチャを引込まれる方向とは反対の方向に付勢する弾性体であるコイルバネ１２４と、を備えている。磁極面１１２に切欠き部を設けることで、磁極面に発生する磁束分布と磁束密度を変えてアーマチャを引込む磁気吸引力を制御し、効率よくアーマチャを引込むことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】特性が安定したＵＳエレメント２０を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと複数の下部配線部１２Ｂとを有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、複数の上部電極部１６Ａと複数の上部配線部１６Ｂとを有し容量信号を検出するためのグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、がシリコン基板１１の上に順に積層されており、少なくとも前記下部配線部１２Ｂの上側に形成された、グランド電位の遮蔽電極端子５３と接続された遮蔽電極部７１を更に具備する。 （もっと読む）

【課題】狭い空間でも配置することのできる新たなポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ装置１は、アクティブバルブ部１ａ、流路構成部１ｂ、およびポンプ部１ｃがこの順にＺ軸方向に直線状に並んでいるため、ポンプ装置１は軸状になっている。アクティブバルブ部１ａには、流体入口６ａに連通する流入側流路９に対して、弁体４３および駆動機構５２を備えたアクティブバルブ４が設けられている。ポンプ部１ｃには、流入側流路９に連通するポンプ室８が設けられている。流路構成部１ｂは、アクティブバルブ部１ａとポンプ部１ｃとに挟まれた位置に設けられており、ポンプ部１ｃには、流入側流路９とポンプ室８とを連通させる連通用流路１６、ポンプ室８と流体出口５ａとに連通する流出側流路１０、および流出側流路１０に配置されたパッシブバルブ１１とが設けられている。 （もっと読む）