【課題】可動体に伝達する推進力を低下させずに効率よく電磁式直動アクチュエータの消費電力を抑えることができる容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】容積型ポンプ１において、電磁式直動アクチュエータ３は、ヨーク３７において移動体３３の直動方向（上下方向）に平行に延在する軸部３７１に巻回された駆動コイル３８を備えている一方、移動体３３は、移動方向と平行なマグネット３３１の磁極面３３１ａ、３３１ｂを備えたマグネット３３１を有している。また、移動体３３の移動方向に延びているヨーク３７の両端に第１突部３７２、第２突部３７３が設けられている。移動体３３の推力は、倍力機構７を介してダイヤフラム１２に伝達される。 （もっと読む）

【課題】狭い空間でも配置することのできる新たなポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ装置１は、アクティブバルブ部１ａ、流路構成部１ｂ、およびポンプ部１ｃがこの順にＺ軸方向に直線状に並んでいるため、ポンプ装置１は軸状になっている。アクティブバルブ部１ａには、流体入口６ａに連通する流入側流路９に対して、弁体４３および駆動機構５２を備えたアクティブバルブ４が設けられている。ポンプ部１ｃには、流入側流路９に連通するポンプ室８が設けられている。流路構成部１ｂは、アクティブバルブ部１ａとポンプ部１ｃとに挟まれた位置に設けられており、ポンプ部１ｃには、流入側流路９とポンプ室８とを連通させる連通用流路１６、ポンプ室８と流体出口５ａとに連通する流出側流路１０、および流出側流路１０に配置されたパッシブバルブ１１とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いて安定な流体噴射を行うこと。
【解決手段】流体噴射装置は、筺体１０の内部に配置される主圧電素子Ｐ₀及び主制御部７０と、主圧電素子Ｐ₀に密着固定されるダイアフラム２０と、ダイアフラム２０と筺体１０とによって構成される圧力室３０と、圧力室３０内に液体を供給する流体供給管６０と、圧力室３０に連通し各頂点が鈍角である多角形の断面形状を有する流路管４０と、流路管４０の終端に連結する噴射口５０と、流路管４０に接し、噴射口５０方向に対し螺旋状に複数並び、噴射口５０方向と交差する方向に伸長する圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀と、複数の圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀に電圧を印加して圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀のそれぞれの伸長を制御し、噴射口５０から離れたものから噴射口５０の方向に向かって螺旋方向順に圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀を順次伸長させ、流路管４０内で噴射口５０方向に進行する旋回流を生成させる制御部８０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置を提供する。
【解決手段】 ダイアフラムによって少なくとも一部が構成された壁部１１およびそれと対向する壁部１２を含む壁で囲まれた空間１４を有する筐体１０と、壁部１２を貫通する貫通穴１５を含んで構成された、空間１４と外部とを接続し、内部を通過して空間１４から流出する流体が、壁部１２の外側の壁面に平行な第１方向側へ向かって流れるように形成された第１流路３１と、内部を通過した流体が、第１流路３１の貫通穴１５に対して空間１４と反対側に供給される第２流路３２と、第１方向側へ向かって流れる流体と接触する位置に、壁部１２と間隔を開けて配置された可動部材２８とを備える送流装置およびそれを用いた冷却装置とする。冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の反りをなくし、振動によって圧電体層に引っ張り応力が作用しても圧電体層が破壊する危険性を低減する。
【解決手段】圧電ポンプ１００は、圧電体素子５４と中間板５３と振動板５１とを備える。圧電体素子５４は、平板状である。中間板５３は、圧電体素子５４の主面に接合され、圧電体素子５４に圧縮方向の残留応力を付与する。振動板５１は、圧電体素子５４の主面に対向するように中間板５３に接合されて中間板５３から圧縮方向の残留応力が付与され、且つ、開口穴３１を有する。ポンプ室４１は開口穴３１を介して外部に連通する。中間板５３は引っ張り方向の残留応力を有する。 （もっと読む）

【課題】いわゆるガスロック状態を検出し、正常な状態に復帰させることが可能なダイヤフラムポンプ、除菌器、濾過装置及びダイヤフラムポンプの制御方法を提供する。
【解決手段】一実施形態にかかるダイヤフラムポンプは、ソレノイドコイルの駆動により液体注入動作を行なうダイヤフラムポンプであって、運転時に前記ソレノイドコイルの通電電流値を検出する電流検出部と、前記通電電流値の変化状況に応じて動作状態を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムポンプのダイヤフラムが損傷し、電磁駆動部に液体や可燃性ガスが浸入したとしても、安全な電磁振動型ダイヤフラムポンプの提供を目的とする。
【解決手段】ケーシング２内部にさらに、電磁コイル４を気密に収容する電磁コイル収容部７が設けられ、電磁コイル収容部７外部の空間に浸入した流体が、電磁コイル収容部７内部の空間に浸入しないように構成し、電磁コイル収容部７に、振動子５が往復運動するための通路Ｐが形成され、通路Ｐが、収容部７の外部の隔壁により形成され、通路Ｐ内の空間に浸入した流体が、電磁コイル収容部７内部の空間に浸入しないように構成する。 （もっと読む）

【課題】個々の装置の条件に対応した適切な通電電流を設定できるソレノイド駆動式ダイヤフラムポンプ及びソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプの制御方法を提供する。
【解決手段】本発明の一形態にかかるソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプの制御方法は、液体を注入するソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプの制御方法であって、前記ダイヤフラムポンプの運転時における電流値の変化状況に基づいてソレノイドコイルに印加する印加電圧または通電電流を調整する。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射の停止時における流体の流出を、簡単な構成で防止する。
【解決手段】噴射対象に向けて流体噴射開口部９３から流体を噴射する流体噴射装置１であって、流体噴射開口部９３と連通する出口流路８２を有する流体室８０と、流体室８０に供給された流体を加減圧して、出口流路８２への脈動流を発生する脈動発生部２０とを備え、流体噴射開口部９３は、出口流路８２側の入口開口端９３ａと、入口開口端９３ａとは噴射対象側の出口開口端９３ｂとを備え、入口開口端９３ａの開口面積より出口開口端９３ｂの開口面積が大きく、前記吸引管の内側に前記出口流路を形成する、流体噴射装置１。 （もっと読む）

【課題】ポンプ装置の種々の密閉空間内に生じ得る圧力上昇を補償するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、チャンバの容量を調整してチャンバ内の圧力上昇を補償するようにポンプ装置のポンプ手段を動作させることによって、ポンプ装置のチャンバ内の圧力上昇を補償することが可能である。より具体的には、一実施形態では、分配チャンバ内の流体に対する不要な圧力上昇を補償するために、ピストンを戻すように分配モータを逆回転して、分配チャンバ内のあらゆる圧力上昇を補償することが可能である。 （もっと読む）