真空ポンプは、第１排気部分（１０６）と、第１排気部分から下流の第２排気部分（１０８）と、を含む。ポンプは、流体がポンプに入り、ポンプ出口に向かって排気部分の各々を通過することができるようにする第１ポンプ入口（１２０）と、流体がポンプに入り、ポンプ出口に向かって第２排気部分だけを通過することができるようにする第２ポンプ入口（１２２）と、を含む。第２排気部分（１０８）は、雄ねじロータ（１０９）を含む。
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本発明の真空ポンプは、流体が入る入口と、ポンピングされた流体を排出する出口と、前記入口と出口との中間点の位置と連通するポンピング手段と、前記ポンピング手段により受け入れられる流体の少なくとも一部を受け入れ、その中の汚染物の存在を検出するセンサーとを有する。
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回転軸（１０１）の周りを回転するシャフト（２０）を回転自在に支持するための電磁ベアリング装置（１）を開示する。装置（１）は、第一作動ラジアルベアリング（５）、一つまたは複数の第一ラジアル変位センサ（８１）、および軸方向ベアリング（６，７）からなる。軸方向ベアリング（６，７）の少なくとも一部分は、回転軸（１０１）の正射影で見たときに、第一作動ラジアルベアリング（５）と第一ラジアル変位センサ（８１）との間に配置される。また、前記電磁ベアリング装置（１）と複合センサユニット（８）からなる真空ポンプを開示する。
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ロータを回転させる電装部を効率よく冷却して電装部の温度を好適に保つ真空ポンプと、同一構成であるが大きさ等の形状が異なる真空ポンプにおいても共通の真空ポンプ構成部品を使用することのできる真空ポンプを提供する。
本第１の発明の真空ポンプ（１００）は、ロータ（１０１）を回転させることによってガスを吸引・排気して真空状態を作り出す真空ポンプであって、ロータを回転させる電装部（１０３ａ，１０３ｂ）が収容され、かつベース（１０２ｂ）と一体に形成されるステータコラム（１０２ａ）の壁内に水冷管（１０４）を埋設し、水冷管の給水口側と排水口側を複数に分岐させるようにして、真空ポンプの中心部付近に配される電装部の真近に水冷管を設置する。
本第２の発明の真空ポンプ（２００，３００）は、回転翼を配したロータ（２０１，３０１）を回転させることによってガスを吸引・排気して真空状態を作り出す真空ポンプであって、ネジポンプステータ（２０８，３０８）によりポンプケース（２０９，３０９）を支持させ、ステータコラム（２０２ａ）の壁内に水冷管を埋設する。 （もっと読む）

本発明のターボモルキュラーポンプ用回転翼は、ハブとハブに取り付けられる複数のブレードとを有する。前記ブレードは、繊維あるいは粒子により強化されたポリマー材料のストリップから形成される。
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