【課題】改善された真空技術的性能を有する真空ポンプ用高速回転ロータを提供することである。
【解決手段】第１のスリーブ１６および支持構造（１４；６０）を含む、真空ポンプ２用高速回転ロータ１０に関するものである。真空技術的性能を上昇させるために、第１のスリーブ１６の内側に第２のスリーブ１８が配置され且つ第１および第２のスリーブが複合材を形成することが提案される。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの漏れ（リーク）の有無を判定するためには、ターボ分子ポンプの稼働を停止させてリークディテクタを接続しなければならないので、余分な手間を招来するという問題があった。
【解決手段】モータ制御部８４は、ブラシレスモータ６に供給する電流を一定値に維持する。タイマ８９は、モータ制御部８４により一定の電流値が維持されている期間中の時間を計測する。回転数センサ１３は、モータ制御部８４により一定の電流値が維持されている期間中のモータ回転速度を測定する。漏れ判定処理部８６は、タイマ８９により計測された時間と、回転数センサ１３により測定された最大回転速度と最小回転速度との回転速度差とに基づいて、ターボ分子ポンプ吸気口側に接続されている真空チャンバー２の漏れ判定を行う。 （もっと読む）

【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受４により回転可能に支持され、且つハブ８およびハブに固定されたスリーブ１０を有する、ロータ２であって、スリーブ１０が第１の端部１２およびハブとは反対側のフリーな第２の端部１４をもつ、該ロータ２と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅１００を有する隙間３０を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ２０と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 （もっと読む）

【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】中心部に回転軸を有して高速回転をするターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータの外周部に突設されている多数の動翼にかかる遠心力によって該ロータの変形をきたし、ロータと回転軸との嵌合が緩むのを防止する。
【解決手段】分子ポンプのロータ１は、複数の動翼１ｂからなる動翼段を中空の円筒状のハブ部１ａの外周に放射状に且つ多段に突設すると共に、該ハブ部１ａの末端部に軸方向へ突出するボス部１ｃを設けてロータ１をカップ状に形成し、該ボス部１ｃに設けた軸孔１ｄに嵌合するのは回転軸２の先端部のねじ部２ａに螺合するナット３を用いて前記ロータを回転軸２に締結した。 （もっと読む）

【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０はモータ６のモータステータが設けられたポンプベース４を有し、コントロールユニット３０は、モータステータが設けられたポンプベース４との間に隙間領域Ｓを形成するようにポンプベース４の底面に固定されたケース（ベース板３２およびケーシング３３）を有している。電子部品３０４が実装された基板３０１，３０２は、隙間領域Ｓに対面するケース壁部であるベース板３２の内周面に固定されている。そして、ファン３４により隙間領域Ｓに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板３２の部分から効果的にケース外に放熱される。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース１２はフランジ１２ａの貫通孔５１に挿通された締結部材６１により外部装置の第１の取付部材９１に締結される。上ケース１２に締結された第１のベース１４はフランジ１４ｂの貫通孔５２に挿通された締結部材６３により外部装置の第２の取付部材９２に締結される。制御ユニット７０は締結部材６５により第２のベース１５に締結される。締結部材６５にはロータ３０の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材６５および制御ユニット７０のケースを、強度が小さいものとすることができる。 （もっと読む）