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国際特許分類[F04D19/04]の内容

機械工学;照明;加熱;武器;爆破 (654,968) | 液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ (39,095) | 非容積形ポンプ (13,288) | 特に圧縮性流体のための軸流ポンプ (494) | 多段ポンプ (483) | 高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ (426)

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【課題】改善された真空技術的性能を有する真空ポンプ用高速回転ロータを提供することである。
【解決手段】第1のスリーブ16および支持構造(14;60)を含む、真空ポンプ2用高速回転ロータ10に関するものである。真空技術的性能を上昇させるために、第1のスリーブ16の内側に第2のスリーブ18が配置され且つ第1および第2のスリーブが複合材を形成することが提案される。 (もっと読む)


【課題】真空チャンバーの漏れ(リーク)の有無を判定するためには、ターボ分子ポンプの稼働を停止させてリークディテクタを接続しなければならないので、余分な手間を招来するという問題があった。
【解決手段】モータ制御部84は、ブラシレスモータ6に供給する電流を一定値に維持する。タイマ89は、モータ制御部84により一定の電流値が維持されている期間中の時間を計測する。回転数センサ13は、モータ制御部84により一定の電流値が維持されている期間中のモータ回転速度を測定する。漏れ判定処理部86は、タイマ89により計測された時間と、回転数センサ13により測定された最大回転速度と最小回転速度との回転速度差とに基づいて、ターボ分子ポンプ吸気口側に接続されている真空チャンバー2の漏れ判定を行う。 (もっと読む)


【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング8と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング8の外輪81を軸方向から挟持し、該外輪81を径方向に移動可能に保持する保持機構42,44,45と、外輪81の外周側に設けられた弾性部材46と、を備えている。弾性部材46は外輪81の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材46と外輪81との隙間47にオイルやグリスが注入される。弾性部材46に外輪81が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間47にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受4により回転可能に支持され、且つハブ8およびハブに固定されたスリーブ10を有する、ロータ2であって、スリーブ10が第1の端部12およびハブとは反対側のフリーな第2の端部14をもつ、該ロータ2と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅100を有する隙間30を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ20と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 (もっと読む)


【課題】中心部に回転軸を有して高速回転をするターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータの外周部に突設されている多数の動翼にかかる遠心力によって該ロータの変形をきたし、ロータと回転軸との嵌合が緩むのを防止する。
【解決手段】分子ポンプのロータ1は、複数の動翼1bからなる動翼段を中空の円筒状のハブ部1aの外周に放射状に且つ多段に突設すると共に、該ハブ部1aの末端部に軸方向へ突出するボス部1cを設けてロータ1をカップ状に形成し、該ボス部1cに設けた軸孔1dに嵌合するのは回転軸2の先端部のねじ部2aに螺合するナット3を用いて前記ロータを回転軸2に締結した。 (もっと読む)


【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット20はモータ6のモータステータが設けられたポンプベース4を有し、コントロールユニット30は、モータステータが設けられたポンプベース4との間に隙間領域Sを形成するようにポンプベース4の底面に固定されたケース(ベース板32およびケーシング33)を有している。電子部品304が実装された基板301,302は、隙間領域Sに対面するケース壁部であるベース板32の内周面に固定されている。そして、ファン34により隙間領域Sに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板32の部分から効果的にケース外に放熱される。 (もっと読む)


【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 (もっと読む)


【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース12はフランジ12aの貫通孔51に挿通された締結部材61により外部装置の第1の取付部材91に締結される。上ケース12に締結された第1のベース14はフランジ14bの貫通孔52に挿通された締結部材63により外部装置の第2の取付部材92に締結される。制御ユニット70は締結部材65により第2のベース15に締結される。締結部材65にはロータ30の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材65および制御ユニット70のケースを、強度が小さいものとすることができる。 (もっと読む)


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