【課題】外部装置により制御やモニタをするような使い方をする場合において、使い勝手の良い真空ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成された回転体をモータ１１により高速回転して真空排気するポンプ本体１と、モータ１１を駆動制御する電源装置２とを備える真空ポンプであって、電源装置２は、外部装置３によりポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うための通信インターフェース２４と、通信インターフェース２４を介してポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うためのソフトウェアを、予め記憶保持している記憶媒体２３とを備え、記憶媒体２３に記憶保持されたソフトウェアを、通信インターフェース２４を介して外部装置３に出力することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と、同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する、真空ポンプを提供する。
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部と少なくとも１つの羽根４０２を設けた回転運動させられる羽根車を含み、この場合、前記羽根は、運動方向４０７において後方に位置する、外側角部４０８を設けた後部４０５を有する。簡単な製造可能性において真空特性値を改善するために、前記羽根が前記後部の前記外側角部に面取り部４０６を有する。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する真空ポンプを提供する
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部を設けた回転運動させられる羽根車を含み、前記羽根車は第１の部分羽根６２１および第２の部分羽根６２２を設けた羽根６０２を有し、前記羽根は羽根車の外周部に配置されている。改善された真空特性値および同時に簡単に製造可能なポンプ能動部品の形状を達成させるために、少なくとも１つの部分羽根６２１、６２２と羽根の運動方向６０７との間の角度６１５が９０°より小さい値であることが提案される。 （もっと読む）

【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ３５の吸気口２５と、ポンプが連結されるべき構造体３９の排気口６５との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手３１である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素４１；４３を備えているオス継手３３;３７を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素４１；４３との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手３３；３７とメス継手３７；３３との間の相対的回転運動で達成される。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】装置コストを抑えつつ、高調波成分の低減を図ることができる３相ブラシレスＤＣモータを備えたターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成されたロータを回転駆動する３相ブラシレスＤＣモータと、ロータの回転に同期した回転パルスを発生する回転検出部(701)と、スイッチング素子(Tr1〜Tr6)をオンオフして直流を３相交流に変換し、その３相交流を３相ブラシレスＤＣモータに供給するインバータ回路(72)と、回転パルスの立ち上がりを基準としてロータ１回転分のＰＷＭ出力値を算出する演算手段(703)とを備え、演算手段(703)は、モータ電気角の３６０度を複数の電気角区間に分割し、正弦波状の駆動電流が３相ブラシレスＤＣモータに供給されるように、ＰＷＭ出力値を電気角区間毎に段階的に変化させることを特徴とする。 （もっと読む）

コンパクトな蓄電装置としての使用に適したフライホイールアセンブリ（２）が記載されている。アセンブリは、ハウジング（８）と、ハウジング内に軸受（１８、２０）を介し回転可能に取り付けられる軸（６）に連結されたフライホイール（４）と、ハウジング内に画定されフライホイールを内包する第１チャンバ（１４）と、ハウジング内に画定され軸受を内包する第２チャンバ（２６）とを備える。更にまた、軸により駆動され第１チャンバから第２チャンバへ気体分子をポンプ輸送するための分子ポンプ（２８、３０）を備える。軸受を高圧チャンバ内に配置することにより、軸受グリースからの気体放出を抑制する。更にまた、フライホイールを内包する第１チャンバが軸受を内包する第２チャンバから分離されているため、負荷下においてこのような気体放出があっても第１チャンバ内の気体圧力は増大しない。
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【課題】回生ブレーキ抵抗の設置スペース効率を向上して、電源装置の小型化を図る。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータに設けられた回転翼、回転翼と協働して真空排気する固定翼、およびロータを駆動するモータを少なくとも有するポンプ本体と、モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗１４ｈで熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置１４と、制御装置１４を冷却する冷却装置１３とを備える。回生ブレーキ抵抗１４ｈを棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、制御装置筐体１４０が冷却装置１３と接する端部１４ａの内周面に沿って引き回す。 （もっと読む）

【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置１０は、ポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介在して電源装置１４を冷却する冷却装置１３とを有する。冷却装置１３と電源装置１４との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）