高真空ポンプ１１が複数のポンピングステージを備え、該ポンピングステージはそれぞれ、少なくとも１つの回転型ロータ要素１、１３、３３と１つの固定ステータ要素とを含む複数の相互に協働する要素を備える。ポンピングステージのうちの少なくとも１つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも１つの要素は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られており、短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内部に無秩序で実質的にランダムに分散されている。短繊維によって強化されたプラスチック材料の使用は、射出成形によって少なくとも１つの要素を作ることを可能にし、また従来の真空ポンプと比べた場合に大幅に削減された生産コストで真空ポンプ１１を製造することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置に伝達される衝撃を低減することができる回転式真空ポンプの提供。
【解決手段】ボルト孔１４に挿入されるブッシュ部１７ａが形成された特殊座金を用いることにより、ボルト１５の軸とボルト孔１４との間に隙間Ｇが形成される。その結果、吸気口フランジ１３ａに衝撃トルクが働いた場合にはボルト１５の領域Ｈ２の部分が変形し、その時の歪みエネルギーにより衝撃が吸収され、装置側フランジ１６への衝撃の伝達を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】アンバランス修正用部材により、ロータアンバランスの修正と、ロータ温度が許容温度を越えたか否かを判断することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】外周面に排気作用部としての回転翼８が設けられた円筒状のロータ２を高速回転して、ガスを排気する真空ポンプにおいて、アンバランスを修正する修正用磁性部材としてのＣ型リング２１は、ロータ２の許容温度に相当するキュリー温度を有する磁性材料で形成され、ロータ２の内周面に該ロータ２のアンバランスを修正するために付加される。Ｃ型リング２１と対向する位置には、Ｃ型リング２１の透磁率変化を検出するインダクタンス式のギャップセンサ４４が配設されている。検出部３１は、Ｃ型リング２１の透磁率変化に基づいてロータ２の温度を監視する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を抑えつつエレクトリカルランアウトを防止できるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼３２が形成されたロータ３０と、回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配置された複数段の固定翼２２と、ロータ３０が固定され、モータ３６により回転駆動されるシャフト１２と、シャフト１２を磁気浮上させる磁気軸受３７ａ，３７ｂ，３８と、シャフト１２の磁気浮上位置を検出する渦電流式ギャップセンサ２７ａ，２７ｂ，２８とを備え、ラジアルセンサ２７ａ，２７ｂの検出対象として非磁性金属から成るターゲット部材１３，１４と、スラストセンサ２８の検出対象として非磁性金属で形成されたロータディスク１５とが設けられている。なお、ターゲット部材１３およびロータディスク１５を、シャフト１２に着脱可能に固定するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

【課題】固定翼や回転翼を冷却または加熱する際の効率を向上させることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、回転可能に支持されたロータと、ロータの外周に、回転軸方向に多段に設けられた回転翼３２と、多段の回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配設された多段の固定翼２２と、多段の固定翼２２の間に配置され、固定翼２２の外周部を軸方向から挟持して位置決めする複数のスペーサリング２３ａ，２３ｂと、を備える。そして、冷却用または加熱用の流体が流れる管状の流路４２ｃを固定翼２２に形成し、軸方向上下に配置された一対の固定翼２２の流路４２ｃ同士を連通する流路４２ｄをスペーサリング２３ｂに形成したことにより、固定翼２２が流体により直接冷却または加熱され、固定翼２２や回転翼３２を冷却または加熱する際の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ロータ軸の長さが長い真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段14を支持するロータ軸12を備えている。ロータ軸12は、吐出側軸受組立体56により吐出側で支持されて、吸込み側軸受組立体30により吸込み側で支持されている。吸込み側軸受組立体30は、電磁軸受36を含んでいる。吐出側軸受組立体56は、ロータ軸12の長さを長くできるように玉軸受58を含んでいる。玉軸受58は、好ましくは電磁軸受36によって付勢されている。 （もっと読む）

【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置(100)とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ(102,104)を有し、各複合ポンプは、第１入口(120,124)と、第２入口(122,126)と、第１と第２のポンピング・セクション(110,112)とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ(102)の第１入口(120)は、第１低圧チェンバ(10)の出口に接続され、第１ポンプ(102)の第２入口(122)と第２ポンプ(104)の第１入口(124)は、第２の共通中圧チェンバ(16)の出口に接続され、第２ポンプ(104)の第２入口(126)は、第３高圧チェンバ(14)の出口に接続される。 （もっと読む）

【課題】油分を許容しない真空環境下で使用される軸受において、高回転数で使用できかつ長寿命な軸受の提供を目的とする。
【解決手段】内輪２および外輪３と、この内輪２および外輪３間に介在する複数の転動体４と、該複数の転動体４と摺接し保持する保持器５とを備えた転がり軸受１であって、上記保持器５が、金属材料または耐熱性樹脂材料からなり、上記保持器５表面の少なくとも一箇所以上の面に、二硫化タングステン粉末を含有する被膜を形成してなり、該被膜中に占める二硫化タングステン粉末の配合割合が 80 体積％〜95 体積％である。 （もっと読む）

【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）