本発明は、シーグバーン・ポンプ機構（１４）と直列接続のターボ分子ポンプ機構（１２）を含む真空ポンプ（１０）を提供する。気体がターボ分子ポンプ機構及びシーグバーン・ポンプ機構の両方を通過することができる第１のポンプ入口（１６）が、設けられる。さらに、気体がターボ分子ポンプ機構とシーグバーン・ポンプ機構との間の場所においてポンプに入り、シーグバーン・ポンプ機構のみを通過することができる段間（入口）１８が、設けられる。段間入口（１８）と流体連通する、シーグバーン・ポンプ機構の第１の複数の段（３２、３４）内の流路（５２、６２）が存在し、段間入口を通ってポンプに入る気体は、前述の流路に沿って並行排気される。
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【課題】効率的にステータを昇温させることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ２の排気上流側に形成された複数段の回転翼８、および複数段の回転翼８に対して交互に配設された複数段の固定翼９とで構成されるターボポンプ部と、ロータ２の排気下流側に形成された円筒状ロータ部１２、および円筒状ロータ部１２の外周側に隙間を介して配置された円筒状のネジステータ１１とで構成されるドラッグポンプ部と、を備える。そして、ネジステータ１１に、ステータ加熱用のヒータ２２が埋め込まれている。ネジステータ１１はヒータ２２により直接加熱されるので、ネジステータ１１を効率的に昇温させることができる。 （もっと読む）

【課題】メカニカルベアリングの寿命判定をより精度良く行うことができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ロータがボールベアリングにより回転自在に支持されたターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データとしての起動時間カウント値およびモータ電流カウント値は、起動時間カウンタ２０１およびモータ電流積算カウンタにより積算され、演算・判定部２００は、それらの積算値に基づいて判定基準データを生成する。また、演算・判定部２００は、所定時間を経過した後のベアリング状態データ（起動時間カウント値およびモータ電流カウント値）に基づく寿命判定データを取得する。そして、演算・判定部２００は、寿命判定データと判定基準データとに基づいて、ボールベアリングの交換が必要か否かを判定する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、外側軸受環(36)を有する転がり軸受(28)を備えた、特に真空ポンプに適した真空式転がり軸受構成に関する。外側軸受環(36)とハウジング要素(40,50)との間に保持スリーブ(42)が配置されている。転がり軸受(28)からの放熱を改善するために、保持スリーブ(42)は突出部(52)を有している。従って、特には径方向に延びるこの環状の突出部(52)は少なくとも１つの更なる熱伝達面(56,58) を形成している。
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【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減、および、組み付け作業の効率化を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼３３の少なくとも一段は、周方向に接するように配置された複数の分割固定翼３３ａ，３３ｂで構成され、分割固定翼３３ａ，３３ｂは、周方向に並設された複数の翼ブレード３３０と、該複数の翼ブレード３３０の外周部が連結されて、該複数の翼ブレード３３０を所定位置に位置決めする円弧状のスペーサ部３３２とを備える。その結果、従来のスペーサリングを必要とせず、備品テンスの削減、および、組み付け作業性の向上を図ることができる。さらに、複数の分割固定翼をＯリング４０で互いに結合されているので、結合部における気体の逆流を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムの電源遮断の場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステムを提供すること。
【解決手段】ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプとを備え、交流電源５０からの交流電力を直流電力に変換し、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する真空ポンプシステムであって、運転中に交流電源５０が遮断した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介してドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

本発明は、低真空段（１６）から高真空段（４４）まで流体連通状態にある複数個の質量分析計段（１６，１８，２０，４４）を含む質量分析計（１２）を有する質量分析システム（１０）を提供する。分割流多段ポンプ（１４）が質量分析計段を排気する。ポンプは、ポンプエンベロープ（２８）を有し、このポンプエンベロープ（２８）内では、複数個のポンプ輸送段（２０，３２，３４）が流体を主ポンプ入口（３６）から主ポンプ出口（３８）にポンプ輸送するために質量分析計段内における流れ方向にほぼ平行な軸線Ｘ回りに回転可能に支持されている。高真空段（４４）の少なくとも一部は、ポンプエンベロープ内で主ポンプ入口のところに配置されている。
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【課題】付着性粒子がポンプ内に付着するのを低減し、ロータ回転への影響を排除することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、多段の回転翼３２が形成され、高速回転するロータ３０と、回転翼３２に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼３３と、ポンプ吸気口２１０とロータ３０との間に設けられ、気体通過領域を形成するように配置されると共に付着性粒子を捕捉する複数のバッフルプレート４１と、複数のバッフルプレート４１を冷却する冷却ユニット４２と、を備える。付着性粒子は冷却されたバッフルプレート４１に衝突すると付着するので、付着性粒子がポンプ内部へ侵入するのを抑制することができる。 （もっと読む）