【課題】強い磁場内でも安全に運転することができて、周辺機器と干渉する心配がなく、分子ポンプ本体への固定にも問題がないような構造のシールド機能を有する分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ部Ｔのロータの動翼２Ａを囲むケーシング６Ａとねじ溝ポンプ部Ｓの外部を覆うケーシング６Ｂとを軟磁性材料からなる一体のケーシング６にて形成すると共に、該ケーシング６の下方部をポンプ本体Ｐの下端部より下方に延長した。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ特にターボ分子真空ポンプにおいてロータの回転により振動が発生され、振動は、真空ポンプがそれに固定されている室に伝達される。固定回転速度の場合、これは、回転速度と整数比の関係にある室の固有振動数が著しく励振されることを意味する。この問題を回避するために、従来技術においては、真空ポンプと室との間に追加の部品が組み込まれている。本発明の課題は、追加部品の必要性を低減させる真空ポンプおよび真空ポンプの運転方法を提供する。
【解決手段】ロータと、ロータの回転をある回転速度で行わせる駆動装置を備えた真空ポンプの運転方法であって、真空ポンプによる励振の発生をより小さくするために、変化過程３６を含み、前記変化過程内において、前記ロータの回転速度を第１の回転速度値３８および第２の回転速度値３９の間で周期的に変化させる。 （もっと読む）

【課題】高速で回転する分子ポンプ装置において、モータや回転軸の軸受等からの発熱によるポンプ本体の高温化を簡便な冷却手段により冷却する。
【解決手段】ポンプ本体２の側面に冷却ユニット４をボルト６ａの締結により固定する分子ポンプ装置１において、該冷却ユニット４に形成した該ボルト６ａの挿通孔６ｂを横長の長孔に形成し、該冷却ユニット４の前記側面への固定位置を移動可能に形成し、該冷却ユニット４と前記ポンプ本体２との相互の接触面積を調節可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、直列に接続された複数の真空チャンバー１４、１６、１８、２０と、チャンバーを差動的に排気するため真空排気装置１０とを含む真空システム１２を提供する。真空排気装置は、第１真空チャンバー１４を排気するために接続された吸気口２３と、大気に又は大気周辺に排気するための排気口２５とを有する一次ポンプ２２と、第２真空チャンバー１６を排気するために接続された吸気口２７と、一次ポンプの吸気口２３に接続された排気口２９とを有するブースターポンプ２４と、第３真空チャンバー１８、２０を排気するために接続された吸気口３１、３３と、ブースターポンプの吸気口２７に接続された排気口３５、３７とを有する二次ポンプ２６、２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】ロータ本体が破壊し、その中に蓄積されたエネルギーが急激にハウジングに放出されるいわゆる破裂が発生したときの危険を回避する。
【解決手段】軸は第１のロータ構造部分１０１を支持し、第１のロータ構造部分はロータ羽根リング１１９および羽根１２３を含む。第１のロータ構造部分１０１はさらにロータ・スリーブ１２７を支持し、凹部１３０を有している。凹部１３０は、軸方向および半径方向に伸長して中空空間を形成する。軸方向に伸張し、かつ半径方向内側に存在する凹部、即ち中間空間が形成されるように対称回転軸線から半径方向に伸張する凹部を有することにより、破片の大きさを低減し、かつ破壊過程を長引かせる。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転のさらなる高速度化を可能にしてターボ分子ポンプの排気性能を向上させる。
【解決手段】ケーシング内にロータが回転可能に支持されている。ロータは中心に回転軸を有し、その外周部に放射状に広がる複数のロータ翼を多段に備えたロータ翼部が設けられている。ロータ翼部において下段側に設けられているロータ翼の外形は上段側のロータ翼よりも小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】ＰＷＭスイッチング周波数成分に起因するモータ発熱を抑えることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成されたロータを３相ＤＣブラシレスモータ(36)で回転駆動するポンプ本体と、３相ＤＣブラシレスモータ(36)をＰＷＭ制御により駆動するモータ駆動装置(40)と、モータ電力ラインに設けられ、３相ＤＣブラシレスモータ(36)に供給される電力のＰＷＭスイッチング周波数成分を低減するフィルタ回路(50U,50V,50W)とを備えたことにより、ＰＷＭスイッチング周波数成分に起因するモータ発熱を低減することができる。特に、フィルタ回路(50U,50V,50W)にＬＣ並列共振回路を用いることで、ＰＷＭスイッチング周波数近傍の周波数成分の低減効果を高めることができる。 （もっと読む）