【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ４を構成するロータ４のロータ円筒部９の最下部にリング材５１が形成されている。リング材５１は、炭素繊維強化プラスチック等の繊維強化複合材料により形成されている。ロータ４に、ロータ４とは別部材としてリング材５１を形成することにより、ロータ４に発生した亀裂の進展が遅延し、ロータ４が分裂する際の破壊トルクを大幅に低減する。 （もっと読む）

【課題】高速回転ロータを有する真空ポンプの急速な通気を可能にする方法および装置を提供する。
【解決手段】ガスの導入による、高速回転ロータ１２を有する真空ポンプ１０の通気方法に関して、通気時間を改善するために、導入されたガスにより形成された、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間が決定される時間測定の評価により、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量が設定される。真空ポンプ１０を備えた装置は、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間を決定するための通気時間測定器５０と、基準値５４がその中に記憶されている基準値メモリと、前記期間を前記基準値５４と比較し且つ比較結果を形成するための時間比較器５２と、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量を前記比較結果の関数として設定する弁制御３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ロータ変形に起因するロータの径方向ずれを抑制することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、軸芯に対して垂直な締結面３３５を有するシャフト３３と、締結面３３５に立設された位置決めピン４０ａ，４０ｂと、締結面３３５にボルト締結され、ピン４０ａ，４０ｂが嵌挿される貫通穴３０１が形成されたロータ３０と、シャフト３３を回転駆動するモータと、を備える。そして、ピン４０ａは締結面３３５の軸芯と直交する直線Ｌ１上の位置に立設され、ピン４０ｂは、締結面３３５の軸芯と直交するとともに直線Ｌ１と所定角度θを成す直線Ｌ２上の位置に立設されている。 （もっと読む）

【課題】ガスの流量の変化が広範囲であっても、広範囲の圧力制御が可能な排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置を提供する。
【解決手段】真空装置５０に設けられた複数の排気装置Ａ〜Ｄの制御方法であって、前記真空装置５０に導入するガスの流量が少なくなるほど、連動して制御する排気装置の数を減らし、非連動に制御する排気装置の数を増やすように前記複数の排気装置Ａ〜Ｄの連動又は非連動の状態を設定する設定工程と、前記設定された状態で、前記複数の排気装置Ｃのうちの少なくともいずれかを使用して前記真空装置５０を排気する排気工程と、を含むことを特徴とする排気装置の制御方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明はターボ分子ポンプを排気対象装置に接続するための接続装置に関し、比較的低周波域の振動の排気対象装置への伝達を効果的に抑制することのできる接続装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管とおもりの間に粘弾性部材を介在させることにより動吸振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を効率的に低減させる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域（回転翼及び固定翼が配設される領域）が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】
コネクタ直近の主ケーブル端に板金加工等で作製する一定形のシールド筐体を不要とし、ケーブル組立品の製造コストを低減し、コネクタ締結・開放作業を簡素化し、かつシールド効果を改善できる可撓性のケーブル配設構造を提供する。
【解決手段】
主ケーブル９Ｎの端部でシールド１８を半開し信号伝達用芯線１４を取り出し制御コネクタ８に接続する。電力供給用芯線１５はシールド１８とともに折返し、シールド１８は分岐ケーブル１１Ｎのシールド１９Ｎとして利用する。電力供給用芯線１５は分岐ケーブル１１Ｎを介して電力コネクタ５に接続する。各芯線の露出部分および露出部分から制御コネクタ８に至る部分はシールド３２およびジャケット３１で被覆し、可撓性と密接性を確保する。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ軸５は、上端部に嵌め合い軸部５ａを有し、ロータ４の中央部には、厚さ方向に貫通する嵌合用開口部４ａが形成されている。ロータ４は、中央部において、ロータ軸５の嵌め合い軸部５ａと軸方向において重合する部分を有しておらず、ロータ４とロータ軸５の嵌め合い軸部５ａとは、冷やし嵌めまたは焼き・冷やし嵌めのみによって固定されている。ボルト締結部を有していない分、ロータ４は質量が小さくなり、破壊トルクを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第１のコネクタ部材と制御ユニット側の第２のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第１のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第１の取り付け位相および第２の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】効率的に真空ポンプを加熱できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口を有するケーシングと、回転体に設けられた円筒状ロータ部と、円筒状ロータ部の外周側に隙間を介して配置された円筒状のステータとを含むドラッグポンプ部と、排気口を有するベースと、ベースに埋設した、ステータを加熱する抵抗加熱ヒータとを備える。 （もっと読む）