真空ポンプ
【課題】真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を効率的に低減させる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域（回転翼及び固定翼が配設される領域）が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域（回転翼及び固定翼が配設される領域）が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプに関し、詳しくは、真空ポンプ本体で発生する熱が真空装置へ伝導するのを抑制する放射熱低減構造を備える真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種ある真空ポンプのうち、高真空の環境を実現するために多用されるものに、ターボ分子ポンプがある。
ターボ分子ポンプは、吸気口および排気口を備えた外装体を形成するケーシングの内部で、ロータが高速回転するように構成されている。ケーシングの内周面には固定翼が多段に配設されており、また、ロータには回転翼が放射状に且つ多段に配設されている。そうしてロータが高速回転すると、回転翼と固定翼の作用により気体が吸気口から吸引され、排気口から排出される構造になっている。
こうした構造を持つターボ分子ポンプは、タービンを高速回転させて排気処理を行っているため、気体分子の衝突熱やモータから発生する熱などによってポンプ本体が加熱されて高温状態になる場合があり、そうして発生したターボ分子ポンプから放射される熱は、真空装置側に伝導すると悪影響を与えてしまうおそれがある。
【０００３】
例えば、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを用いて排気処理を行うことで内部が真空に保たれる真空装置には、半導体製造装置用のチャンバ、電子顕微鏡の測定室、表面分析装置、微細加工装置などがある。こうした真空装置は、真空装置が担う工程や測定の特徴上、熱の影響をうけると測定に誤差が出てしまうので、熱の伝わりを抑制する必要性が高い。
具体的には、表面分析装置や微細加工装置の場合、真空ポンプから放射される熱によって加熱されてしまうと、測定精度や加工精度の誤差が大きくなる不具合が生じてしまうことがあった。
このように、真空装置は、当該真空装置に配設される真空ポンプから放射される熱によって真空装置自体が影響を受けた場合、より精密な加工やより精度の高い測定を実現させることが困難であった。
そこで、従来、下記特許文献のように、真空ポンプから放射される熱による影響を低減させるために真空ポンプからの熱の伝わりを抑制して真空装置側における過熱を防止する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３３７０７１公報
【特許文献２】特開２００４−２３９２５８公報
【０００５】
特許文献１には、真空ポンプの気体移送機構の上流に、真空室（真空装置）が受ける放射熱の影響を低減させるための、遮熱機構及び冷却機構から構成された放射熱低減構造を設ける技術が開示されている。
より詳しくは、遮熱機構は、支持部、最上段スペーサ、及び、下流側の面に放射率が０．８以上且つ上流側の面に放射率が０．１以下である表面処理が各々施された遮熱プレートから構成され、遮熱プレートは、真空ポンプの気体移送機構側に投影される領域が、真空ポンプのロータ部が吸気口と対面する領域とほぼ等しくなるように配設される。
また、冷却機構は、最上段スペーサのケーシング（真空ポンプの外装体）を介した外周部に、ケーシングを囲むように設けられた冷却管及び冷却管ジャケットを備えた水冷システムで構成される。
これらの遮熱機構及び冷却機構を有する放射熱低減構造において、遮熱プレートが熱を吸収し、また、遮熱プレートから最上段プレートへ伝わってしまった熱は冷却システムが外部に排出することによって、真空装置への熱の放射を抑制している。
特許文献２には、真空ポンプの気体移送機構の上流に、ポンプの運転状態に対し適切なガス温度になるように、吸気口から異なる位置の温度を調整することが可能な技術が開示されている。温度調整機能は、真空室と真空ポンプの吸気口の間に、設置された構造部材によって行われる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、ブレード（真空ポンプの回転翼、固定翼）からの放射熱の影響はそれほど大きいものではないとして、図９及び図１０に示すように、遮熱機構（遮熱プレート８０）は、真空ポンプの気体移送機構側に投影される領域が、真空ポンプのロータ部が吸気口と対面する領域とほぼ等しくなるように配設されるのみであった。つまり、回転翼９や固定翼１５の上部には、遮熱プレート８０は設けられておらず、支持部８１が配設されているのみであった。
また特許文献２でも同様に、ロータ・ディスク１０（回転翼）やステータ・ディスク１２（固定翼）の上部には、遮熱部材は設けられておらず、構造部分１８に設置された環状の溝構造に導入される温度調整液で構造部分１８自体の温度を調整し、構造部分１８とガスとの接触や構造部分からの放射によって、導入されるガスの温度調整が行われていた。
そのため、従来の技術（特許文献１および特許文献２）では、回転翼や固定翼などから放たれる放射熱は充分に遮熱できてはいなかった。
また、特許文献２では、温度制御はポンプの冷却循環とは独立しているため、コスト高となっていた。
そこで、本発明は、真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を、真空装置が配設される真空ポンプの吸気口全面、特に、ブレード（回転翼や固定翼）部分からの放射熱に関しても、簡単な構成で効率的に低減させることができる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明では、吸気口と排気口が形成された外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記外装体の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼とを有し、前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、前記吸気口に配設され、前記回転軸に対して非平行且つ非垂直な傾斜面を持つ板形状遮熱部材を複数有する熱交換器と、を備えたことを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の発明では、前記気体移送機構の上流に配設され、前記熱交換器に支持される網形状の網形状遮熱部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の発明では、前記熱交換器を冷却する冷却機構を更に備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の発明では、前記網形状遮熱部材は、前記吸気口の内径と略一致する外径を有する円板状であり、前記回転軸及びロータ部が前記網形状遮熱部材に投影される領域である中央部が、前記熱交換器が前記網形状遮熱部材に投影される領域である周囲部よりも、前記網形状の開口率が低いことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の発明では、前記熱交換器が有する板形状遮熱部材は、前記吸気口に対面する面の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の発明では、前記熱交換器は、前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向から見たとき、隣接する前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の発明では、前記熱交換器は、１つの円状板材に加工を施して形成された板部材及びプレス固定翼を有する円形熱交換器部材を備え、前記プレス固定翼が前記板形状遮熱部材であることを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の発明では、前記熱交換器は、前記板部材同士及び前記プレス固定翼同士が密着するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向視野から見たとき、前隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプを提供する。
請求項９記載の発明では、前記熱交換器は、前記板部材同士が密着し、且つ、前記プレス固定翼同士が離間するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材の円板平面の法線方向視野から見たとき、隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１０記載の発明では、前記熱交換器において、前記円形熱交換器部材を複数積層する場合に、前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも小さく形成されている、又は、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、又は、前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成され、且つ、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１１記載の発明では、前記外装体は、前記吸気口側に、断熱部材を有するフランジ部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、真空ポンプの吸気口全面、特に、ブレード（回転翼や固定翼）部分から放射されて真空装置へ伝わる熱の量を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造を備えたターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。
【図２】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造の一例を示した図である。
【図３】本発明の実施形態に係る熱交換器の一例を説明するための図である。
【図４】本発明の実施形態に係る遮熱部材の一例を説明するための図である。
【図５】本発明の実施形態に係る冷却機構の一例を説明するための図である。
【図６】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造と、更に断熱材を備えたターボ分子ポンプの概略構成を示した図である。
【図７】本発明の実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼を示した概略図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例３に係る遮熱部材を説明するための図である。
【図９】従来の技術に係る放射熱低減構造を説明するための図である。
【図１０】従来の技術に係る放射熱低減構造を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（ｉ）実施形態の概要
本発明の実施形態の真空ポンプは、遮熱機構と冷却機構とを有する放射熱低減構造を有する。
本遮熱機構は、真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部に位置する領域に配設される、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器と、真空ポンプの吸気口側の上部に位置する領域に配設される網形状の遮熱部材と、を備える。
更に、当該熱交換器を冷却する冷却機構を、熱交換器に接するように熱交換器の外周に配設する。
板形状遮熱部材を有する熱交換器が真空ポンプの回転翼及び固定翼（ブレード）から伝導する熱（電磁波）を受けとめることでブレードから真空装置に放射される熱を低減させることができ、また、網形状の遮熱部材が真空ポンプの吸気口から放射される熱を受けとめることで吸気口から真空装置に放射する熱を低減させることができる。
更に、熱交換器は、当該熱交換器の外周に配設されている冷却機構により冷却されるので、ブレードから真空装置に放射される熱を遮断（遮熱）すると同時に冷却させることができ、より効率よく熱の放射を低減させることができる。
【００１１】
（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１〜図８を参照して詳細に説明する。
なお、本実施形態では、真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプを用いて説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造（遮熱機構及び冷却機構）を備えたターボ分子ポンプ１の概略構成例を示した図である。
なお、図１は、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
また、図１には、ターボ分子ポンプ１に接続された真空室９０の一部も示されている。
ターボ分子ポンプ１に接続された真空室９０は、例えば、半導体製造装置、表面分析装置、あるいは微細加工装置のチャンバ等として用いられる真空装置の一部であり、真空室壁９１によって構成され、ターボ分子ポンプ１との接続ポートを有する真空容器である。
【００１２】
（真空ポンプ）
以下に、ターボ分子ポンプ１の構成について説明する。
ターボ分子ポンプ１は、真空室９０の排気処理を行うための真空ポンプである。このターボ分子ポンプ１は、ターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプである。
ターボ分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共にターボ分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部と筐体に対して固定された固定部から構成されている。
【００１３】
ケーシング２の端部には、当該ターボ分子ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部５が形成されている。
本実施形態では、ターボ分子ポンプ１と真空室壁９１とは、ターボ分子ポンプ１のフランジ部５に配設される放射熱低減構造（熱交換器２０、遮熱部材３０、及び冷却機構（冷却管）４０）を介してボルト等の締結部材を用いて固定することによって結合されている。なお、放射熱低減構造については後述する。
また、ベース３には、当該ターボ分子ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。
【００１４】
回転部は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９、排気口６側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられた筒型回転部材１０などから構成されている。なお、シャフト７及びロータ８によってロータ部が構成されている。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト７から放射状に伸びたブレードからなる。
また、筒型回転部材１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材からなる。
【００１５】
シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部１１が設けられている。
更に、シャフト７のモータ部１１に対して吸気口４側、および排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で軸支するための径方向磁気軸受装置１２、１３、シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（アキシャル方向）に非接触で軸支するための軸方向磁気軸受装置１４が設けられている。
【００１６】
筐体の内周側には、固定部が形成されている。この固定部は、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部）に設けられた複数枚の固定翼１５と、ケーシング２の内周面に設けられたねじ溝スペーサ１６などから構成されている。
各固定翼１５は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して筐体の内周面からシャフト７に向かって伸びたブレードから構成されている。
各段の固定翼１５は、円筒形状をしたスペーサ１７により互いに隔てられている。
ターボ分子ポンプ部では、固定翼１５が軸線方向に、回転翼９と互い違いに複数段形成されている。
【００１７】
ねじ溝スペーサ１６には、筒型回転部材１０との対向面にらせん溝が形成されている。ねじ溝スペーサ１６は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて筒型回転部材１０の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ１６に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
また、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
【００１８】
また、ターボ分子ポンプ１が半導体製造用に使用される場合などは、半導体の製造工程で様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプ１はチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体になり、排気系に生成物を析出する場合がある。そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ１内で低温となって固体状になり、ターボ分子ポンプ１内部に付着して堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１の性能を低下させる原因になる。
この状態を防ぐために、ベース３にサーミスタなどの温度センサ（図示しない）を埋め込み、この温度センサの信号に基づいてベース３の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つように、ヒータ（図示しない）による加熱や水冷管１８による冷却の制御（ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
このように構成されたターボ分子ポンプ１により、真空室９０内の真空排気処理を行うようになっている。
【００１９】
ここで、すべての物体は、絶対温度が零度でない限り電磁波の形で熱エネルギーを放射している。例えば、上記したターボ分子ポンプ１では、回転部を高速回転させて排気処理を行う過程で気体（ガス）分子の衝突熱やモータ部１１から発生する電磁波（熱）を放射している。この電磁波である放射熱によって、ターボ分子ポンプ１は加熱されて高温状態となる場合がある。
そして、更に、ターボ分子ポンプ１の放射熱が吸気口４を介して真空室９０へ伝わることで真空室９０内部が高温状態となると、真空室９０が扱っている装置や試料等に影響を与えてしまう場合がある。
従って、真空ポンプから放射されて真空室９０へ到達する電磁波（放射熱）を低減させることが、ターボ分子ポンプ１の熱放射が真空室９０へ与える影響を低減させることに繋がる。
ここで、一般的に、放射熱は面に垂直な方向への放射が最も強い。つまり、ターボ分子ポンプ１では、ロータ８の吸気口４側面から垂直方向である真空室９０方向へ放射される放射熱の影響が最も強くなる。
そこで、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、吸気口４側のロータ８上部面から垂直方向に放射される熱を垂直方向から吸収するための放射熱低減構造が配置されている。
【００２０】
本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、真空室９０が受ける放射熱の影響を低減させるための放射熱低減構造を有し、この放射熱低減構造は、ターボ分子ポンプ１の高温部から放射される熱の透過を防ぎ、熱を吸収しやすく、且つ、真空室９０側へ放射されにくい構造としている。
より詳しくは、本発明の本実施形態におけるターボ分子ポンプ１には、熱交換器２０、遮熱部材（網形状の遮熱部材）３０、及び冷却管４０が、気体移送機構の上流（吸気口４側）に設けられている。
【００２１】
（放射熱低減構造）
以下、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１に設けられる放射熱低減構造について説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造の一例を示すための図である。
図２に示したように、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造は、大別すると、遮熱機構としての熱交換器２０及び遮熱部材３０と、冷却機構としての冷却管４０と遮熱機構および冷却機構を保持する部材（熱交換器保持部材６０）により構成されている。
これらの放射熱低減構造は、ターボ分子ポンプ１の吸気口４が形成されている面に対向するように、ターボ分子ポンプ１の取付面に対して平行になるように配置されている。
本実施形態では、熱交換器２０及び遮熱部材３０は分離可能な構成としたが、これに限られることはない。例えば、それぞれの接合部（接続部）における熱の伝導を良くするために一体形成される構成にすることもできる。
【００２２】
（ｉ）熱交換器
はじめに、図１、図２、及び図３を参照しながら、本発明の実施形態に係る熱交換器２０について説明する。
図３は、本発明の実施形態に係る熱交換器２０の一例を説明するための図である。
図３（ａ）には、図２に示した熱交換器２０においてＡ−Ａ（直径方向）で切断した場合のいずれか半分を吸気口４側から見た平面図が示されている。
図３（ｂ）には、図２に示した熱交換器２０においてＡ−Ａで切断した場合の切断面が示されている。
図３（ｃ）には、図３（ａ）におけるＢ−Ｂで切断した場合の切断面を中心部側（後述する内リム２２側）から見た断面図が示されている。
【００２３】
本発明の実施形態に係る熱交換器２０は、図１に示したように、ターボ分子ポンプ１の吸気口側の上部に配設され、図３（ａ）に示したように、ターボ分子ポンプ１の吸気口４の内径よりも大きい直径を有する、厚みを持つ円盤（円板）状の部材であり、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から真空室９０へ放射される熱を遮るための固定翼として機能する。
この熱交換器２０は、例えば、アルミニウムの鋳物で製造される。
また、本発明の実施形態に係る熱交換器２０は、外リム２１と、内リム２２と、外リム２１と内リム２２に挟まれて（支持されて）配設される、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない斜めの傾斜面を有する複数の板形状遮熱部材（熱交換固定翼２３）と、を備えている。
本実施形態の熱交換固定翼２３は、図３（ａ）及び（ｂ）に示したように、外リム２１から内リム２２へ向かう方向に、外リム２１の内半径から内リム２２の外半径を差し引いた長さに相当する長さＬを有し、また、図３（ｃ）に示したように、当該長さＬと厚みＴを有し、更に、水平面に対して斜めの傾斜（角度θ）を有する板状の部材であり、放射状に設けられている。
なお、本実施形態の熱交換固定翼２３は、隣接する熱交換固定翼２３同士が等間隔に配設されるように放射状に設けられた構成としたが、配設間隔はこれに限られることはない。
この熱交換器２０は、外リム２１、内リム２２、及び熱交換固定翼２３のそれぞれの接合部（接続部）における熱の伝導を良くするために一体形成されていることが好ましく、例えば、削り出し加工によって形成された、継ぎ目のない一体構造であることが好ましい。
また、内リム２２を外径とする円状部分は空洞で、且つ、当該円状部分の直径は、ターボ分子ポンプ１の回転翼９が存在しない部分（図１ Ｄ）の直径に略一致するように構成されている。
上述のように構成された熱交換器２０は、ターボ分子ポンプ１の吸気口側の、回転翼９及び固定翼１５（ブレード）の上部に位置する部分（領域）に設けられる。
【００２４】
また、本実施形態の熱交換器２０は、後述する遮熱部材３０を支持するための支持部材の役割も担っている。
更に、熱交換器２０は、支持部材としての機能だけでなく、熱交換固定翼２３の熱を後述する冷却管４０へ導き、そこからターボ分子ポンプ１の外部へ放熱させるための熱の伝導経路の機能を兼ねている。
なお、熱交換器２０の外側端部（外リム２１）は、熱交換器保持部材６０に図示しないボルトで固定されている。
【００２５】
上述のように配設された熱交換固定翼２３により、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する放射熱に接する面積及び体積が増える（放射熱を吸収する面積及び体積が増える）ので、熱交換器２０の熱容量は大きくなる。
その結果、熱交換固定翼２３におけるターボ分子ポンプ１のブレードから放射される熱の吸収率を向上させることができるため、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
【００２６】
また、本実施形態の熱交換器２０では、熱交換固定翼２３は、熱交換器２０を上部から見たとき（図３（ａ））に不可視部を多くする（即ち、可視部を少なくする）ように構成されることが望ましい。言い換えると、熱交換器２０において開口率を低くすることが望ましい。開口率を低くする構成については後述する。
ここで、本実施形態における「不可視部」とは、吸気口４側から熱交換器２０を見た際に、各々の熱交換固定翼２３の間から熱交換固定翼２３の背後が見えない部分のことである。
【００２７】
また、本実施形態の熱交換固定翼２３は、プレス固定翼による構成にしてもよい。
ここで、プレス固定翼について説明する。
プレス固定翼は、円形の金属板材（例えば、ステンレス鋼製又はアルミニウム製）の薄肉の板に、エッチング加工、抜き打ち加工、又は型抜き加工、或いは、レーザやプラズマなどの切断法を用いて、プレス固定翼を形成するためのスリットを複数形成し、スリットにより切り出されたプレス固定翼をプレス加工などにより所定角度に曲げ加工を行って形成される。
本実施形態における熱交換固定翼２３にプレス固定翼を用いる構成については後述する。
【００２８】
また、本実施形態の熱交換器２０では、熱交換固定翼２３の両表面には、それぞれ異なる表面処理が施されている。
より詳しくは、熱交換固定翼２３の下流側面（排気口６側の面）、即ち、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面には、放射率が高い表面処理が施されている。なお、放射率とは、熱エネルギー（電磁波）の吸収率を示し、放射率が高いほど熱の吸収率が高く、放射率が低いほど熱の吸収率が低いことを示している。
熱交換固定翼２３の下流側面に施されている放射率が高い表面処理としては、例えば、放射率が０．８以上となるような、アルマイトコーティング処理、セラミックコーティング処理等がある。
このように、熱交換固定翼２３の下流側面に放射率が高い表面処理を施すことによって、熱交換固定翼２３における、回転翼９や固定翼１５等から放射される熱の吸収率をより向上させることができる。
つまり、上述のように表面処理された熱交換固定翼２３において、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより多く吸収することができるため、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
【００２９】
一方、熱交換固定翼２３の上流側面、即ち、真空室９０と対向する面には、放射率が低い表面処理が施されている。
本実施形態の熱交換固定翼２３の上流側面に施されている放射率が低い表面処理としては、例えば、放射率が０．１以下となるような、電解研磨処理、金メッキ処理、アルミメッキ処理等がある。
なお、電解研磨処理とは、金属製の研磨対象物を電極の＋（プラス）極にして電解液を介して直流電流を流し、金属表面を溶解させることにより研磨効果を得る方法である。
このように、熱交換固定翼２３の上流側面に放射率が低い表面処理を施すことによって、熱交換固定翼２３から真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができるので、ターボ分子ポンプ１からの放射熱が熱交換固定翼２３で吸収された後に、真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができる。
【００３０】
上述のように、本実施形態に係る熱交換器２０では、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する熱（電磁波）を、熱交換固定翼２３の下側面では高い吸収率で受け止め、一方、上側面では真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させるので、ターボ分子ポンプ１から真空装置に放射する熱をより低減させることができる。
なお、本実施形態では上流面及び下流面の各々に各々の処理を施す構成にしたが、これに限られることはない。例えば、上流面及び下流面の両方に表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００３１】
（ｉｉ）遮熱部材
次に、図１、図２、及び図４を参照しながら、本発明の実施形態に係る遮熱部材（網形状の遮熱部材）３０について説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の一例を説明するための図である。
図４（ａ）には本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の全体像の一例が示されており、図４（ｂ）には本発明の実施形態に係る遮熱部材３０のメッシュ部分の拡大図が示されている。
本実施形態の遮熱部材３０は、図４に示すように、網形状の遮熱部材であり、円周における複数箇所を、ボルトなどの取付具により熱交換器保持部材６０に固定される。
本実施形態に係る遮熱部材３０のメッシュ部分は、正六角形を隙間無く並べたハニカム（蜂の巣）構造としたが、メッシュ部分の網目の形状はこれに限ることはなく、例えば、矩形や円形の空洞が隙間無く並ぶ網目形状であれば、いかなる形状でも適用され得る。
この遮熱部材３０は、例えば、従来、異物の落下防止のために使用される保護アミを利用する構成にすることもできる。
【００３２】
網形状の遮熱部材である遮熱部材３０が、ターボ分子ポンプ１の吸気口４から放射する熱を受けとめることで、吸気口４から真空装置の真空室９０に放射する熱を低減させることができる。
【００３３】
（ｉｉｉ）冷却機構
次に、図１、図２、及び図５を参照しながら、本発明の実施形態に係る冷却機構について説明する。
図５は、本発明の実施形態に係る冷却機構の一例を説明するための図である。
本発明の実施形態では、熱交換固定翼２３へ伝わった熱を効果的に冷却するために、あるいは、遮熱機構（熱交換器２０、遮熱部材３０）を効率よく冷却するために、熱交換器２０の外周部分に、環状の冷却管４０を有する熱交換器保持部材６０が、熱交換器２０に接するように配設されている。
図５に示したように、本実施形態の熱交換器２０の外リム２１を介した外周部には、熱交換器保持部材６０が設けられている。つまり、熱交換器２０の熱交換固定翼２３は、外リム２１を介して冷却管４０で冷却される。また、各々の熱交換固定翼２３は、内リム２２と外リム２１で繋がって（支持されて）いる。
このように、全ての熱交換固定翼２３は冷却管４０と熱伝導による熱の出入りがある形で繋がっているので、冷却管４０は熱交換器保持部材６０を介して全ての熱交換固定翼２３を冷やすことができる構造になっている。
【００３４】
この熱交換器保持部材６０の内部には、熱交換器２０を囲むように、冷却管（例えば水冷管）が配設されている。
本実施形態の冷却管４０は管状の部材であり、熱交換器保持部材６０の内部に配設されている。本実施形態の冷却管４０では、熱交換器保持部材６０の内部に設けた冷却管４０に熱媒体である冷却剤を流し、この冷却剤に熱を吸収させるようにして冷却を行う液冷方法を用いている。
【００３５】
本実施形態のターボ分子ポンプ１には、上述したように水冷管１８が設けられており、ターボ分子ポンプ１の水冷管１８で使用する水を併用できるよう、冷却機構の冷却管４０を用いる液冷方法を採用した。
この構成により、冷却機構（冷却管４０）用に追加装置を別途用意する必要がなくなるので、設置スペースの拡大やコストの増大を防ぐことができる。
本実施形態では上述のように冷却機構は水冷方法を採用したが、水以外の冷媒を用いたり、あるいは遮熱機構（熱交換器２０、遮熱部材３０）の外周上又は外周の一部にファンを配設して遮熱機構の回りを冷やす空冷方法を採用することもできる。
【００３６】
なお、本実施形態の熱交換器保持部材６０は、ケーシング２と別構成にしてボルトなどの取付具でケーシング２に取りつける構成にしたが、熱交換器保持部材６０の構成方法はこれに限定されるものではない。
例えば、ケーシング２の外周面に溝を形成し、この溝に冷却剤を流して冷却管４０の機能を持たせるようにしてもよい。
また、冷却管４０と熱交換器保持部材６０との空隙や、冷却管４０とケーシング２との接触部に半田や熱伝導用のペーストなどを付設し、冷却管４０における熱交換の効率を更に向上させるようにしてもよい。
【００３７】
上述のように、本実施形態では冷却管４０を熱交換器の外周に配設することにより、熱交換器２０の熱交換固定翼２３へ放射された熱を効果的に冷却する、即ち、熱を速やかに外部に排出することができる。
このように、ブレード（ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５）から真空装置に放射される熱を、遮断（遮熱）すると同時に冷却させることができるので、ターボ分子ポンプ１から真空室９０側へ放射される熱をより効率よく低減させることができる。
【００３８】
（ｉｖ）断熱材
図６は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造と、更に断熱材５０を備えたターボ分子ポンプ１の概略構成を示した図であり、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、上述した図１と同一部分（重複する箇所）には、同一の符号を用い詳細な説明を省略する。
本実施形態に係る断熱材５０は、ターボ分子ポンプ１のケーシング２からの熱が伝わらないように、ケーシング２の吸気口４側のフランジ部５に配置された断熱部材であり、ゴムなどの熱抵抗が高い材料、即ち熱伝導率の小さい材料によって構成されている。
この構成により、ターボ分子ポンプ１の熱が、ターボ分子ポンプ１のケーシング２から熱交換器保持部材６０を伝って真空装置側へ伝導するのを低減させることができる。
【００３９】
上記のように説明した本発明の実施形態に係る遮熱機構は、以下のように様々に変形することが可能である。
（熱交換器の変形例）
まず、本発明の実施形態に係る熱交換器の変形例１及び変形例２を、図７を参照して説明する。
図７は、本発明の実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼２３０を示した概略図であり、図７（ａ）及び図７（ｂ）には、図３（ａ）におけるＢ−Ｂで切断した場合の切断面を中心部側（内リム２２側）から見た断面図が示されている。
本実施形態の変形例１及び変形例２では、熱交換固定翼は、上述したプレス固定翼で構成されている（以後、熱交換プレス翼２３０）。
上述したように、ターボ分子ポンプ１からの放射熱を低減させるためには、熱交換器２０において熱交換固定翼２３（図３）により形成される不可視部は、多ければ多いほど（即ち、可視部が少なければ少ないほど）良い。
そこで本実施形態の変形例１及び変形例２では、熱交換プレス翼２３０により形成される不可視部を多くする方法について説明する。
【００４０】
例えば、図７（ａ）に示すように、１枚の第１の板部材２３１０で形成される第１の熱交換プレス固定翼２３１では、製造過程上、第１の熱交換プレス固定翼２３１同士のピッチ間隔（ｄ１に相当する）をある一定以上縮めることができない。そのため、どうしてもｄ１に相当する可視部が形成されてしまう。
（変形例１）
そこで、本発明の実施形態の変形例１に係る熱交換プレス翼２３０は、図７（ａ）に示したように、第１の熱交換プレス固定翼２３１が形成された第１の板部材２３１０と、第２の熱交換プレス固定翼２３２が形成された第２の板部材２３２０とを、各々の熱交換プレス固定翼（第１の熱交換プレス固定翼２３１、第２の熱交換プレス固定翼２３２）が水平面（板部材面）に対して略同じ角度を有して重なるように、第１の板部材２３１０と第２の板部材２３２０とを空隙なく重ねて配設して（積層して）構成されている。
このような構成にすることで、第１の板部材２３１０（又は、第２の板部材２３２０）のみで第１の熱交換プレス固定翼２３１（又は、第２の熱交換プレス固定翼２３２）を構成する場合に形成される可視部ｄ１を、ｄ２にまで減少させることができる。
つまり、第１の熱交換プレス固定翼２３１（又は、第２の熱交換プレス固定翼２３２）のみによって形成されていた不可視部が多くなって、熱交換プレス翼２３０の開口率を減らすことができるので、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより効率よく低減させることが可能になる。
【００４１】
（変形例２）
次に、本発明の実施形態の変形例２について図７（ｂ）を参照して説明する。
本発明の実施形態の変形例２に係る熱交換プレス翼３３０は、図７（ｂ）に示したように、第１の熱交換プレス固定翼３３１が形成された第１の板部材３３１０と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が形成された第２の板部材３３２０とを、各々の熱交換プレス固定翼（第１の熱交換プレス固定翼３３１、第２の熱交換プレス固定翼３３２）が水平面（板部材面）に対して略同じ角度を有し、且つ、第１の熱交換プレス固定翼３３１が投影される領域と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が投影される領域とが重なる程度に、或いは、第１の熱交換プレス固定翼３３１が投影される領域と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が投影される領域との間に隙間が無い程度に、隣接させて並べ、更に第１の板部材３３１０と第２の板部材３３２０とを空隙なく重ねて配設して（積層して）構成されている。
このような構成にすることで、第１の板部材３３１０のみで第１の熱交換プレス固定翼３３１を（又は、第２の板部材３３２０のみで第２の熱交換固定翼３３２を）構成する場合に形成される可視部ｄ３を、可能な限り少なくした構成にすることができる。
つまり、第１の熱交換プレス固定翼３３１（又は、第２の熱交換固定翼３３２）のみによって形成されていた不可視部が多くなって、熱交換プレス翼３３０の開口率を減らし、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより低減させることが可能になる。
【００４２】
また、上述した変形例１の熱交換プレス翼２３０は、図７（ａ）に示したように、熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕ（つまり、熱交換プレス翼２３０の上側に配置される第１の板部材２３１０と第１の熱交換プレス固定翼２３１の、真空室９０側である面）と、熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄ（つまり、熱交換プレス翼２３０の下側に配置される第２の板部材２３２０と第２の熱交換プレス固定翼２３２の、排気口６側である面）とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にすることができる。
より詳しくは、変形例１の熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄ、即ち、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面には、放射率が高い表面処理が施される。この、熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄに施される放射率が高い表面処理としては、例えば、放射率が０．８以上となるような、アルマイトコーティング処理、セラミックコーティング処理等がある。
このように、変形例１の熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄに放射率が高い表面処理を施すことによって、変形例１の熱交換プレス翼２３０における、回転翼９や固定翼１５等から放射される熱の吸収率を向上させることができる。
つまり、熱交換プレス翼２３０（の下面２３０Ｄ）においてより多くの熱を吸収し、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
一方、変形例１の熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕ、即ち、真空室９０と対向する面には、放射率が低い表面処理が施されている。この、熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕに施される放射率が低い表面処理としては、例えば、放射率が０．１以下となるような、電解研磨処理、金メッキ処理、アルミメッキ処理等がある。
【００４３】
上記説明では、熱交換プレス翼２３０の上側に配置される第１の板部材２３１０と第１の熱交換プレス固定翼２３１の、真空室９０側片面と、熱交換プレス翼２３０の下側に配置される第２の板部材２３２０と第２の熱交換プレス固定翼２３２の、排気口６側片面とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にしたが、このように各々の「片面」に各々の表面処理を施すのではなく、真空室９０側に配設される第１の板部材板２３１０の「全面」に放射率が低い表面処理を、一方、排気口６側に配設される第２の板部材２３２０の「全面」に放射率が高い表面処理を、各々施する構成にしても良い。
あるいは、上下ともに表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００４４】
同様に、上述した変形例２の熱交換プレス翼３３０では、図７（ｂ）に示したように、熱交換プレス翼３３０の上面３３０Ｕ（つまり、熱交換プレス翼３３０の上側に配置される第１の板部材３３１０と、第１の板部材３３１０及び第２の板部材３３２０の第１の熱交換プレス固定翼３３１及び第２の熱交換プレス固定翼３３２各々の、真空室９０側である面）と、熱交換プレス翼３３０の下面３３０Ｄ（つまり、熱交換プレス翼３３０の下側に配置される第２の板部材３３２０と、第１の板部材３３１０及び第２の板部材３３２０の第１の熱交換プレス固定翼３３１及び第２の熱交換プレス固定翼３３２各々の、排気口６側である面）とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にすることができる。
より詳しくは、変形例２の熱交換プレス翼３３０において、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面（熱交換プレス翼３３０の下面３３０Ｄ）には、上述した放射率が高い表面処理が施され、真空室９０と対向する面（熱交換プレス翼３３０の上面３３０Ｕ）には、上述した放射率が低い表面処理が施される。
あるいは、上下ともに表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００４５】
このように、本実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼２３０、３３０では、熱交換プレス翼２３０（もしくは３３０）の上流側面（２３０Ｕもしくは３３０Ｕ）に放射率が低い表面処理を施し、且つ、熱交換プレス翼２３０（もしくは３３０）の下流側面（２３０Ｄもしくは３３０Ｄ）に放射率が高い表面処理を施すことによって、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する熱（電磁波）を、熱交換プレス翼２３０の下流側面（２３０Ｄもしくは３３０Ｄ）では高い吸収率で受け止め、一方、上流側面（２３０Ｕもしくは３３０Ｕ）では真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができる。
その結果、ターボ分子ポンプ１からの放射熱が熱交換プレス翼２３０（もしくは熱交換プレス翼３３０）で吸収された後に、真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができ、ターボ分子ポンプ１から真空装置に放射する熱をより低減させることができる。
【００４６】
なお、本実施形態の変形例１及び変形例２では、排気性能を考慮して、１つの熱交換プレス翼を形成するために重ねる板部材の数を２つにしたが、重ねる数量はこれに限ることはない。例えば、３つ、４つ・・・といった複数の板部材を重ねて１つの熱交換プレス翼を形成する構成にしてもよい。
【００４７】
（遮熱部材の変形例−変形例３）
次に、本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の変形例（変形例３）を、図１及び図８を参照して説明する。
ここで、一般的に、網形状の遮熱部材においては、網状部分（メッシュ）の開口率が低ければ低いほど、気体の通りは悪くなる。そこで、本変形例３では、網形状の遮熱部材の開口率が一律ではない遮熱部材３００を配設する。
図８（ａ）は、本発明の実施形態の変形例３に係る遮熱部材３００を真空室９０側から見た全体像の一例を示した図である。
図８（ｂ）は、図８（ａ）で示した遮熱部材３００の中央部Ｅの、また、図８（ｃ）は図８（ａ）で示した遮熱部材３００の中央部Ｅを囲む周辺部Ｆの、拡大図を示した図である。
図８（ａ）に示したように、変形例３に係る遮熱部材３００は、中央に、低い開口率の網状部分（メッシュが細かい領域；メッシュサイズ小）で成形された中央部Ｅを、また、中央部Ｅの周囲を囲む領域には、中央部Ｅよりも高い開口率の網状部分（メッシュが粗い領域；メッシュサイズ大）で成形された周辺部Ｆを、同一平面上に有する。
なお、本変形例３に係る遮熱部材３００の中央部Ｅの大きさ（直径）は、排気性能への影響を最小限にとどめるために、ロータ８の吸気口４側端面（図１ Ｄ）領域とほぼ等しくなっている。即ち、気体移送路が形成される領域（回転翼９および固定翼１５が配設されている領域）の吸気口４側に投影される領域と、遮熱部材３００のＥ部が吸気口４側に投影される領域とは重複しないようになっている。
言い換えると、遮熱部材３００のＥ部は、遮熱部材３００の中央部Ｅが吸気口４側に投影される領域と、ロータ８の吸気口４側端面領域が吸気口４側に投影される領域と、が重複するように配置されている。
更には、変形例３の遮熱部材３００の中央部Ｅの外径は、熱交換器２０の内リム２２の内径と略一致するように構成され、変形例３の遮熱部材３００の中央部Ｅを囲む領域（周辺部Ｆ）の外径は、熱交換器２０の外リム２１の外径と一致するように構成される。
【００４８】
このように、遮熱部材３００のＥ部が、吸気口４の全面ではなく、吸気口４におけるロータ８の円筒部分（回転翼９が配設される領域を除いた部分）の上部にのみ配設されることは、つまり、遮熱部材３００の開口率が低い網状部分である中央部Ｅが、気体移送機構の作用により移送される気体の排気抵抗を増大させる領域に及ばないように配置することである。
上述のような構成により、低い開口率のメッシュで成形された中央部Ｅを有する遮熱部材３００を設けたことに起因するターボ分子ポンプ１の排気性能の低下を抑制することができる。
【００４９】
なお、吸気口４の中央部分（ロータ８の円筒部分の上部）からの熱の放射を効率よく防ぐために、遮熱部材３００の中央部分（Ｅ）のメッシュの開口率を小さくし、中央部分以外（Ｆ）における遮熱部材３００のメッシュの開口率は中央部分よりも大きくした構成にしているが、Ｆ部に該当する部分の直下には、上述した熱交換固定翼２３（又は、熱交換プレス固定翼２３１、２３２、３３１、３３２）が設けられるので、中央部分（Ｅ）に比べ他部分（Ｆ）の熱放射率が劣ることはない構成になっている。
【００５０】
上述した実施形態および変形例によれば、ターボ分子ポンプから真空装置へ伝わる熱を低減させることができるため、真空装置の真空室の内部温度上昇を適切に抑制することができる。これにより、真空室の内部におけるより精密な加工やより精度の高い測定を実現させることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１ ターボ分子ポンプ
２ ケーシング
３ ベース
４ 吸気口
５ フランジ部
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ 筒型回転部材
１１ モータ部
１２、１３ 径方向磁気軸受装置
１４ 軸方向磁気軸受装置
１５ 固定翼
１６ ねじ溝スペーサ
１７ スペーサ
１８ 水冷管
２０ 熱交換器
２１ 外リム
２２ 内リム
２３ 熱交換固定翼
２３０、３３０ 熱交換プレス翼
２３１、３３１ 第１の熱交換プレス固定翼
２３２、３３２ 第２の熱交換プレス固定翼
２３０Ｕ、３３０Ｕ 熱交換プレス翼の上面
２３０Ｄ、３３０Ｄ 熱交換プレス翼の下面
２３１０ 第１の板部材
２３２０ 第２の板部材
３０ 遮熱部材
３００ 遮熱部材
４０ 冷却機構（冷却管）
５０ 断熱材
６０ 熱交換器保持部材
８０ 従来の遮熱プレート
８１ 従来の支持部
９０ 真空室
９１ 真空室壁
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプに関し、詳しくは、真空ポンプ本体で発生する熱が真空装置へ伝導するのを抑制する放射熱低減構造を備える真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種ある真空ポンプのうち、高真空の環境を実現するために多用されるものに、ターボ分子ポンプがある。
ターボ分子ポンプは、吸気口および排気口を備えた外装体を形成するケーシングの内部で、ロータが高速回転するように構成されている。ケーシングの内周面には固定翼が多段に配設されており、また、ロータには回転翼が放射状に且つ多段に配設されている。そうしてロータが高速回転すると、回転翼と固定翼の作用により気体が吸気口から吸引され、排気口から排出される構造になっている。
こうした構造を持つターボ分子ポンプは、タービンを高速回転させて排気処理を行っているため、気体分子の衝突熱やモータから発生する熱などによってポンプ本体が加熱されて高温状態になる場合があり、そうして発生したターボ分子ポンプから放射される熱は、真空装置側に伝導すると悪影響を与えてしまうおそれがある。
【０００３】
例えば、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを用いて排気処理を行うことで内部が真空に保たれる真空装置には、半導体製造装置用のチャンバ、電子顕微鏡の測定室、表面分析装置、微細加工装置などがある。こうした真空装置は、真空装置が担う工程や測定の特徴上、熱の影響をうけると測定に誤差が出てしまうので、熱の伝わりを抑制する必要性が高い。
具体的には、表面分析装置や微細加工装置の場合、真空ポンプから放射される熱によって加熱されてしまうと、測定精度や加工精度の誤差が大きくなる不具合が生じてしまうことがあった。
このように、真空装置は、当該真空装置に配設される真空ポンプから放射される熱によって真空装置自体が影響を受けた場合、より精密な加工やより精度の高い測定を実現させることが困難であった。
そこで、従来、下記特許文献のように、真空ポンプから放射される熱による影響を低減させるために真空ポンプからの熱の伝わりを抑制して真空装置側における過熱を防止する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３３７０７１公報
【特許文献２】特開２００４−２３９２５８公報
【０００５】
特許文献１には、真空ポンプの気体移送機構の上流に、真空室（真空装置）が受ける放射熱の影響を低減させるための、遮熱機構及び冷却機構から構成された放射熱低減構造を設ける技術が開示されている。
より詳しくは、遮熱機構は、支持部、最上段スペーサ、及び、下流側の面に放射率が０．８以上且つ上流側の面に放射率が０．１以下である表面処理が各々施された遮熱プレートから構成され、遮熱プレートは、真空ポンプの気体移送機構側に投影される領域が、真空ポンプのロータ部が吸気口と対面する領域とほぼ等しくなるように配設される。
また、冷却機構は、最上段スペーサのケーシング（真空ポンプの外装体）を介した外周部に、ケーシングを囲むように設けられた冷却管及び冷却管ジャケットを備えた水冷システムで構成される。
これらの遮熱機構及び冷却機構を有する放射熱低減構造において、遮熱プレートが熱を吸収し、また、遮熱プレートから最上段プレートへ伝わってしまった熱は冷却システムが外部に排出することによって、真空装置への熱の放射を抑制している。
特許文献２には、真空ポンプの気体移送機構の上流に、ポンプの運転状態に対し適切なガス温度になるように、吸気口から異なる位置の温度を調整することが可能な技術が開示されている。温度調整機能は、真空室と真空ポンプの吸気口の間に、設置された構造部材によって行われる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、ブレード（真空ポンプの回転翼、固定翼）からの放射熱の影響はそれほど大きいものではないとして、図９及び図１０に示すように、遮熱機構（遮熱プレート８０）は、真空ポンプの気体移送機構側に投影される領域が、真空ポンプのロータ部が吸気口と対面する領域とほぼ等しくなるように配設されるのみであった。つまり、回転翼９や固定翼１５の上部には、遮熱プレート８０は設けられておらず、支持部８１が配設されているのみであった。
また特許文献２でも同様に、ロータ・ディスク１０（回転翼）やステータ・ディスク１２（固定翼）の上部には、遮熱部材は設けられておらず、構造部分１８に設置された環状の溝構造に導入される温度調整液で構造部分１８自体の温度を調整し、構造部分１８とガスとの接触や構造部分からの放射によって、導入されるガスの温度調整が行われていた。
そのため、従来の技術（特許文献１および特許文献２）では、回転翼や固定翼などから放たれる放射熱は充分に遮熱できてはいなかった。
また、特許文献２では、温度制御はポンプの冷却循環とは独立しているため、コスト高となっていた。
そこで、本発明は、真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を、真空装置が配設される真空ポンプの吸気口全面、特に、ブレード（回転翼や固定翼）部分からの放射熱に関しても、簡単な構成で効率的に低減させることができる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明では、吸気口と排気口が形成された外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記外装体の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼とを有し、前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、前記吸気口に配設され、前記回転軸に対して非平行且つ非垂直な傾斜面を持つ板形状遮熱部材を複数有する熱交換器と、を備えたことを特徴とする真空ポンプを提供する。
請求項２記載の発明では、前記気体移送機構の上流に配設され、前記熱交換器に支持される網形状の網形状遮熱部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプを提供する。
請求項３記載の発明では、前記熱交換器を冷却する冷却機構を更に備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプを提供する。
請求項４記載の発明では、前記網形状遮熱部材は、前記吸気口の内径と略一致する外径を有する円板状であり、前記回転軸及びロータ部が前記網形状遮熱部材に投影される領域である中央部が、前記熱交換器が前記網形状遮熱部材に投影される領域である周囲部よりも、前記網形状の開口率が低いことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項５記載の発明では、前記熱交換器が有する板形状遮熱部材は、前記吸気口に対面する面の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項６記載の発明では、前記熱交換器は、前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向から見たとき、隣接する前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項７記載の発明では、前記熱交換器は、１つの円状板材に加工を施して形成された板部材及びプレス固定翼を有する円形熱交換器部材を備え、前記プレス固定翼が前記板形状遮熱部材であることを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
請求項８記載の発明では、前記熱交換器は、前記板部材同士及び前記プレス固定翼同士が密着するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向視野から見たとき、前隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプを提供する。
請求項９記載の発明では、前記熱交換器は、前記板部材同士が密着し、且つ、前記プレス固定翼同士が離間するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材の円板平面の法線方向視野から見たとき、隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１０記載の発明では、前記熱交換器において、前記円形熱交換器部材を複数積層する場合に、前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも小さく形成されている、又は、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、又は、前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成され、且つ、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の真空ポンプを提供する。
請求項１１記載の発明では、前記外装体は、前記吸気口側に、断熱部材を有するフランジ部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプを提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、真空ポンプの吸気口全面、特に、ブレード（回転翼や固定翼）部分から放射されて真空装置へ伝わる熱の量を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造を備えたターボ分子ポンプの概略構成例を示した図である。
【図２】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造の一例を示した図である。
【図３】本発明の実施形態に係る熱交換器の一例を説明するための図である。
【図４】本発明の実施形態に係る遮熱部材の一例を説明するための図である。
【図５】本発明の実施形態に係る冷却機構の一例を説明するための図である。
【図６】本発明の実施形態に係る放射熱低減構造と、更に断熱材を備えたターボ分子ポンプの概略構成を示した図である。
【図７】本発明の実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼を示した概略図である。
【図８】本発明の実施形態の変形例３に係る遮熱部材を説明するための図である。
【図９】従来の技術に係る放射熱低減構造を説明するための図である。
【図１０】従来の技術に係る放射熱低減構造を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（ｉ）実施形態の概要
本発明の実施形態の真空ポンプは、遮熱機構と冷却機構とを有する放射熱低減構造を有する。
本遮熱機構は、真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部に位置する領域に配設される、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器と、真空ポンプの吸気口側の上部に位置する領域に配設される網形状の遮熱部材と、を備える。
更に、当該熱交換器を冷却する冷却機構を、熱交換器に接するように熱交換器の外周に配設する。
板形状遮熱部材を有する熱交換器が真空ポンプの回転翼及び固定翼（ブレード）から伝導する熱（電磁波）を受けとめることでブレードから真空装置に放射される熱を低減させることができ、また、網形状の遮熱部材が真空ポンプの吸気口から放射される熱を受けとめることで吸気口から真空装置に放射する熱を低減させることができる。
更に、熱交換器は、当該熱交換器の外周に配設されている冷却機構により冷却されるので、ブレードから真空装置に放射される熱を遮断（遮熱）すると同時に冷却させることができ、より効率よく熱の放射を低減させることができる。
【００１１】
（ｉｉ）実施形態の詳細
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１〜図８を参照して詳細に説明する。
なお、本実施形態では、真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプを用いて説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造（遮熱機構及び冷却機構）を備えたターボ分子ポンプ１の概略構成例を示した図である。
なお、図１は、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
また、図１には、ターボ分子ポンプ１に接続された真空室９０の一部も示されている。
ターボ分子ポンプ１に接続された真空室９０は、例えば、半導体製造装置、表面分析装置、あるいは微細加工装置のチャンバ等として用いられる真空装置の一部であり、真空室壁９１によって構成され、ターボ分子ポンプ１との接続ポートを有する真空容器である。
【００１２】
（真空ポンプ）
以下に、ターボ分子ポンプ１の構成について説明する。
ターボ分子ポンプ１は、真空室９０の排気処理を行うための真空ポンプである。このターボ分子ポンプ１は、ターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプである。
ターボ分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング２は、略円筒状の形状をしており、ケーシング２の下部（排気口６側）に設けられたベース３と共にターボ分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、この筐体の内部には、ターボ分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物である気体移送機構が収納されている。
この気体移送機構は、大きく分けて、回転自在に軸支された回転部と筐体に対して固定された固定部から構成されている。
【００１３】
ケーシング２の端部には、当該ターボ分子ポンプ１へ気体を導入するための吸気口４が形成されている。また、ケーシング２の吸気口４側の端面には、外周側へ張り出したフランジ部５が形成されている。
本実施形態では、ターボ分子ポンプ１と真空室壁９１とは、ターボ分子ポンプ１のフランジ部５に配設される放射熱低減構造（熱交換器２０、遮熱部材３０、及び冷却機構（冷却管）４０）を介してボルト等の締結部材を用いて固定することによって結合されている。なお、放射熱低減構造については後述する。
また、ベース３には、当該ターボ分子ポンプ１から気体を排気するための排気口６が形成されている。
【００１４】
回転部は、回転軸であるシャフト７、このシャフト７に配設されたロータ８、ロータ８に設けられた複数枚の回転翼９、排気口６側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられた筒型回転部材１０などから構成されている。なお、シャフト７及びロータ８によってロータ部が構成されている。
各回転翼９は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト７から放射状に伸びたブレードからなる。
また、筒型回転部材１０は、ロータ８の回転軸線と同心の円筒形状をした円筒部材からなる。
【００１５】
シャフト７の軸線方向中程には、シャフト７を高速回転させるためのモータ部１１が設けられている。
更に、シャフト７のモータ部１１に対して吸気口４側、および排気口６側には、シャフト７をラジアル方向（径方向）に非接触で軸支するための径方向磁気軸受装置１２、１３、シャフト７の下端には、シャフト７を軸線方向（アキシャル方向）に非接触で軸支するための軸方向磁気軸受装置１４が設けられている。
【００１６】
筐体の内周側には、固定部が形成されている。この固定部は、吸気口４側（ターボ分子ポンプ部）に設けられた複数枚の固定翼１５と、ケーシング２の内周面に設けられたねじ溝スペーサ１６などから構成されている。
各固定翼１５は、シャフト７の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して筐体の内周面からシャフト７に向かって伸びたブレードから構成されている。
各段の固定翼１５は、円筒形状をしたスペーサ１７により互いに隔てられている。
ターボ分子ポンプ部では、固定翼１５が軸線方向に、回転翼９と互い違いに複数段形成されている。
【００１７】
ねじ溝スペーサ１６には、筒型回転部材１０との対向面にらせん溝が形成されている。ねじ溝スペーサ１６は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて筒型回転部材１０の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ１６に形成されたらせん溝の方向は、らせん溝内をロータ８の回転方向にガスが輸送された場合、排気口６に向かう方向である。
また、らせん溝の深さは、排気口６に近づくにつれて浅くなるようになっており、らせん溝を輸送されるガスは排気口６に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
【００１８】
また、ターボ分子ポンプ１が半導体製造用に使用される場合などは、半導体の製造工程で様々なプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプ１はチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体になり、排気系に生成物を析出する場合がある。そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ１内で低温となって固体状になり、ターボ分子ポンプ１内部に付着して堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプ１の性能を低下させる原因になる。
この状態を防ぐために、ベース３にサーミスタなどの温度センサ（図示しない）を埋め込み、この温度センサの信号に基づいてベース３の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つように、ヒータ（図示しない）による加熱や水冷管１８による冷却の制御（ＴＭＳ；Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）が行われている。
このように構成されたターボ分子ポンプ１により、真空室９０内の真空排気処理を行うようになっている。
【００１９】
ここで、すべての物体は、絶対温度が零度でない限り電磁波の形で熱エネルギーを放射している。例えば、上記したターボ分子ポンプ１では、回転部を高速回転させて排気処理を行う過程で気体（ガス）分子の衝突熱やモータ部１１から発生する電磁波（熱）を放射している。この電磁波である放射熱によって、ターボ分子ポンプ１は加熱されて高温状態となる場合がある。
そして、更に、ターボ分子ポンプ１の放射熱が吸気口４を介して真空室９０へ伝わることで真空室９０内部が高温状態となると、真空室９０が扱っている装置や試料等に影響を与えてしまう場合がある。
従って、真空ポンプから放射されて真空室９０へ到達する電磁波（放射熱）を低減させることが、ターボ分子ポンプ１の熱放射が真空室９０へ与える影響を低減させることに繋がる。
ここで、一般的に、放射熱は面に垂直な方向への放射が最も強い。つまり、ターボ分子ポンプ１では、ロータ８の吸気口４側面から垂直方向である真空室９０方向へ放射される放射熱の影響が最も強くなる。
そこで、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、吸気口４側のロータ８上部面から垂直方向に放射される熱を垂直方向から吸収するための放射熱低減構造が配置されている。
【００２０】
本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１は、真空室９０が受ける放射熱の影響を低減させるための放射熱低減構造を有し、この放射熱低減構造は、ターボ分子ポンプ１の高温部から放射される熱の透過を防ぎ、熱を吸収しやすく、且つ、真空室９０側へ放射されにくい構造としている。
より詳しくは、本発明の本実施形態におけるターボ分子ポンプ１には、熱交換器２０、遮熱部材（網形状の遮熱部材）３０、及び冷却管４０が、気体移送機構の上流（吸気口４側）に設けられている。
【００２１】
（放射熱低減構造）
以下、本発明の実施形態に係るターボ分子ポンプ１に設けられる放射熱低減構造について説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造の一例を示すための図である。
図２に示したように、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造は、大別すると、遮熱機構としての熱交換器２０及び遮熱部材３０と、冷却機構としての冷却管４０と遮熱機構および冷却機構を保持する部材（熱交換器保持部材６０）により構成されている。
これらの放射熱低減構造は、ターボ分子ポンプ１の吸気口４が形成されている面に対向するように、ターボ分子ポンプ１の取付面に対して平行になるように配置されている。
本実施形態では、熱交換器２０及び遮熱部材３０は分離可能な構成としたが、これに限られることはない。例えば、それぞれの接合部（接続部）における熱の伝導を良くするために一体形成される構成にすることもできる。
【００２２】
（ｉ）熱交換器
はじめに、図１、図２、及び図３を参照しながら、本発明の実施形態に係る熱交換器２０について説明する。
図３は、本発明の実施形態に係る熱交換器２０の一例を説明するための図である。
図３（ａ）には、図２に示した熱交換器２０においてＡ−Ａ（直径方向）で切断した場合のいずれか半分を吸気口４側から見た平面図が示されている。
図３（ｂ）には、図２に示した熱交換器２０においてＡ−Ａで切断した場合の切断面が示されている。
図３（ｃ）には、図３（ａ）におけるＢ−Ｂで切断した場合の切断面を中心部側（後述する内リム２２側）から見た断面図が示されている。
【００２３】
本発明の実施形態に係る熱交換器２０は、図１に示したように、ターボ分子ポンプ１の吸気口側の上部に配設され、図３（ａ）に示したように、ターボ分子ポンプ１の吸気口４の内径よりも大きい直径を有する、厚みを持つ円盤（円板）状の部材であり、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から真空室９０へ放射される熱を遮るための固定翼として機能する。
この熱交換器２０は、例えば、アルミニウムの鋳物で製造される。
また、本発明の実施形態に係る熱交換器２０は、外リム２１と、内リム２２と、外リム２１と内リム２２に挟まれて（支持されて）配設される、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない斜めの傾斜面を有する複数の板形状遮熱部材（熱交換固定翼２３）と、を備えている。
本実施形態の熱交換固定翼２３は、図３（ａ）及び（ｂ）に示したように、外リム２１から内リム２２へ向かう方向に、外リム２１の内半径から内リム２２の外半径を差し引いた長さに相当する長さＬを有し、また、図３（ｃ）に示したように、当該長さＬと厚みＴを有し、更に、水平面に対して斜めの傾斜（角度θ）を有する板状の部材であり、放射状に設けられている。
なお、本実施形態の熱交換固定翼２３は、隣接する熱交換固定翼２３同士が等間隔に配設されるように放射状に設けられた構成としたが、配設間隔はこれに限られることはない。
この熱交換器２０は、外リム２１、内リム２２、及び熱交換固定翼２３のそれぞれの接合部（接続部）における熱の伝導を良くするために一体形成されていることが好ましく、例えば、削り出し加工によって形成された、継ぎ目のない一体構造であることが好ましい。
また、内リム２２を外径とする円状部分は空洞で、且つ、当該円状部分の直径は、ターボ分子ポンプ１の回転翼９が存在しない部分（図１ Ｄ）の直径に略一致するように構成されている。
上述のように構成された熱交換器２０は、ターボ分子ポンプ１の吸気口側の、回転翼９及び固定翼１５（ブレード）の上部に位置する部分（領域）に設けられる。
【００２４】
また、本実施形態の熱交換器２０は、後述する遮熱部材３０を支持するための支持部材の役割も担っている。
更に、熱交換器２０は、支持部材としての機能だけでなく、熱交換固定翼２３の熱を後述する冷却管４０へ導き、そこからターボ分子ポンプ１の外部へ放熱させるための熱の伝導経路の機能を兼ねている。
なお、熱交換器２０の外側端部（外リム２１）は、熱交換器保持部材６０に図示しないボルトで固定されている。
【００２５】
上述のように配設された熱交換固定翼２３により、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する放射熱に接する面積及び体積が増える（放射熱を吸収する面積及び体積が増える）ので、熱交換器２０の熱容量は大きくなる。
その結果、熱交換固定翼２３におけるターボ分子ポンプ１のブレードから放射される熱の吸収率を向上させることができるため、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
【００２６】
また、本実施形態の熱交換器２０では、熱交換固定翼２３は、熱交換器２０を上部から見たとき（図３（ａ））に不可視部を多くする（即ち、可視部を少なくする）ように構成されることが望ましい。言い換えると、熱交換器２０において開口率を低くすることが望ましい。開口率を低くする構成については後述する。
ここで、本実施形態における「不可視部」とは、吸気口４側から熱交換器２０を見た際に、各々の熱交換固定翼２３の間から熱交換固定翼２３の背後が見えない部分のことである。
【００２７】
また、本実施形態の熱交換固定翼２３は、プレス固定翼による構成にしてもよい。
ここで、プレス固定翼について説明する。
プレス固定翼は、円形の金属板材（例えば、ステンレス鋼製又はアルミニウム製）の薄肉の板に、エッチング加工、抜き打ち加工、又は型抜き加工、或いは、レーザやプラズマなどの切断法を用いて、プレス固定翼を形成するためのスリットを複数形成し、スリットにより切り出されたプレス固定翼をプレス加工などにより所定角度に曲げ加工を行って形成される。
本実施形態における熱交換固定翼２３にプレス固定翼を用いる構成については後述する。
【００２８】
また、本実施形態の熱交換器２０では、熱交換固定翼２３の両表面には、それぞれ異なる表面処理が施されている。
より詳しくは、熱交換固定翼２３の下流側面（排気口６側の面）、即ち、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面には、放射率が高い表面処理が施されている。なお、放射率とは、熱エネルギー（電磁波）の吸収率を示し、放射率が高いほど熱の吸収率が高く、放射率が低いほど熱の吸収率が低いことを示している。
熱交換固定翼２３の下流側面に施されている放射率が高い表面処理としては、例えば、放射率が０．８以上となるような、アルマイトコーティング処理、セラミックコーティング処理等がある。
このように、熱交換固定翼２３の下流側面に放射率が高い表面処理を施すことによって、熱交換固定翼２３における、回転翼９や固定翼１５等から放射される熱の吸収率をより向上させることができる。
つまり、上述のように表面処理された熱交換固定翼２３において、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより多く吸収することができるため、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
【００２９】
一方、熱交換固定翼２３の上流側面、即ち、真空室９０と対向する面には、放射率が低い表面処理が施されている。
本実施形態の熱交換固定翼２３の上流側面に施されている放射率が低い表面処理としては、例えば、放射率が０．１以下となるような、電解研磨処理、金メッキ処理、アルミメッキ処理等がある。
なお、電解研磨処理とは、金属製の研磨対象物を電極の＋（プラス）極にして電解液を介して直流電流を流し、金属表面を溶解させることにより研磨効果を得る方法である。
このように、熱交換固定翼２３の上流側面に放射率が低い表面処理を施すことによって、熱交換固定翼２３から真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができるので、ターボ分子ポンプ１からの放射熱が熱交換固定翼２３で吸収された後に、真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができる。
【００３０】
上述のように、本実施形態に係る熱交換器２０では、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する熱（電磁波）を、熱交換固定翼２３の下側面では高い吸収率で受け止め、一方、上側面では真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させるので、ターボ分子ポンプ１から真空装置に放射する熱をより低減させることができる。
なお、本実施形態では上流面及び下流面の各々に各々の処理を施す構成にしたが、これに限られることはない。例えば、上流面及び下流面の両方に表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００３１】
（ｉｉ）遮熱部材
次に、図１、図２、及び図４を参照しながら、本発明の実施形態に係る遮熱部材（網形状の遮熱部材）３０について説明する。
図４は、本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の一例を説明するための図である。
図４（ａ）には本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の全体像の一例が示されており、図４（ｂ）には本発明の実施形態に係る遮熱部材３０のメッシュ部分の拡大図が示されている。
本実施形態の遮熱部材３０は、図４に示すように、網形状の遮熱部材であり、円周における複数箇所を、ボルトなどの取付具により熱交換器保持部材６０に固定される。
本実施形態に係る遮熱部材３０のメッシュ部分は、正六角形を隙間無く並べたハニカム（蜂の巣）構造としたが、メッシュ部分の網目の形状はこれに限ることはなく、例えば、矩形や円形の空洞が隙間無く並ぶ網目形状であれば、いかなる形状でも適用され得る。
この遮熱部材３０は、例えば、従来、異物の落下防止のために使用される保護アミを利用する構成にすることもできる。
【００３２】
網形状の遮熱部材である遮熱部材３０が、ターボ分子ポンプ１の吸気口４から放射する熱を受けとめることで、吸気口４から真空装置の真空室９０に放射する熱を低減させることができる。
【００３３】
（ｉｉｉ）冷却機構
次に、図１、図２、及び図５を参照しながら、本発明の実施形態に係る冷却機構について説明する。
図５は、本発明の実施形態に係る冷却機構の一例を説明するための図である。
本発明の実施形態では、熱交換固定翼２３へ伝わった熱を効果的に冷却するために、あるいは、遮熱機構（熱交換器２０、遮熱部材３０）を効率よく冷却するために、熱交換器２０の外周部分に、環状の冷却管４０を有する熱交換器保持部材６０が、熱交換器２０に接するように配設されている。
図５に示したように、本実施形態の熱交換器２０の外リム２１を介した外周部には、熱交換器保持部材６０が設けられている。つまり、熱交換器２０の熱交換固定翼２３は、外リム２１を介して冷却管４０で冷却される。また、各々の熱交換固定翼２３は、内リム２２と外リム２１で繋がって（支持されて）いる。
このように、全ての熱交換固定翼２３は冷却管４０と熱伝導による熱の出入りがある形で繋がっているので、冷却管４０は熱交換器保持部材６０を介して全ての熱交換固定翼２３を冷やすことができる構造になっている。
【００３４】
この熱交換器保持部材６０の内部には、熱交換器２０を囲むように、冷却管（例えば水冷管）が配設されている。
本実施形態の冷却管４０は管状の部材であり、熱交換器保持部材６０の内部に配設されている。本実施形態の冷却管４０では、熱交換器保持部材６０の内部に設けた冷却管４０に熱媒体である冷却剤を流し、この冷却剤に熱を吸収させるようにして冷却を行う液冷方法を用いている。
【００３５】
本実施形態のターボ分子ポンプ１には、上述したように水冷管１８が設けられており、ターボ分子ポンプ１の水冷管１８で使用する水を併用できるよう、冷却機構の冷却管４０を用いる液冷方法を採用した。
この構成により、冷却機構（冷却管４０）用に追加装置を別途用意する必要がなくなるので、設置スペースの拡大やコストの増大を防ぐことができる。
本実施形態では上述のように冷却機構は水冷方法を採用したが、水以外の冷媒を用いたり、あるいは遮熱機構（熱交換器２０、遮熱部材３０）の外周上又は外周の一部にファンを配設して遮熱機構の回りを冷やす空冷方法を採用することもできる。
【００３６】
なお、本実施形態の熱交換器保持部材６０は、ケーシング２と別構成にしてボルトなどの取付具でケーシング２に取りつける構成にしたが、熱交換器保持部材６０の構成方法はこれに限定されるものではない。
例えば、ケーシング２の外周面に溝を形成し、この溝に冷却剤を流して冷却管４０の機能を持たせるようにしてもよい。
また、冷却管４０と熱交換器保持部材６０との空隙や、冷却管４０とケーシング２との接触部に半田や熱伝導用のペーストなどを付設し、冷却管４０における熱交換の効率を更に向上させるようにしてもよい。
【００３７】
上述のように、本実施形態では冷却管４０を熱交換器の外周に配設することにより、熱交換器２０の熱交換固定翼２３へ放射された熱を効果的に冷却する、即ち、熱を速やかに外部に排出することができる。
このように、ブレード（ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５）から真空装置に放射される熱を、遮断（遮熱）すると同時に冷却させることができるので、ターボ分子ポンプ１から真空室９０側へ放射される熱をより効率よく低減させることができる。
【００３８】
（ｉｖ）断熱材
図６は、本発明の実施形態に係る放射熱低減構造と、更に断熱材５０を備えたターボ分子ポンプ１の概略構成を示した図であり、ターボ分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示している。
なお、上述した図１と同一部分（重複する箇所）には、同一の符号を用い詳細な説明を省略する。
本実施形態に係る断熱材５０は、ターボ分子ポンプ１のケーシング２からの熱が伝わらないように、ケーシング２の吸気口４側のフランジ部５に配置された断熱部材であり、ゴムなどの熱抵抗が高い材料、即ち熱伝導率の小さい材料によって構成されている。
この構成により、ターボ分子ポンプ１の熱が、ターボ分子ポンプ１のケーシング２から熱交換器保持部材６０を伝って真空装置側へ伝導するのを低減させることができる。
【００３９】
上記のように説明した本発明の実施形態に係る遮熱機構は、以下のように様々に変形することが可能である。
（熱交換器の変形例）
まず、本発明の実施形態に係る熱交換器の変形例１及び変形例２を、図７を参照して説明する。
図７は、本発明の実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼２３０を示した概略図であり、図７（ａ）及び図７（ｂ）には、図３（ａ）におけるＢ−Ｂで切断した場合の切断面を中心部側（内リム２２側）から見た断面図が示されている。
本実施形態の変形例１及び変形例２では、熱交換固定翼は、上述したプレス固定翼で構成されている（以後、熱交換プレス翼２３０）。
上述したように、ターボ分子ポンプ１からの放射熱を低減させるためには、熱交換器２０において熱交換固定翼２３（図３）により形成される不可視部は、多ければ多いほど（即ち、可視部が少なければ少ないほど）良い。
そこで本実施形態の変形例１及び変形例２では、熱交換プレス翼２３０により形成される不可視部を多くする方法について説明する。
【００４０】
例えば、図７（ａ）に示すように、１枚の第１の板部材２３１０で形成される第１の熱交換プレス固定翼２３１では、製造過程上、第１の熱交換プレス固定翼２３１同士のピッチ間隔（ｄ１に相当する）をある一定以上縮めることができない。そのため、どうしてもｄ１に相当する可視部が形成されてしまう。
（変形例１）
そこで、本発明の実施形態の変形例１に係る熱交換プレス翼２３０は、図７（ａ）に示したように、第１の熱交換プレス固定翼２３１が形成された第１の板部材２３１０と、第２の熱交換プレス固定翼２３２が形成された第２の板部材２３２０とを、各々の熱交換プレス固定翼（第１の熱交換プレス固定翼２３１、第２の熱交換プレス固定翼２３２）が水平面（板部材面）に対して略同じ角度を有して重なるように、第１の板部材２３１０と第２の板部材２３２０とを空隙なく重ねて配設して（積層して）構成されている。
このような構成にすることで、第１の板部材２３１０（又は、第２の板部材２３２０）のみで第１の熱交換プレス固定翼２３１（又は、第２の熱交換プレス固定翼２３２）を構成する場合に形成される可視部ｄ１を、ｄ２にまで減少させることができる。
つまり、第１の熱交換プレス固定翼２３１（又は、第２の熱交換プレス固定翼２３２）のみによって形成されていた不可視部が多くなって、熱交換プレス翼２３０の開口率を減らすことができるので、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより効率よく低減させることが可能になる。
【００４１】
（変形例２）
次に、本発明の実施形態の変形例２について図７（ｂ）を参照して説明する。
本発明の実施形態の変形例２に係る熱交換プレス翼３３０は、図７（ｂ）に示したように、第１の熱交換プレス固定翼３３１が形成された第１の板部材３３１０と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が形成された第２の板部材３３２０とを、各々の熱交換プレス固定翼（第１の熱交換プレス固定翼３３１、第２の熱交換プレス固定翼３３２）が水平面（板部材面）に対して略同じ角度を有し、且つ、第１の熱交換プレス固定翼３３１が投影される領域と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が投影される領域とが重なる程度に、或いは、第１の熱交換プレス固定翼３３１が投影される領域と、第２の熱交換プレス固定翼３３２が投影される領域との間に隙間が無い程度に、隣接させて並べ、更に第１の板部材３３１０と第２の板部材３３２０とを空隙なく重ねて配設して（積層して）構成されている。
このような構成にすることで、第１の板部材３３１０のみで第１の熱交換プレス固定翼３３１を（又は、第２の板部材３３２０のみで第２の熱交換固定翼３３２を）構成する場合に形成される可視部ｄ３を、可能な限り少なくした構成にすることができる。
つまり、第１の熱交換プレス固定翼３３１（又は、第２の熱交換固定翼３３２）のみによって形成されていた不可視部が多くなって、熱交換プレス翼３３０の開口率を減らし、ターボ分子ポンプ１からの放射熱をより低減させることが可能になる。
【００４２】
また、上述した変形例１の熱交換プレス翼２３０は、図７（ａ）に示したように、熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕ（つまり、熱交換プレス翼２３０の上側に配置される第１の板部材２３１０と第１の熱交換プレス固定翼２３１の、真空室９０側である面）と、熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄ（つまり、熱交換プレス翼２３０の下側に配置される第２の板部材２３２０と第２の熱交換プレス固定翼２３２の、排気口６側である面）とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にすることができる。
より詳しくは、変形例１の熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄ、即ち、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面には、放射率が高い表面処理が施される。この、熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄに施される放射率が高い表面処理としては、例えば、放射率が０．８以上となるような、アルマイトコーティング処理、セラミックコーティング処理等がある。
このように、変形例１の熱交換プレス翼２３０の下面２３０Ｄに放射率が高い表面処理を施すことによって、変形例１の熱交換プレス翼２３０における、回転翼９や固定翼１５等から放射される熱の吸収率を向上させることができる。
つまり、熱交換プレス翼２３０（の下面２３０Ｄ）においてより多くの熱を吸収し、真空室９０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
一方、変形例１の熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕ、即ち、真空室９０と対向する面には、放射率が低い表面処理が施されている。この、熱交換プレス翼２３０の上面２３０Ｕに施される放射率が低い表面処理としては、例えば、放射率が０．１以下となるような、電解研磨処理、金メッキ処理、アルミメッキ処理等がある。
【００４３】
上記説明では、熱交換プレス翼２３０の上側に配置される第１の板部材２３１０と第１の熱交換プレス固定翼２３１の、真空室９０側片面と、熱交換プレス翼２３０の下側に配置される第２の板部材２３２０と第２の熱交換プレス固定翼２３２の、排気口６側片面とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にしたが、このように各々の「片面」に各々の表面処理を施すのではなく、真空室９０側に配設される第１の板部材板２３１０の「全面」に放射率が低い表面処理を、一方、排気口６側に配設される第２の板部材２３２０の「全面」に放射率が高い表面処理を、各々施する構成にしても良い。
あるいは、上下ともに表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００４４】
同様に、上述した変形例２の熱交換プレス翼３３０では、図７（ｂ）に示したように、熱交換プレス翼３３０の上面３３０Ｕ（つまり、熱交換プレス翼３３０の上側に配置される第１の板部材３３１０と、第１の板部材３３１０及び第２の板部材３３２０の第１の熱交換プレス固定翼３３１及び第２の熱交換プレス固定翼３３２各々の、真空室９０側である面）と、熱交換プレス翼３３０の下面３３０Ｄ（つまり、熱交換プレス翼３３０の下側に配置される第２の板部材３３２０と、第１の板部材３３１０及び第２の板部材３３２０の第１の熱交換プレス固定翼３３１及び第２の熱交換プレス固定翼３３２各々の、排気口６側である面）とに、それぞれ異なる表面処理を施す構成にすることができる。
より詳しくは、変形例２の熱交換プレス翼３３０において、回転翼９や固定翼１５等から構成される気体移送機構に対向する面（熱交換プレス翼３３０の下面３３０Ｄ）には、上述した放射率が高い表面処理が施され、真空室９０と対向する面（熱交換プレス翼３３０の上面３３０Ｕ）には、上述した放射率が低い表面処理が施される。
あるいは、上下ともに表面処理を施すのではなく、何れか一方の面に該当する処理（上流面に放射率が低い表面処理、又は、下流面に放射率が高い表面処理）を施すように構成しても良い。
【００４５】
このように、本実施形態の変形例１及び変形例２に係る熱交換プレス翼２３０、３３０では、熱交換プレス翼２３０（もしくは３３０）の上流側面（２３０Ｕもしくは３３０Ｕ）に放射率が低い表面処理を施し、且つ、熱交換プレス翼２３０（もしくは３３０）の下流側面（２３０Ｄもしくは３３０Ｄ）に放射率が高い表面処理を施すことによって、ターボ分子ポンプ１の回転翼９及び固定翼１５から放射する熱（電磁波）を、熱交換プレス翼２３０の下流側面（２３０Ｄもしくは３３０Ｄ）では高い吸収率で受け止め、一方、上流側面（２３０Ｕもしくは３３０Ｕ）では真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができる。
その結果、ターボ分子ポンプ１からの放射熱が熱交換プレス翼２３０（もしくは熱交換プレス翼３３０）で吸収された後に、真空室９０側へ再び放射される熱の量を低減させることができ、ターボ分子ポンプ１から真空装置に放射する熱をより低減させることができる。
【００４６】
なお、本実施形態の変形例１及び変形例２では、排気性能を考慮して、１つの熱交換プレス翼を形成するために重ねる板部材の数を２つにしたが、重ねる数量はこれに限ることはない。例えば、３つ、４つ・・・といった複数の板部材を重ねて１つの熱交換プレス翼を形成する構成にしてもよい。
【００４７】
（遮熱部材の変形例−変形例３）
次に、本発明の実施形態に係る遮熱部材３０の変形例（変形例３）を、図１及び図８を参照して説明する。
ここで、一般的に、網形状の遮熱部材においては、網状部分（メッシュ）の開口率が低ければ低いほど、気体の通りは悪くなる。そこで、本変形例３では、網形状の遮熱部材の開口率が一律ではない遮熱部材３００を配設する。
図８（ａ）は、本発明の実施形態の変形例３に係る遮熱部材３００を真空室９０側から見た全体像の一例を示した図である。
図８（ｂ）は、図８（ａ）で示した遮熱部材３００の中央部Ｅの、また、図８（ｃ）は図８（ａ）で示した遮熱部材３００の中央部Ｅを囲む周辺部Ｆの、拡大図を示した図である。
図８（ａ）に示したように、変形例３に係る遮熱部材３００は、中央に、低い開口率の網状部分（メッシュが細かい領域；メッシュサイズ小）で成形された中央部Ｅを、また、中央部Ｅの周囲を囲む領域には、中央部Ｅよりも高い開口率の網状部分（メッシュが粗い領域；メッシュサイズ大）で成形された周辺部Ｆを、同一平面上に有する。
なお、本変形例３に係る遮熱部材３００の中央部Ｅの大きさ（直径）は、排気性能への影響を最小限にとどめるために、ロータ８の吸気口４側端面（図１ Ｄ）領域とほぼ等しくなっている。即ち、気体移送路が形成される領域（回転翼９および固定翼１５が配設されている領域）の吸気口４側に投影される領域と、遮熱部材３００のＥ部が吸気口４側に投影される領域とは重複しないようになっている。
言い換えると、遮熱部材３００のＥ部は、遮熱部材３００の中央部Ｅが吸気口４側に投影される領域と、ロータ８の吸気口４側端面領域が吸気口４側に投影される領域と、が重複するように配置されている。
更には、変形例３の遮熱部材３００の中央部Ｅの外径は、熱交換器２０の内リム２２の内径と略一致するように構成され、変形例３の遮熱部材３００の中央部Ｅを囲む領域（周辺部Ｆ）の外径は、熱交換器２０の外リム２１の外径と一致するように構成される。
【００４８】
このように、遮熱部材３００のＥ部が、吸気口４の全面ではなく、吸気口４におけるロータ８の円筒部分（回転翼９が配設される領域を除いた部分）の上部にのみ配設されることは、つまり、遮熱部材３００の開口率が低い網状部分である中央部Ｅが、気体移送機構の作用により移送される気体の排気抵抗を増大させる領域に及ばないように配置することである。
上述のような構成により、低い開口率のメッシュで成形された中央部Ｅを有する遮熱部材３００を設けたことに起因するターボ分子ポンプ１の排気性能の低下を抑制することができる。
【００４９】
なお、吸気口４の中央部分（ロータ８の円筒部分の上部）からの熱の放射を効率よく防ぐために、遮熱部材３００の中央部分（Ｅ）のメッシュの開口率を小さくし、中央部分以外（Ｆ）における遮熱部材３００のメッシュの開口率は中央部分よりも大きくした構成にしているが、Ｆ部に該当する部分の直下には、上述した熱交換固定翼２３（又は、熱交換プレス固定翼２３１、２３２、３３１、３３２）が設けられるので、中央部分（Ｅ）に比べ他部分（Ｆ）の熱放射率が劣ることはない構成になっている。
【００５０】
上述した実施形態および変形例によれば、ターボ分子ポンプから真空装置へ伝わる熱を低減させることができるため、真空装置の真空室の内部温度上昇を適切に抑制することができる。これにより、真空室の内部におけるより精密な加工やより精度の高い測定を実現させることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１ ターボ分子ポンプ
２ ケーシング
３ ベース
４ 吸気口
５ フランジ部
６ 排気口
７ シャフト
８ ロータ
９ 回転翼
１０ 筒型回転部材
１１ モータ部
１２、１３ 径方向磁気軸受装置
１４ 軸方向磁気軸受装置
１５ 固定翼
１６ ねじ溝スペーサ
１７ スペーサ
１８ 水冷管
２０ 熱交換器
２１ 外リム
２２ 内リム
２３ 熱交換固定翼
２３０、３３０ 熱交換プレス翼
２３１、３３１ 第１の熱交換プレス固定翼
２３２、３３２ 第２の熱交換プレス固定翼
２３０Ｕ、３３０Ｕ 熱交換プレス翼の上面
２３０Ｄ、３３０Ｄ 熱交換プレス翼の下面
２３１０ 第１の板部材
２３２０ 第２の板部材
３０ 遮熱部材
３００ 遮熱部材
４０ 冷却機構（冷却管）
５０ 断熱材
６０ 熱交換器保持部材
８０ 従来の遮熱プレート
８１ 従来の支持部
９０ 真空室
９１ 真空室壁
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口と排気口が形成された外装体と、
前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記外装体の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼とを有し、前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、
前記吸気口に配設され、前記回転軸に対して非平行且つ非垂直な傾斜面を持つ板形状遮熱部材を複数有する熱交換器と、
を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記気体移送機構の上流に配設され、前記熱交換器に支持される網形状の網形状遮熱部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記熱交換器を冷却する冷却機構を更に備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記網形状遮熱部材は、前記吸気口の内径と略一致する外径を有する円板状であり、前記回転軸及びロータ部が前記網形状遮熱部材に投影される領域である中央部が、前記熱交換器が前記網形状遮熱部材に投影される領域である周囲部よりも、前記網形状の開口率が低いことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記熱交換器が有する板形状遮熱部材は、前記吸気口に対面する面の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記熱交換器は、前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向から見たとき、隣接する前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記熱交換器は、１つの円状板材に加工を施して形成された板部材及びプレス固定翼を有する円形熱交換器部材を備え、前記プレス固定翼が前記板形状遮熱部材であることを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記熱交換器は、前記板部材同士及び前記プレス固定翼同士が密着するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向視野から見たとき、前隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記熱交換器は、前記板部材同士が密着し、且つ、前記プレス固定翼同士が離間するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材の円板平面の法線方向視野から見たとき、隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記熱交換器において、前記円形熱交換器部材を複数積層する場合に、
前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも小さく形成されている、又は、
前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、又は、
前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成され、且つ、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
前記外装体は、前記吸気口側に、断熱部材を有するフランジ部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１】
吸気口と排気口が形成された外装体と、
前記外装体に内包され、回転自在に軸支された回転軸と、前記回転軸に固定されるロータ部と、前記ロータ部の外周面から放射状に配設された回転翼と、前記外装体の内側側面から前記回転軸へ向かって突設して配設された固定翼とを有し、前記吸気口から吸気した気体を前記排気口へ移送する気体移送機構と、
前記吸気口に配設され、前記回転軸に対して非平行且つ非垂直な傾斜面を持つ板形状遮熱部材を複数有する熱交換器と、
を備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記気体移送機構の上流に配設され、前記熱交換器に支持される網形状の網形状遮熱部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記熱交換器を冷却する冷却機構を更に備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記網形状遮熱部材は、前記吸気口の内径と略一致する外径を有する円板状であり、前記回転軸及びロータ部が前記網形状遮熱部材に投影される領域である中央部が、前記熱交換器が前記網形状遮熱部材に投影される領域である周囲部よりも、前記網形状の開口率が低いことを特徴とする請求項１から請求項３のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記熱交換器が有する板形状遮熱部材は、前記吸気口に対面する面の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記熱交換器は、前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向から見たとき、隣接する前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記熱交換器は、１つの円状板材に加工を施して形成された板部材及びプレス固定翼を有する円形熱交換器部材を備え、前記プレス固定翼が前記板形状遮熱部材であることを特徴とする請求項１から請求項５のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記熱交換器は、前記板部材同士及び前記プレス固定翼同士が密着するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材を円板平面の法線方向視野から見たとき、前隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記熱交換器は、前記板部材同士が密着し、且つ、前記プレス固定翼同士が離間するように、前記円形熱交換器部材を複数積層し、前記積層して形成された前記板形状遮熱部材の円板平面の法線方向視野から見たとき、隣接する２つの前記板形状遮熱部材同士の投影の少なくとも一部が重なることにより、前記熱交換器の背後に不可視部を形成することを特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記熱交換器において、前記円形熱交換器部材を複数積層する場合に、
前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも小さく形成されている、又は、
前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が、他に配設される前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、又は、
前記吸気口側における最上面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の面の放射率よりも小さく形成され、且つ、前記排気口側における最下面に配設される前記円形熱交換器部材の放射率が他の前記円形熱交換器部材の放射率よりも大きく形成されている、
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
前記外装体は、前記吸気口側に、断熱部材を有するフランジ部を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のうち少なくともいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１２−１０２６５２（Ｐ２０１２−１０２６５２Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５０９７８（Ｐ２０１０−２５０９７８）
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（５０８２７５９３９）エドワーズ株式会社 (18)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（５０８２７５９３９）エドワーズ株式会社 (18)
【Ｆターム（参考）】
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