【課題】より高い捕助圧力でもっと効率的に差動することができる複合真空ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプは、少なくとも３つの第１排気部分（１０６）、第２排気部分（１０８）、第３排気部分（１１０）を含み、第３排気部分（１１０）は、第１及び第２排気部分の下流に配置され、且つホルウィック分子ドラッグ排気機構（１１２）及び再生排気機構（１１４）からなり、分子ドラッグ排気機構のロータ要素（１２０）は、再生排気機構のロータ要素（１２２）を取り囲む。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ロータ要素(24,36) が配置されているポンプハウジング(34)を備えた真空ポンプ、特にホルヴェック（Holweck ）真空ポンプに関する。ロータ要素は少なくとも２つの筒状の搬送要素(24)を有しており、搬送要素(24)は、互いに同心状に配置されており、円盤状の保持要素(36)に接続されている。ステータ要素(26)が、２つの隣り合う搬送要素(24)間に配置されている。本発明によれば、単一の螺旋状の流路(28)がステータ要素によって形成されている。
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【課題】電流制御不要で、被回転駆動部スラスト荷重と吊り合う力を作用させてスラスト方向の軸受けを行うことができる軸受装置及びそれを用いたポンプの提供。
【解決手段】軸受装置は、軸５０と軸に挿通される円筒部材６０と、これらの一方が固定されたガイド部材で、軸と円筒部材の他方を含んで被回転駆動部６０，８０，９２を形成し、これらを駆動する回転駆動部９４と、回転時に軸と円筒部材との隙間に気体圧を発生させて軸と円筒部材とをラジアル方向にて非接触支持するラジアル軸受１００Ａ，１００Ｂと、軸と円筒部材の一方でスラスト方向に間隔を置いてＮ，Ｓ異極同士が隣り合う複数の永久磁石リングを含む第１部材１１３と、第１部材に対向した磁性の第２部材１１８を含み、スラスト方向にフリーの被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向荷重と吊り合ったスラスト方向の所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受１１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 排気側（背圧側）を共通とし、２つの吸気口からの気体をそれぞれ独立して圧縮することができる並列吸気ポンプ及びそれを用いた真空装置を提供すること。
【解決手段】 並列吸気ポンプ１０，１６０は、ケーシング２０，３０，４０と、ケーシングに固定され、ケーシング内を内室５２と外室５４とに区画する筒状隔壁２４と、内室５２に連通する第１吸気口２２と、外室５４に連通する第２吸気口３２と、第１吸気口から取り込まれた気体を、内室にて回転する第１回転部６２により圧縮する第１ポンプ６０と、第２吸気口から取り込まれた気体を、外室にて回転する第２回転部７２により圧縮する第２ポンプ７０と、第１及び第２回転部６２，７２と連結された回転軸部１１０と、ケーシングに設けられ、第１及び第２ポンプでそれぞれ圧縮された気体を排気する排気口４２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】顧客によって要望される種々の用途に摩擦真空ポンプを簡単に適合させ得るようにすることである。
【解決手段】本発明は、シャシ（５）と、ステータ（３）と、ロータ（４）とケーシングとを備えた摩擦真空ポンプ（１）に関する；ポンプのすべての機能エレメントは１つのユニット（２７）にまとめられており、このユニット自体は用途に適したケーシング（１９，５５）内に押し込まれる；この手段によって特別な接続ケーシングが省略され、最適のコンダクタンス状態を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】コスト的に有利に且つ容易に製造可能な、電子部品および付属のリード線を含む真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、ハウジング部分（２）と、電子部品（３、６、１３、１６）と、およびこれらに通じている電子リード線（４、７、１４、１７）と、を備えた真空ポンプ（１）に関するものである。コスト的に有利に且つ容易に製造可能な真空ポンプを提供するために、前記ハウジング部分内に、前記リード線の長さの少なくとも一部がその中を伸長するリング状通路（５）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ配管の洗浄メンテナンスの際に生じうるシロキサンの爆発的な反応を防止し、誰でも安全に真空ポンプ配管の洗浄を行えるようにし、また、洗浄メンテナンスの段取り作業を簡単かつスムーズに行えるようにした真空ポンプ配管構造と、その真空ポンプ配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】真空ポンプ配管４に給水ポート６１を設ける。真空ポンプ配管４を真空ポンプＰから取り外して洗浄する前に、給水ポート６１から真空ポンプ配管４へ直接水を供給し、この供給水と真空ポンプ配管４内部のシロキサンとの反応によりシロキサンの爆破性を除去した後、真空ポンプ配管４を取り外し洗浄する。 （もっと読む）

【課題】気体分子の逆流を低減して排気性能の向上を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼１１は、複数段の回転翼２１が形成されたロータ２０の外周面を囲むように配置される。各固定翼１１はスペーサ１３により所定間隔に保持され、回転翼２１に対して回転軸方向に交互に配設される。回転翼２１の外周側端面とその外周側端面と対向するスペーサ１３の内周面との間にラビリンス効果を有する手段を備えたことにより、気体分子の逆流を低減され、排気性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの処理室内への侵入を防止することができる排気ポンプ、連通管及び排気システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置１０はチャンバ１１を備え、チャンバ１１にはＴＭＰ１８が接続され、ＴＭＰ１８は、複数の回転翼群と、円筒状の本体３７の上側、すなわち最上の回転翼群よりもチャンバ１１側に配置される円筒状の吸気部４０と、該吸気部４０内に配置され、チャンバ１１側から吸気部４０を眺めたときに、上記最上の回転翼群を遮蔽する遮蔽装置４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つの転がり軸受により支持された高速回転ロータを有する真空ポンプの寿命を上昇させる。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータと、内輪および外輪を有し、それらの間で内輪および外輪により形成された中間空間内に保持器および転がり本体が配置されている、ロータを回転可能に支持する転がり軸受とを備えた真空ポンプに関するものである。転がり本体への潤滑剤の連続供給を保証するために、保持器が、内輪に向けられたその表面の一部分内にねじ山状溝を有することが提案される。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】
タッチダウン軸受装置１０を、回転軸３に外嵌されて固定された第１内輪３１と、第１内輪３１に径方向に対向する第１外輪３２と、第１内輪３１と第１外輪３２との間に配置された第１の玉３３と、第１外輪３２に径方向に対向する第２内輪５１と、ハウジング２の内周面に内嵌されて固定された第２外輪５２と、第２内輪５１と第２外輪５２との間に配置された第２の玉５３とで構成する。磁気軸受が正常に動作しているときには、第１外輪３２と第２内輪５１とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、第１外輪３２を第２内輪５１で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸入口14および排出口16を有するハウジング10と、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージ30、32、．．．46であって、ロータ302およびロータの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータ300を含む、分子ドラッグステージと、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータ52とを含んでいる。ステータ300は、チャネル306中で1つ以上の障害物320を区画する。障害物はチャネルを通る気体の流れを変更し、粘性または部分粘性流条件下で乱流を発生させる。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空気密なハウジング(12)と、ハウジング(12)内の電気部品(14,16,18) とハウジングの外側との間の電気接続を形成するための気密な電気的導出部(20)とを有する真空ポンプ(10)に関する。導出部(20)は、ハウジング開口部(22)と、開口部に固定されたシーリング化合物体(24)と、シーリング化合物体(24)内の電気線と、ハウジング開口部(22)の開口縁とシーリング化合物体(24)との間のシーリング環(26)と、シーリング化合物体(24)をハウジング(12)に固定するための固定手段(32)とによって形成されている。
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【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に発泡金属からなる緩衝部材３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を緩衝部材３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】排気対象装置および回転式真空ポンプの破損を防止する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１の吸気口フランジ１３ａと真空装置のフランジ１６とをボルト１５で締結する。吸気口フランジ１３ａのボルト孔１４は、長穴形状であり、その長手方向が吸気口フランジ１３ａの円周の接線方向と略一致するように吸気口フランジ１３ａの周縁近傍に設けられている。ボルト孔１４に板状の部材が複数積層された積層板３０を配設する。ターボ分子ポンプ１の不具合により、衝撃力が発生した場合、吸気口フランジ１３ａからボルト１５に作用する衝撃力を積層板３０で受け止める。これにより、ボルト１５にかかる剪断応力と、装置側のフランジ１６に伝達される運動エネルギーをともに減少させることができるので、ボルト１５の破断や装置側の破損を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。
【解決手段】ポンプケーシング内に回転自在に軸支され軸方向に多段のロータ翼を有するロータと、ロータ翼間に固定され軸方向に多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプであり、吸気口から入射したパーティクルがロータ翼３と衝突する割合を低下させるために、吸い込み側１段目のロータ翼３の翼部３ａは、パーティクルとの衝突を減らすために、吸い込み側１段目のロータ翼の翼部の径方向部分の総面積を、吸い込み側２段目のロータ翼３ｂの翼部の径方向部分の総面積よりも小さい構成とする。 （もっと読む）