【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受４により回転可能に支持され、且つハブ８およびハブに固定されたスリーブ１０を有する、ロータ２であって、スリーブ１０が第１の端部１２およびハブとは反対側のフリーな第２の端部１４をもつ、該ロータ２と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅１００を有する隙間３０を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ２０と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース１２はフランジ１２ａの貫通孔５１に挿通された締結部材６１により外部装置の第１の取付部材９１に締結される。上ケース１２に締結された第１のベース１４はフランジ１４ｂの貫通孔５２に挿通された締結部材６３により外部装置の第２の取付部材９２に締結される。制御ユニット７０は締結部材６５により第２のベース１５に締結される。締結部材６５にはロータ３０の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材６５および制御ユニット７０のケースを、強度が小さいものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、安全な状態に管理することが容易にできる電源一体型真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離可能に固定された電源一体型真空ポンプにおいて、ポンプユニット２０は、分離判定用データが記憶されたＲＦＩＣタグ４４を備え、コントロールユニット３０は、ＲＦＩＣタグ４４に記憶されたデータを読み取るリーダ３５と、リーダ３５によるデータの読み取りができなかったときに分離情報として分離フラグＯＮを保持する記憶部３５ａとを備え、主制御部３１は電源投入時に記憶部３５ａに分離フラグＯＮが保持されている場合に、ポンプユニット２０の起動を禁止する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造において高い圧力比を有する真空ポンプを提供することである。
【解決手段】軸１２、軸と結合されたハブ４０、およびハブの第１の側と結合された、軸に同心の第１のスリーブ５０、を有するロータを備えた真空ポンプ特に分子真空ポンプに関するものであり、少なくとも１つの第２のスリーブ５２が、軸に同心に、軸方向においてハブの第１の側に向かい合う第２の側でハブと結合され、および第１のスリーブは、ガス流れ内において第２のスリーブに後続配置されている。 （もっと読む）

【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニットが非正規に分解されるのを、確実に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニットは、複数の分解検知用データが記憶されるデータ記憶部４５２と、ポンプユニットが組立状態から非組立状態になると、データ記憶部４５２に記憶されている分解検知用データを消去する分解検出スイッチ４５１と、を備え、コントロールユニット３０の主制御部３１は、データ記憶部４５２に複数の分解検知用データが記憶されているか否かをそれぞれ判定し、複数の分解検知用データの少なくとも一つに関して記憶されていないと判定されるとポンプユニットの運転を禁止する。 （もっと読む）

【課題】ロータ翼を安価な金属部材を用いて作製した場合でも、剛性を大きくすることができるターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】ロータ６０は、ロータ軸５の軸方向に沿って多段に配列された複数の動翼部６１〜６７を有する。各動翼部６１〜６７は、それぞれ、軸心から放射状に形成された多数のロータ翼６１ａ〜６７ａを有する。各動翼部６１〜６７を構成するロータ翼６１ａ〜６７ａの外周側面には、それぞれ、環状連結部材７１〜７７が、焼き嵌めまたは焼き・冷し嵌めにより取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ロータ変形に起因するロータの径方向ずれを抑制することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、軸芯に対して垂直な締結面３３５を有するシャフト３３と、締結面３３５に立設された位置決めピン４０ａ，４０ｂと、締結面３３５にボルト締結され、ピン４０ａ，４０ｂが嵌挿される貫通穴３０１が形成されたロータ３０と、シャフト３３を回転駆動するモータと、を備える。そして、ピン４０ａは締結面３３５の軸芯と直交する直線Ｌ１上の位置に立設され、ピン４０ｂは、締結面３３５の軸芯と直交するとともに直線Ｌ１と所定角度θを成す直線Ｌ２上の位置に立設されている。 （もっと読む）

高真空ポンプ１１が複数のポンピングステージを備え、該ポンピングステージはそれぞれ、少なくとも１つの回転型ロータ要素１、１３、３３と１つの固定ステータ要素とを含む複数の相互に協働する要素を備える。ポンピングステージのうちの少なくとも１つのポンピングステージの要素のうちの少なくとも１つの要素は、短繊維によって強化されたプラスチック材料から作られており、短繊維は、プラスチック材料のマトリックス内部に無秩序で実質的にランダムに分散されている。短繊維によって強化されたプラスチック材料の使用は、射出成形によって少なくとも１つの要素を作ることを可能にし、また従来の真空ポンプと比べた場合に大幅に削減された生産コストで真空ポンプ１１を製造することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】ロータ軸の長さが長い真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段14を支持するロータ軸12を備えている。ロータ軸12は、吐出側軸受組立体56により吐出側で支持されて、吸込み側軸受組立体30により吸込み側で支持されている。吸込み側軸受組立体30は、電磁軸受36を含んでいる。吐出側軸受組立体56は、ロータ軸12の長さを長くできるように玉軸受58を含んでいる。玉軸受58は、好ましくは電磁軸受36によって付勢されている。 （もっと読む）

【課題】部品点数の削減、および、組み付け作業の効率化を図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】複数段の固定翼３３の少なくとも一段は、周方向に接するように配置された複数の分割固定翼３３ａ，３３ｂで構成され、分割固定翼３３ａ，３３ｂは、周方向に並設された複数の翼ブレード３３０と、該複数の翼ブレード３３０の外周部が連結されて、該複数の翼ブレード３３０を所定位置に位置決めする円弧状のスペーサ部３３２とを備える。その結果、従来のスペーサリングを必要とせず、備品テンスの削減、および、組み付け作業性の向上を図ることができる。さらに、複数の分割固定翼をＯリング４０で互いに結合されているので、結合部における気体の逆流を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】高速で回転する分子ポンプ装置において、モータや回転軸の軸受等からの発熱によるポンプ本体の高温化を簡便な冷却手段により冷却する。
【解決手段】ポンプ本体２の側面に冷却ユニット４をボルト６ａの締結により固定する分子ポンプ装置１において、該冷却ユニット４に形成した該ボルト６ａの挿通孔６ｂを横長の長孔に形成し、該冷却ユニット４の前記側面への固定位置を移動可能に形成し、該冷却ユニット４と前記ポンプ本体２との相互の接触面積を調節可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】回転体のアンバランス修正作業を効率良く行うことができるアンバランス修正方法の提供。
【解決手段】本発明によるアンバランス修正方法では、被膜材料を含む電極の一部を放電により溶融して回転体に堆積させ、回転体のアンバランスを修正するものであって、回転体の動的不釣り合いを測定するアンバランス測定工程（Ｓ１０）と、測定された動的不釣り合いに基づいて放電時間および回転体に対する電極の移動範囲を制御して、被膜材料から成るアンバランス修正用被膜を回転体に形成する被膜形成工程（Ｓ４０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ３５の吸気口２５と、ポンプが連結されるべき構造体３９の排気口６５との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手３１である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素４１；４３を備えているオス継手３３;３７を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素４１；４３との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手３３；３７とメス継手３７；３３との間の相対的回転運動で達成される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、搬送方向(36)に連続的に配置された複数の第１のロータディスク(20)を有する第１のロータ要素(18)を備えた第１のポンプ装置(10)と、搬送方向(36)に連続的に配置された複数の第２のロータディスク(28)を有する第２のロータ要素(26)を備えた第２のポンプ装置(12)とを備えた複数入口式真空ポンプに関する。第２のロータディスク(28)の直径が、第１のロータディスク(20)の直径より少なくとも部分的に大きい。複数入口式真空ポンプは主入口(32)を更に備えており、主入口(32)を通って第１の流体(34)が第１のポンプ装置(10)によって吸い込まれて第２のポンプ装置(12)の方に搬送される。更に、複数入口式真空ポンプは中間入口(38)を備えており、中間入口(38)を通って第２の流体(40)が第２のポンプ装置(12)によって吸い込まれてポンプ出口の方に搬送される。第１及び第２の流体(34,40) の両方が第２のポンプ装置(12)内で混合されて、特には第２のポンプ装置(12)の２つの隣り合う第２のロータディスク(28)間で混合される。
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【課題】埋め込みボルトで回転真空ポンプを真空装置に締結する構成において、真空装置に伝達される衝撃を低減することができる締結構造の提供。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータを有する回転式真空ポンプの吸気口フランジ(21)と真空装置とを埋め込みボルト(203)により締結する、回転式真空ポンプの締結構造である。吸気口フランジ(21)を貫通している埋め込みボルト(203)の非螺合部の少なくとも一部に、強度が該埋め込みボルトの埋め込み螺合部の強度以下である塑性変形部(203a)を設けた。その塑性変形部(203a)が吸気口フランジ(21)からの衝撃により塑性変形することで、真空装置に伝達される衝撃エネルギーを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】予め回転基準位置に対する磁性体位置の位相差を計測しておく必要がなく、ポンプ組み立て作業が簡素化される真空ポンプの提供。
【解決手段】インダクタンス検出部４４は、少なくとも一つの磁性体１０２が設けられたインダクタンス被検出面に対向するように隙間を設けて配設され、インダクタンス信号を出力する。演算手段３１３は、基準位相信号発生手段が発生する基準位相信号を基準とする複数の回転位相に関するインダクタンス信号Ｓ１〜Ｓ３に基づいて、回転基準位置に対する磁性体１０２の位置（位相差）を算出する。温度推定手段３１４は、演算手段３１３で算出された磁性体１０２の位置に基づいて、インダクタンス検出部４４が磁性体１０２に対向したときのインダクタンス信号を抽出し、該インダクタンス信号に基づいてロータの温度を推定する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ロータ要素(24,36) が配置されているポンプハウジング(34)を備えた真空ポンプ、特にホルヴェック（Holweck ）真空ポンプに関する。ロータ要素は少なくとも２つの筒状の搬送要素(24)を有しており、搬送要素(24)は、互いに同心状に配置されており、円盤状の保持要素(36)に接続されている。ステータ要素(26)が、２つの隣り合う搬送要素(24)間に配置されている。本発明によれば、単一の螺旋状の流路(28)がステータ要素によって形成されている。
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【解決手段】本発明は、ハウジング(10)内に配置された少なくとも１つのポンプ要素(12)を備えた真空ポンプに関する。ポンプ要素は軸(14)に支持されている。固定フランジ(20)が、真空ポンプを支持要素(24)に固定するためにハウジング(10)に接続されている。固定フランジ(20)は、環状線(26)に沿って配置された固定孔を有している。固定孔は、破裂の場合にエネルギを吸収すべく細長い孔(28)として設計されている。細長い孔(28)の長手軸(32)が、環状線(26)の接線(34)に対して０ではない角度（α）の方向を向いている。
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