【課題】腐食性ガスの影響を低減することができ、真空ポンプの安全性の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】ロータ２０とシャフト７を締結する場合には、ロータ２０の締結孔２００にシャフト７の頂部に形成された締結突起部７０を嵌入させ、締結孔２００内に耐腐食性の保護部材７１３を注入する。その後、シャフトカバー７１をロータ２０に取り付け、シャフト７，ロータ２０およびシャフトカバー７１をボルト７２により共締めすることで、シャフト７，ロータ２０およびシャフトカバー７１が一体化される。一体化後に最終的なバランス修正を行う場合には、耐腐食性のシャフトカバー７１を削り取って修正を行う。締結突起部７０および締結孔２００は、保護部材７１３により腐食性ガスから保護される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ種々の取付姿勢に適した、転がり軸受への潤滑剤の供給装置を提供する。
【解決手段】本発明は、軸受モジュールが転がり軸受の外輪および潤滑剤貯蔵装置を含み、この場合、潤滑剤貯蔵装置は構造を有し、構造は軸側供給構造と滑り接触をなし、軸側供給構造は遠心力により潤滑剤を転がり軸受内に供給する、高速回転軸を有する真空ポンプ用軸受モジュールに関するものである。ターボ分子ポンプの種々の空間方向における位置決めの自由度を得るために、本発明は、転がり軸受に対して構造とは反対側にラジアル供給手段が配置され、ラジアル供給手段は、潤滑剤貯蔵装置内への潤滑剤の戻し供給を行うことを提案する。 （もっと読む）

【課題】部品数とコストの低減、および組立て作業性の向上を図るのに好適な真空ポンプとその振動吸収ダンパを提供する。
【解決手段】吸気口１の上部に振動吸収ダンパ３が設けられ、この振動吸収ダンパ３は、吸気口１に連通する筒状のベローズ５と、ベローズ５を収容する筒状のダンパケース６と、ダンパケース６の下端とポンプケース２の上端とを連結する弾性部材からなる振動吸収体７とを備え、かつ、ベローズ５の上端をダンパケース６の内側フランジ部８に固定し、同ベローズ５の下端をポンプケース２の上端に直接取り付けた構造とする。 （もっと読む）

【課題】非磁性体からなる転動体を備えた保護ベアリングにおいて、磁化された内輪の連れ回りを抑制すること。
【解決手段】内輪41及び外輪42は、磁性体の部材により形成され、転動体43は、非磁性体により形成されている。磁気誘導体44は、磁性材により形成された部材であり、磁化された内輪の磁気を、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導する磁気誘導機能を備える。磁気誘導部44bは、軸受固定部44aの内周縁部から、軸受固定部の延長方向及び軸方向に張り出した部位から構成され、より磁気抵抗が小さくなるように外輪と接触されている。保護ベアリングの内輪と磁気誘導部との隙間の間隔βは、内輪の内周面とシャフト7の外周壁面との隙間の間隔αと比較して十分に小さくなるように構成されている。このように、間隔β＜間隔αとなるように磁気誘導体を設けることにより、より多くの磁束を拾い、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受装置において、センサ信号を信号処理する信号処理回路の回路規模やコストを低減する。
【解決手段】磁気軸受装置１は、回転翼が形成されたロータの回転により吸排気を行う真空ポンプにおいて、ロータを回転支持する回転軸と、この回転軸を回転駆動するモータとを備え、ロータをステータに対して非接触支持する磁気浮上部と、モータの磁極位置を検出するための回転検出部と、ロータの温度を検出するためのロータ温度検出部と、これら磁気浮上部と回転検出部とロータ温度検出部が備える各センサに搬送波を供給する搬送波生成部と、各センサが出力するセンサ信号を搬送波に同期してサンプリングするＡ／Ｄ変換部を備える。磁気浮上部、回転検出部、及びロータ温度検出部が備える各センサは、共通の搬送波生成部が生成する搬送波の供給を受けることにより、各センサ出力信号である各ＡＭ変調波間の位相上の対応関係を固定することができる。 （もっと読む）

本発明は、特殊なアルミニウム合金製のローターブレードを備えたターボ分子ポンプが有しているローター又はステーターを、製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 第１真空容器内の圧力よりも低い圧力で作動させる機器を第２真空容器内に配置し、その第２真空容器を第１真空容器内に収容して両真空容器を差動排気する場合に、第２真空容器を排気する真空ポンプの取り付けが容易であり、設備コストも抑制することができる差動型真空排気容器を提供すること。
【解決手段】真空ポンプ３および補助ポンプ４によって排気される第１真空容器１の内部２に、低圧作動の機器Ａを備えた第２真空容器５を真空ポンプ７と共に収容し、第２真空容器５の容器壁に設けたコンダクタンスの小さい開口部９を介して、第１真空容器１の内部２と第２真空容器５の内部６とを連通させる。真空ポンプ７は第２真空容器５の内部６を真空排気するが、その排気を吐出する空間の圧力（背圧）は第１真空容器１の内部２の圧力であり大気圧ではないので、真空ポンプ７は補助ポンプを必要としない。 （もっと読む）

本発明は、気体軸受が硬質層でコーティングされている真空ポンプ、及び、真空ポンプのそのような気体軸受の製造方法に関するものである。
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本発明は、特殊なアルミニウム合金製のローターブレードを備えたターボ分子ポンプが、有しているローター又はステーターに関するものである。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプにおいて、振動検出センサの取り付けを容易とし、製造経費を抑制する。
【解決手段】真空ポンプ１は、磁気浮上により回転支持されるロータにより吸排気を行う真空ポンプであり、ロータを磁気浮上させ回転駆動させるポンプユニット２と、ポンプユニットに磁気浮上および回転駆動のための電力を供給する電源ユニット３とを備え、このポンプユニット２と電源ユニット３とを一体あるいは連接した構成とすると共に、電源ユニット３に、ポンプユニット２の振動を検出する振動・姿勢検出部４のうちの少なくとも振動検出センサを設ける構成とする。真空ポンプ１は、ポンプユニット２と電源ユニット３とを一体化あるいは連接し、電源ユニット３が内部に備えている回路基板に加速度センサ等の振動検出センサおよび演算回路を取り付けることによって、新たに回路基板を設けることなく外部振動を検出する。 （もっと読む）

【課題】高い耐食性・熱放射性を持つと共に耐プラズマ性も高く、しかも安価に実現し得るターボ分子ポンプ用表面処理層を提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプの内部部品に形成された表面処理層であって、アルミニウムまたはアルミニウム合金よりなる基材２１の表面に、無電解Ｎｉめっき層２２と無電解黒色Ｎｉめっき層２３の２層重ねの皮膜２４を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】ロータ軸と回転体との当接面の接触状態を安定させることにより、ロータ軸及び回転体の回転バランスを保ち、発振を防止することのできるロータ軸と回転体との固定構造及び該固定構造を有するターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】締結部２５３の上面において、貫通軸部２５５が形成された部分から、当接面２５７の内周までの部分には、当接面２５７よりも上面が凹んだ座グリ部２５９が形成されている。また、この座グリ部２５９の上面も軸方向に対し垂直に加工されている。更に、ボルト穴１６１と貫通軸部２５５の間であって、かつ貫通軸部２５５から長さＬ３程離れた位置には径方向の長さがＬ４の環状凸部２６１が座グリ部２５９の深さＤ１だけ突設されている。この環状凸部２６１は、貫通軸部２５５と同心状に配設されている。 （もっと読む）

【課題】クライオパネルの温度をフィードバック制御することで、精密にガス制御を行う真空装置を提供すること。
【解決手段】プロセスチャンバーの例えば水素ガス分圧信号をモニター装置６００からモニター信号として、信号処理装置６０２に入力し、また、基準値信号もこの信号処理装置に入力する。これらの入力信号を基に、信号処理装置６０２により、冷凍機５７３に冷凍パワー指令値出し、クライオパネル５７０の温度をフィードバック制御する。これにより、真空チャンバー内の水素ガス分圧を制御することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】回転翼を高速で回転させ、ポンプ翼径を大型化させることなく、大流量・低圧化に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ長期的使用に対し有利なターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼７０、２４と固定翼７１、２８とを交互に配置する排気部５０と、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え；回転翼が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する１段以上のタービン翼７０と、タービン翼の後流側に位置し、前記排気された気体をさらに遠心ドラッグ作用により排気する１段以上の遠心翼２４を含んで構成され；遠心翼が、該遠心翼を貫通する回転軸に固定され；遠心翼と回転軸の間に配置され、回転軸に締り嵌めされた円管リング４１をさらに備えるターボ型真空ポンプ１とする。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受装置の回転試験を低コストで行なうことが可能な磁気軸受装置および真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置は、回転翼１５を回転させる磁気軸受スピンドル１と、磁気軸受スピンドル１を制御するコントローラ１６とを備え、コントローラ１６は、回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられている第１の動作モードであるか、または回転翼１５が磁気軸受スピンドル１に取り付けられていない第２の動作モードであるかに基づいて磁気軸受スピンドル１の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】ポンプの回転翼を高速で回転させ、かつ高温状態での連続運転を可能にすることによって、多量のガス排気に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ反応副生成物を防止するためにヒートアップ運転が行えるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸込む吸気部１ａと、前記吸い込んだ気体を排気する回転翼５と固定翼８とを有する排気部Ｌと、回転翼を回転させる回転軸４とを備え、回転翼は、回転軸に接続されたボス部１６と、ボス部から軸方向に張り出す円筒部１７ａ、１７ｂとを有し、ボス部と、円筒部とを、多孔性セラミックスとアルミニウム合金とを用いた金属基複合材料で構成するターボ型真空ポンプ１０１Ａとする。 （もっと読む）

【課題】 凝縮性を有するシステムガスの排気を行なう複合真空ポンプのロータにおいて、複合真空ポンプ全体を大型化することなく低真空側のねじ溝真空ポンプの加熱温度の上昇を可能にして、システムガスの凝着を防止することができる複合真空ポンプのロータを提供する。
【解決手段】 鉄合金等の耐熱性を有する金属材により形成した低真空側のねじ溝真空ポンプ部ロータ１ｂと、該ロータ１ｂの端部を鋳ぐるんでアルミニウム合金の溶湯鍛造により連設した高真空側のターボ分子ポンプ部ロータ１ａとからなる複合真空ポンプのロータ１を形成した。 （もっと読む）

【課題】従来の強制空冷や水冷方式によらずにコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を効率よく除去し、振動をなくしつつ小型化を実現すること。
【解決手段】ポンプ本体２の外部に装着され、その動作を制御する制御回路基板３４が内蔵されたコントローラ３において、コントローラ３の周囲を覆い外壁面に複数枚のフィン４３、４３、…を整列させたヒートシンク４を設け、そのフィン４３の向きがポンプ本体２の回転中心軸線Ｌに対し傾斜した状態にするとともに、コントローラケース３１の背面パネル３１−２と底面パネル３１−２に多数の通気孔３６，３６，…を開口する。これにより、ポンプ本体２が真空チャンバ１０に対していかなる姿勢であっても、フィン４３の放熱面が斜め上方を向いていてフィン４３、４３間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなるとともに、ケース内部の熱気が通気孔３６から外部に確実に抜けるので、高温化したコントローラ３の放熱効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 排気口側の回転翼の外径が吸気口側の回転翼の外径よりも小さくなる構造を有するターボ分子ポンプの組み立て効率を向上させること。
【解決手段】 スペーサリング３１ｆ〜ｈをねじ溝スペーサ３にセットする。次に、上方から回転部をベース２４の軸受部の内壁に沿って挿入して固定した後、スペーサリング３１ｆ〜ｈを持ち上げて、スペーサリング３１ｈとねじ溝スペーサ３との間に隙間を作る。この隙間を介して半割形状の固定翼３０を回転翼９間に挿入する。挿入後、スペーサリング３１ｈを降ろしねじ溝スペーサ３とスペーサリング３１ｈとで固定翼３０を挟持し固定する。同様にして、スペーサリング３１ｈとスペーサリング３１ｇとの隙間、およびスペーサリング３１ｇとスペーサリング３１ｆとの隙間を介して回転翼９間に固定翼３０を挿入する。
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【課題】 過剰な力により破損するのを防止でき、かつシール性の高い端子構造、及び該端子構造を適用した真空ポンプを提供する。
【解決手段】 制御装置４００がターボ分子ポンプ本体３００に向けて移行すると、雌コネクタ６００の円筒壁６０３が雄コネクタ５００の空洞５０４内に嵌合される。雄ピン５１１の一端頭部５１１ａは接続状態が深まるに連れ、ピン挿入用長孔６２３に挿入されるようになる。その後、制御装置４００の円筒壁６０３の先端が雄コネクタ５００の底部５０１に当接すると、剛性の弱い制御装置４００側の雌コネクタ６００が波型座金６１３の弾性力に抗して押し戻される。このことにより、雌コネクタ６００や雄コネクタ５００に過剰な力がかかったような場合であっても波型座金６１３の変形で力を緩和できるのでコネクタが破損するということはなくなる。 （もっと読む）