【解決手段】真空ポンプロータ、特にはターボ分子ポンプロータが複数の別個のロータ要素(10)を備えている。各ロータ要素(10)は、少なくとも１つのロータディスク(18)を有している。ロータディスク(18)は、ロータの軸部分を構成する筒状の突起部(12,14) に接続されている。ロータ要素(10,12) の突起部(12,14) は、ロータ軸を構成するように互いに接続されている。
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【課題】ロータ中心の軸孔に回転軸を挿通させ、該回転軸を玉軸受で軸支すると共に前記ロータと回転軸とをボルト又はナット等を用いて締め付けて固定するようにした分子ポンプのロータ取付け構造において、前記ナットを強く締め付けることによって前記玉軸受の内輪が変形するのを防止する。
【解決手段】小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２とからなる段付きの中心透孔３ａを有するブッシュ３をロータ１の段付き孔１ｃの大径の孔１ｃ２に緊合させ、回転軸２の先端部に雄ねじ部２ａを形成し、該雄ねじ分２ａに続いて前記小径の孔３ａ１に嵌合する第１軸部２ｂ、前記大径の孔３ａ２に嵌合する第２軸部２ｃ及び該第２軸部２ｃよりも大径の第３軸部２ｄを順次前記回転軸２に連設して、前記第１軸部２ｂと第２軸部２ｃとの段差部２ｂｃに、ブッシュ３の小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２との段差部を当接させてナット４によりロータ１と回転軸２とを締め付けて固定した。 （もっと読む）

フレキシブルな取付け具を有するターボ分子ポンプは、機械的ダンパー150によりフレーム160に取付けられた密封ハウジング100と、電気モーター140により駆動される垂直取付け部102と、半径方向磁気軸受111、112と、軸方向磁気軸受115と、半径方向検出器113、114と、軸検出器116と、バックアップ機械的軸受109、110と、軸方向115及び半径方向112の磁気軸受の電力供給回路12、16と制御回路を含む制御モジュールを有する。制御回路は低いスチフネスを有し、限定された通過帯域の濾波回路を有する。制御モジュールは予め定められたしきい値よりも異常に高いローター103の移動を、軸方向116及び半径方向113、114検出器の発生した信号を検出する比較装置を含む。制御回路は再安定化ネットワークと、ローター103の移動がしきい値の１つを超過したことを検出した瞬間ｔ_１後の予め定められた期間Δｔに再安定化ネットワークを選択的に付勢するための手段とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体が取付けられる装置には、ポンプ本体以外にも周辺機器が配置されているため、それらと干渉しないように装置チャンバに取り付ける必要があり、取り付け姿勢に制約があった。ポンプ本体と一体となった電源装置の、表示部、操作スイッチおよび接続コネクタ類が設けられたパネル面の表示の視認や操作スイッチの操作などを容易にする。
【解決手段】電源装置１０は、第１の回路ユニット１１と第２の回路ユニット１２とを備えている。第１の回路ユニット１１は、外部から電力が入力される入力端子１３１が設けられ、ポンプユニット１に対して所定の向きで固定されている。第２の回路ユニット１２は、操作パネル面１２ｂが設けられ、その操作パネル面１２ｂの向きが異なる複数の接続形態で第１の回路ユニットに接続可能に構成されている。 （もっと読む）

【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプのためのステータ−ロータ構造が、ロータ要素(14)と協働する、ロータディスク(16)間に配置された複数のステータディスク(18)を備えている。ステータディスク(18)は、ステータリング(20,22) により保持されている。少なくとも２つのステータリング(20)は、保持要素(28,30) により共に接続された突出部(24)を有している。このため、ステータ−ロータ構造(12)が予め組み立てられることが可能になり、すなわちステータ−ロータ構造(12)がハウジング(10)に配置されることが可能になり、突出部(24)は、ハウジング(10)の隅部(32)の領域に配置され得る。
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【解決手段】本発明は、複数のポンプ段(18,24,26)を構成すべくポンプハウジング(10)内の共通の軸(12)に配置された複数のロータ要素(14,16) を備えた多段真空ポンプに関する。軸は電動機(40)によって駆動される。機械的に好ましい軸受配置が、軸受要素(42,44) の簡易な構成を用いて転がり軸受として実施されるように、内側軸受要素(42)が２つのロータ要素(14,16) 間に配置されている。これは特に、２つのロータ要素(14,16) への分割により可能になる。
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【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できる翼要素で、軸方向の寸法精度および幾何的な公差精度を向上でき、且つ部品点数が少なく安価に製作できる翼要素を有するターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転軸１と、回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、軸受モータ部５０を備え、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、前記回転翼と固定翼の少なくとも一方を、円板状の翼部３２ｂと該円板状の翼部に連なる円筒状スペーサ３２ｓとを一体に形成したスペーサ付翼部３２ｂｓで構成し、該スペーサ付翼部３２ｂｓを多段に積み上げることにより、前記排気部を形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できる翼要素で、構造がシンプル且つ、高効率（運転動力の小さい）の翼要素を有するターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に亘って延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、回転軸１に回転駆動力を与えるモータ５１と回転軸１を回転自在に支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、上側回転側部位４２に、スパイラル溝４５と対向する面と逆の面に、気体を半径方向に圧縮排気する遠心翼要素４２ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】気体を高真空から大気圧まで圧縮できるターボ型真空ポンプで、回転体を高速且つ高精度に回転保持でき、安価にて製造できるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプの略全長に亘って延びる回転軸１と、ケーシング２内に回転翼と固定翼とを交互に配置することによって形成された排気部１０と、回転軸１に回転駆動力を与えるモータ５１と回転軸１を回転自在に支承する軸受５３，５４，５５とを有した軸受モータ部５０を備えたターボ型真空ポンプにおいて、回転軸１をスラスト方向に支承する軸受に気体軸受４０を用い、該気体軸受の固定側部位４１の両面にスパイラル溝４５を形成し、回転軸１に固定された上側回転側部位４２と下側回転側部位４３とにより、スパイラル溝４５の形成された固定側部位４１を挟み込むようにし、下側回転側部材４３と回転軸１の端面１eとの間にスペーサ４６を設けた。 （もっと読む）

【課題】実施が容易であり、可逆性が高く、特性が向上したロータアセンブリを得ることを可能にする。
【解決手段】回転真空ポンプ用のロータアセンブリ1の製造方法であって、第1の材料を用意し、軸方向雄突起9を有するロータ3をそれから形成するステップと、第2の材料を用意し、周囲温度で干渉を有する状態でロータ3の雄突起9を受けるための形状および寸法を有する雌穴15が設けられた端部13を有する支持シャフト11を、それから形成するステップと、突起9を導入するのに十分なように雌穴15を拡張するために、端部13を加熱するステップと、雄突起9を雌穴15に導入するステップと、端部13を周囲温度まで冷却し、それにより、穴15の寸法を小さくし、その結果、シャフト11とロータ3との間の固定的な干渉結合を形成するステップとを含む、方法。 （もっと読む）

【課題】特にヘッドが上にくる位置での運転においてその寿命が延長される真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、フランジ（２８）、ロータ（２）および潤滑剤循環回路を備えた真空ポンプ（１）であって、前記潤滑剤循環回路は、潤滑剤貯蔵室（３）および潤滑剤ポンプ（４；４′）を含み、且つロータを回転可能に支持する転がり軸受（５）を潤滑するために使用される、前記真空ポンプ（１）に関するものである。転がり軸受の寿命を上昇させるために、本発明は、前記潤滑剤循環回路の構成部品として、フランジと転がり軸受との間の真空ポンプ内部に潤滑剤回収室（６）が配置されていることを提案する。 （もっと読む）

【課題】顧客によって要望される種々の用途に摩擦真空ポンプを簡単に適合させ得るようにすることである。
【解決手段】本発明は、シャシ（５）と、ステータ（３）と、ロータ（４）とケーシングとを備えた摩擦真空ポンプ（１）に関する；ポンプのすべての機能エレメントは１つのユニット（２７）にまとめられており、このユニット自体は用途に適したケーシング（１９，５５）内に押し込まれる；この手段によって特別な接続ケーシングが省略され、最適のコンダクタンス状態を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】排気性能を低下させることなく製造コストを抑制すること。
【解決手段】第１円筒部９は、外周面が円筒形状をした部材からなる。支板１１は、外周側へフランジ状に張り出した円環板状をした部材であり、第２円筒部１０の固定機構として機能する。ロータ本体部７、ロータ翼８、第１円筒部９、および支板１１は、同一の素材を削り出すことによって一体に形成されている。第２円筒部１０は、支板１１の外周端部にその端部が圧入固定された外周面が円筒形状をした部材からなる。第２円筒部１０は、第１円筒部９の外側に、第１円筒部９と同心円上に配置されている。第２円筒部１０は、第１円筒部９を構成する部材よりも比強度又は比剛性の高い繊維強化複合材料によって構成されている。第２円筒部１０を別部材で構成することにより、ロータ部の加工を容易に行うことができるため製造コストを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】位相合わせ作業を必要とせず、組み立て作業の効率化を図ることができる真空ポンプ装置の提供。
【解決手段】ポンプユニット１には、モータロータ６２のロータ磁極位置とギャップ変化部４６ｃの位置とに関する位相差に対応した位相差情報を保持する保持手段４８が設けられている。保持手段４８、例えば、可変抵抗の抵抗値として位相差情報を保持する。
制御ユニット２は、保持手段４８に保持された位相差情報に基づいてモータロータ６２の回転を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】回転に伴う熱膨張による伸縮に対応可能であって、しかも構造簡単で分解、組立が容易な回転軸への回転ロータの支承構造を得る。
【解決手段】ハウジング内に設けられる排気室に、ロータを一方の軸端のみに設けられた軸受を介して回転自在に配置し、ハウジング内壁と前記ロータで気体の移送室を形成するとともに、移送室に連通する吸気口と排気口をハウジングに形成し、吸気口から移送室に気体を吸引し排気口から気体を排出する片持ち式回転ポンプにおいて、前記ロータはロータ部材の中空内と回転軸部材の軸端部とを固定する構造であって、前記回転軸部材と前記ロータ部材とは筒部材を介して一体的に固着した。 （もっと読む）

【課題】高い排気圧に対して高い真空度を生成することが可能であるだけではなく、用途が可搬式、手持ち式または空間的に制限されたものになる可能性がある器械に用いることができるターボ分子ポンプを提供すること。
【解決手段】ラジアルターボ分子真空ポンプは、一体構造として製造された微小な翼を備えたシリコンの回転子表面から製造される回転子、および一体構造として製造された対応する溝を備えたシリコンの固定子表面から製造される固定子を含む。微小な翼および溝は多数の環として配置され、回転子および固定子のディスクが近接して配置されて、互いに組み合わされた静翼環および動翼環を形成する。互いに組み合わされた静翼環および動翼環は、半径方向に多段圧縮を生成する。 （もっと読む）

【課題】 ブレード表面に対して斜めに傾いた上流側端面、下流側端面を容易に形成することができる固定翼の製造方法の提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプの固定翼の製造方法において、金属板材をスリット加工してタービンブレードの上流側端面、下流側端面を形成する際に、金属板材の表面に対してレーザービームＬＢを斜入射させてスリット加工を行う。その結果、表面に対して斜めに傾いた上流側端面、下流側端面を容易に形成することできるとともに、打ち抜き加工の場合におけるバリ取り工程を必要としない。また、ねじれ翼のように上流側端面および下流側端面の角度が径方向に連続的に変化する場合でも、ビーム角度θ１を連続的に変えるだけで容易に対応できる。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】タッチダウン軸受装置１０を、ハウジング２に固定された外輪３１と、外輪３１に径方向に対向する内輪３３と、径方向において外輪３１と内輪３３との間に配置された中間輪３２と、外輪３１と中間輪３２との間に配置された第１の玉３４と、中間輪３２と内輪３３との間に配置された第２の玉３５とで構成する。タッチダウン軸受装置１０は、磁気軸受が正常に動作しているときには、回転軸３と内輪３３とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、回転軸３を、内輪３３で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】モールド材の膨張収縮に起因するスピンドルハウジングの歪みを防止することができる回転真空ポンプ。
【解決手段】スピンドルハウジング２４内には、モータステータ１２、磁気軸受用電磁石９，１０および磁気軸受用センサ１３，１４が収納され、モールド樹脂２６が充填される。さらに、モータステータ１２の軸方向端面には、緩衝部材２５が設けられる。緩衝部材２５はモールド樹脂２６の硬化収縮や熱膨張に応じて変形し、モールド樹脂２６の歪を吸収する。その結果、モールド樹脂２６の硬化収縮や熱膨張によってスピンドルハウジング２４が歪むのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受、センサ、モータなどの接続配線の断線の発生を低減させること。
【解決手段】ラジアル磁気軸受部８の電磁石８ｂは、鉄心８１、巻線８２及びインシュレータ８３を備えている。鉄心８１は、中空円筒状であり、内周壁から突出した突起部を複数有している。インシュレータ８３は、絶縁部８３ａ、上スペーサ部８３ｂ、下スペーサ部８３ｃから構成されている。絶縁部８３ａは、巻線８２と鉄心８１を絶縁する。上スペーサ部８３ｂは鉄心８１の外縁部から上方向に形成され、下スペーサ部８３ｃは下方向に形成されている。インシュレータ８３のこれらの部位は、所定の型に熱硬化性エポキシ樹脂材を充填することによって一体形成されている。インシュレータ８３は、金属より剛性の低い樹脂等の絶縁材によって構成されているため、配線などが挟まれた場合における断線の発生率を低下させることができる。 （もっと読む）