【課題】 モータロータの磁極位置とセンサ信号との間に位相差があっても同期駆動が可能なＤＣブラシレスモータ装置の提供。
【解決手段】 回転位置センサ４７ａ〜４７ｃは、モータロータ６２と一体で回転するセンサターゲット４６とのギャップに応じたギャップ信号Ｇ１〜Ｇ１を、ロータ回転に同期して出力する。遅延時間演算部７５は、回転速度検出部７４で検出されるロータ回転周波数ｆと位相差記憶部７６に予め記憶されている位相角度θとに基づいて、遅延時間Δｔを算出する。信号遅延部７３は、算出された遅延時間Δｔに基づいてギャップ信号Ｇ１〜Ｇ３の遅延補正を行い、回転位置信号Ｓ１〜Ｓ３を算出する。モータ駆動波形生成回路７２は、回転位置信号Ｓ１〜Ｓ３に基づいて、モータステータ６１のＵ，Ｖ，Ｗ相に印加される電圧の電圧波形パターンを生成する。 （もっと読む）

【課題】平坦なポンピング面を備えた回転ディスクまたは回転円筒状ドラムを有する分子引きずりステージを含まない真空ポンプを提供する。
【解決手段】ハイブリッドターボ分子真空ポンプは、取入口と排出口とを有するハウジングと、前記ハウジング内部に設けられかつ傾斜ブレードを有する固定子と傾斜ブレードを有するインペラとを各々が含む１つ以上の軸方向フローステージと、軸方向フローステージではなくてかつハウジング内に設けられているとともに固定子とインペラとを含む少なくとも１つの追加真空ポンピングステージと、前記取入口から前記排出口へ気体をポンピングするように前記インペラを回転させる原動機とを含む。追加真空ポンピングステージは、インペラが粗いまたは溝付きのポンピング面を有するディスクを含む改良型分子引きずりステージ、および／または再生ステージであってもよい。 （もっと読む）

【課題】 複合分子ポンプ等の真空ポンプのロータにおいて、プレス加工による高速の自動加工を可能として、製造コストの安い真空ポンプのロータを提供する。
【解決手段】 外周部に多数の動翼要素２ｃ１を放射状に突出させてなる薄板製の動翼要素円板２ｃの複数枚を、順次角度をずらして積層して動翼段２を形成し、こうして形成した複数の動翼段２間にスペーサリング３を介在させてターボ分子ポンプ部ロータ１Ａを形成し、更に該ターボ分子ポンプロータ１Ａの下に薄板からなる椀状体４ａ、５ａを突出させると共に各椀状体４ａ、５ａの外周部に円筒状体４ｂ又は５ｂを係着固定して第１ロータ４及び第２ロータ５を有するねじ溝真空ポンプ１Ｂを形成した。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプの磁気軸受の安定制御を可能とする。
【解決手段】 ラジアルセンサ１０のリング状コア１１を覆う樹脂モールド部材３０は、主領域Ａに形成される樹脂モールド部材３０ａと連結領域Ｂに形成される樹脂モールド部材３０ｂから成り、両者が一体でリング状コア１１の全周にわたって配設されている。樹脂モールド部材３０ｂの厚さを薄く、幅を狭く形成することにより、残留応力の発生量を零に近づけ、樹脂モールド部材３０ａで発生した残留応力がその周囲に伝わるのを防止する。リング状コア１１の内径の歪発生や真円度の低下を抑制できるので、結果として、ターボ分子ポンプ１００の磁気軸受の安定制御ができる。 （もっと読む）

【課題】小型で、圧縮比が高い真空ポンプを提供する。
【解決手段】遠心流ポンプ部４を備える真空ポンプにおいて、遠心流ポンプ部４は、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプａ〜ｄを多段に配置し、外側の遠心流ポンプｄから内側の遠心流ポンプａの方向に排気を行なう構造とし、また、少なくとも最内側の遠心流ポンプａのシール面に、遠心流ポンプロータ４０１の回転により差圧を生じさせるリード溝が設けられるものとする。 （もっと読む）

【課題】 コネクタ部分の防滴を達成しつつ、コストダウンを図ることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 ポンプ本体２設けられたハーメチックシールコネクタ１０のピン１１１，１１２は、配線用プリント基板１１７に直接ハンダ付けされている。ピン１１１，１１２は、配線用プリント基板１１７の配線パターンおよびハーネス３１，３２を介して制御ユニット３の制御信号用プリント基板３３および電力供給用プリント基板３４に接続されている。制御信号用プリント基板３３，電力供給用プリント基板３４および配線用プリント基板１１７はケーシング３５内に収納され、ケーシング３５とベース部４との間はシール材３６により封止されている。その結果、ハーメチックシールコネクタ１０の防滴構造を安価に構成することができる。 （もっと読む）

【課題】 回転体４が腐蝕によって破断しフランジ部に衝撃エネルギーが発生してもボルトが変形することはなく、フランジ部の離脱が生じないフランジを提供する。
【解決手段】 フランジ１２に穿設されたボルト１３用の貫通孔１２Ｈに連接し、かつ貫通孔１２Ｈの中心を通るピッチ円の円周方向における両側の近傍に凹部１２Ｋが設けられている。凹部１２Ｋはフランジ１２の端面側から座ぐり加工等にて穿設された凹部空間で貫通孔１２Ｈとは重なり合う形で連接されフランジ１２の厚さ全域の深さではなく、下方に肉薄部１２Ｎを残存させた構成となっている。貫通孔１２Ｈの径が円周方向にそのまま移動した形の楕円形状を呈している。貫通孔１２Ｈに連接して凹部１２Ｋが形成されている。この凹部１２Ｋにより残存する肉薄部１２Ｎが衝撃エネルギーを受けたとき圧砕される。この変形現象で衝撃エネルギーの吸収が行われるが、この際ボルト１３は曲折は生起しない。 （もっと読む）

【課題】 ロータ軸と回転体との当接面の接触状態を安定させることにより、ロータ軸及び回転体の回転バランスを保ち、発振を防止することのできるロータ軸と回転体との固定構造及び該固定構造を有するターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】 締結部２５３の上面の外周部には、回転体１０３と接触するロータ軸２１３側の締結面２５７が同心状に形成されている。また、この締結面２５７の内周には、締結面２５７よりも上面が凹んだ座グリ部２５９が形成されている。そのため、ロータ軸２１３が回転体１０３に対し締結されるとき、この座グリ部２５９が形成された部分には、座グリ部２５９の深さ分だけ、回転体１０３の当接面１８７との間に隙間２６５が形成されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプ固定翼の強度向上を図るのに好適なターボ分子ポンプ固定翼の製造方法を提供する。
【解決手段】半リング状板材１００にスリット１０２と小穴１０３、１０４を形成し、このスリットと小穴を形成した半リング状板材１００から固定翼１４を切り起す。その際、スリット１００は、半リング状板材１００に一定の間隔で放射状に複数形成され、固定翼１４の切り起しは、隣り合う２つのスリット１０２、１０２間に第１と第２の切り込み１０５、１０６を入れながら、同時に、その両切り込みの終端１０５ａ、１０６ａ間を折り曲げ線として両スリット１０２、１０２間の板材部分１０７を上記切り込み方向にプレスで起き上げるように曲げ加工し、上記小穴１０３、１０４は、固定翼１４の切り起し時において両切り込みの終端１０５ａ、１０６ａとなる箇所にあらかじめ設けられるものとする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空ポンプにより発生した振動のプロセスチャンバ等への伝播を防止するのに好適なダンパ及び真空ポンプを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のダンパは、真空ポンプと連接する第１連結部と、この真空ポンプにより排気される装置と連接する第２連結部と、上記第１連結部と一端が固着され他端が上記第２連結部と固着されたベローズと、上記第１連結部と上記第２連結部との間に挿入された防振部とを有している。この防振部は中空部を有するとともに、この中空部には流動体が充満されている。 （もっと読む）

【課題】内装部品の周囲に該内装部品の内側面より少し引っ込んだ形態のモールド部を、簡単な成形治具と少ない作業工数で安価に成形できる、モールド成形方法と、その方法により作製したステータコラムを備える真空ポンプを提供する。
【解決手段】本モールド成形方法では、筒体としてのステータコラム４やその内装部品であるラジアル電磁石１０−２、ラジアル方向変位センサ１０−３、駆動モータの固定子１２−１よりも熱膨張率の大きい中子５１を用い、この中子５１をステータコラム４の内側に挿入セットした後、その熱膨張率の差により中子５１を拡張させた状態で、中子５１とステータコラム４との間に樹脂等のモールド材を充填し、該モールド材を硬化させるものとする。 （もっと読む）

【課題】 回転翼の軽量化を図るとともに、回転翼における遠心力に対する剛性（強度）を向上させた真空ポンプを提供すること。
【解決手段】 分子ポンプ１におけるロータ翼部７を、内環部材１０と、ロータブレード１１およびリング部材１２から構成する。内環部材１０は、円環状の部材であり、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）材によって形成する。ロータブレード１１は、シャフト９の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜し、軸の中心から放射状に伸びたタービンブレードであり、ＦＲＰ材によって形成する。リング部材１２は、ロータブレード１１の先端部を内接するようにして配設された円環状部材であり、ＦＲＰ材によって形成する。なお、ロータブレード１１は放射方向に、リング部材１２は周方向に強化繊維を配設する。
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【課題】 ボルトの変形により吸気口フランジの移動が効果的に抑制されるとともに、加工の容易なボルト孔を有するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】 ボルト孔１４は、ボルトヘッド側の開口がロータ回転方向にずれるように、角度θだけ傾けて形成されている。そのため、吸気口フランジ１３ａがロータ回転方向に移動してボルト１５の軸に当接した場合、軸の領域Ｈ２の部分は非拘束状態となる。ポンプ異常状態時における衝撃力Ｆによって吸気口フランジ１３ａが左側に移動すると、ボルト１５の領域Ｈ２の部分が左側に曲がるように変形し、衝撃のエネルギーはボルト変形による歪みエネルギーとして吸収される。 （もっと読む）

【課題】 追加の部品を設けなくとも、ロータの表面に施された耐食処理に影響を与えることなく回転体のバランス取りを行うことができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】 回転翼８および円筒部１２が形成されたロータ２は、ボルト２７によって回転軸３のフランジ部３ａに固定されている。さらに、回転軸３の他端にターゲット７５を用いてロータディスク７６を固定することにより、回転体１００が形成される。一体とされた回転体１００は、いったんバランス取りが行われる。そして、ロータ２の耐食処理を施した後に、再びバランス取りが行われる。この再バランス取りの際には、ロータ２は削らずに、ボルト２７のヘッド部を削るようにする。さらに、２面修正を行う場合には、ボルト３１のヘッドやロータディスク７６の側面を削る。 （もっと読む）

【課題】ダクト付きの単一のバルブ・アセンブリであって、前記バルブ・アセンブリを、内側ダクトおよび外側ダクトを有する同軸接続によって、クライオポンプに接続するパージ弁ポートを備えた統合化クライオポンプ・バルブを提供する。
【解決手段】加圧気体との接合部が、内側ダクトを介して加圧気体の供給源をクライオポンプに接続している。粗引き弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを粗引き真空ポンプに接続でき、逃がし弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを排気筒に接続できる。 （もっと読む）

能動の磁気ベアリングを有するターボ分子真空ポンプは、主真空チャンバを規定している容器と、ロータと、電気モータと、アキシャル磁気ベアリングと、ラジアル磁気ベアリングと、軸方向検出器と、径方向検出器とを有している。前記電気モータと、前記アキシャル磁気ベアリングと、前記ラジアル磁気ベアリングとに関連付けられ、離れた外部の電気回路は、電源回路を代表的に有している。前記軸方向検出器と前記径方向検出器とによって出力される信号から、前記アキシャル磁気ベアリングと前記ラジアル磁気ベアリングを制御するための回路が、所定の樹脂中に埋め込まれ、主真空チャンバ内で前記容器中に位置されている。気密で耐漏洩の電気コネクタと、前記離れた外部の電気回路との接続を与えている前記電気ケーブルとは、各々が、１０本未満の複数の接続電線を有している。
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本発明のターボモルキュラーポンプ用回転翼は、ハブとハブに取り付けられる複数のブレードとを有する。前記ブレードは、繊維あるいは粒子により強化されたポリマー材料のストリップから形成される。
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