【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝
ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効
率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ
３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面
に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した
。 （もっと読む）

【課題】排気効率の低下を防止することができる粒子捕捉ユニットを提供する。
【解決手段】パーティクルＰが飛来する空間に晒されるパーティクルトラップユニット４０を構成する第１のトラップユニット４０ａは、複数の第１のステンレス鋼４４ａからなる第１のメッシュ状層４４と、複数の第２のステンレス鋼４５ａからなる第２のメッシュ状層４５とを備え、第１のステンレス鋼４４ａの太さは第２のステンレス鋼４５ａの太さよりも小さく、第１のメッシュ状層４４における第１のステンレス鋼４４ａの配置密度は第２のメッシュ状層４５における第２のステンレス鋼４５ａの配置密度よりも高く、第２のメッシュ状層４５は第１のメッシュ状層４４及びパーティクルＰが飛来する空間の間に介在し、第１のメッシュ状層４４及び第２のメッシュ状層４５は焼結によって焼き固められて互いに接合している。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】効率的に真空ポンプを加熱できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口を有するケーシングと、回転体に設けられた円筒状ロータ部と、円筒状ロータ部の外周側に隙間を介して配置された円筒状のステータとを含むドラッグポンプ部と、排気口を有するベースと、ベースに埋設した、ステータを加熱する抵抗加熱ヒータとを備える。 （もっと読む）

【課題】粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供する。
【解決手段】粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供するために、ロータ部分が構造要素（１１４、１１６）を有し、これらの構造要素により、分子流れ範囲内においてはゲーデ（Ｇａｅｄｅ）に基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイド・チャネル原理に基づくポンプ作用が発生されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ターボ用コントローラ５０は、定格回転数のＤＣモータ４２の電流値が所定の閾値を超えたか否かを判断する。閾値は、反応生成物がターボ分子ポンプ本体１に流入した際の、ターボ分子ポンプの負荷に対応しており、電流値と閾値との比較によって、反応生成物流入を常時監視し得る。反応生成物のターボ分子ポンプへの流入が開始すると、電流値は急激に上昇し、閾値を超える。内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。そこで、ターボ用コントローラは、定格回転数運転時に電流値が閾値以上となり、かつ内部温度が閾値未満のときに、インターロック動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】付着性粒子がポンプ内に付着するのを低減し、ロータ回転への影響を排除することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、多段の回転翼３２が形成され、高速回転するロータ３０と、回転翼３２に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼３３と、ポンプ吸気口２１０とロータ３０との間に設けられ、気体通過領域を形成するように配置されると共に付着性粒子を捕捉する複数のバッフルプレート４１と、複数のバッフルプレート４１を冷却する冷却ユニット４２と、を備える。付着性粒子は冷却されたバッフルプレート４１に衝突すると付着するので、付着性粒子がポンプ内部へ侵入するのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】回転体のアンバランス修正作業を効率良く行うことができるアンバランス修正方法の提供。
【解決手段】本発明によるアンバランス修正方法では、被膜材料を含む電極の一部を放電により溶融して回転体に堆積させ、回転体のアンバランスを修正するものであって、回転体の動的不釣り合いを測定するアンバランス測定工程（Ｓ１０）と、測定された動的不釣り合いに基づいて放電時間および回転体に対する電極の移動範囲を制御して、被膜材料から成るアンバランス修正用被膜を回転体に形成する被膜形成工程（Ｓ４０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ４ｂの外側にステータ３ａを有するねじ溝ポンプ部３をベース部８上に立設して有する分子ポンプ１において、該ねじ溝ポンプ部３を囲繞するケーシング５と前記ステータ３ａとの間に円筒状の排気ガス室６ｃを介在させると共に前記ケーシング５の側壁部５ｃに排気口５ａを設けて、前記ねじ溝ポンプ部３の排気ガスが前記排気ガス室６ｃを介して前記排気口５ａへ連通するように形成した。 （もっと読む）

【課題】被処理体に付着する異物粒子数を低減させた真空処理装置を提供する。
【解決手段】排気系の調圧バルブとターボ分子ポンプの間の空間に、中心部にガスが通るための通路を設けた部材と、該部材の外周にターボ分子ポンプの回転ブレードと逆向きに傾斜した固定ブレードを複数枚設置して構成された異物粒子飛散防止ユニットを設置した。 （もっと読む）

第１ポンピングステージと第２ポンピングステージは、入口から出口までの流路を形成し、この流路は、第１入口に入った分子が第１及び第２ポンピングステージを通って出口まで流れるように、且つ第２入口に入った分子が中間ステージ容積及び第２ポンピングステージを通るように配置されており、
第１及び第２ポンピングステージの各々は、ターボ分子サブステージ及び分子吸収サブステージを備えている。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの下流側から上流側へ気体を一部戻すことで、真空ポンプの排気性能を調整する技術を前提に、可能な限り生成物の悪影響を低減させることができる真空ポンプを提供すること。
【解決手段】逆流経路５０の逆流経路入口５２を圧縮段２０４に設けてあり、逆流経路出口５４を排気段２０２に設けてある。少なくとも１段の固定翼４０又は回転翼３２が、逆流経路入口５２より排気口９０側に存在している。また、逆流経路５０の逆流経路出口５４の位置が、少なくとも１段の回転翼３２又は固定翼４０が吸気口１０側に存在してる位置としている。換言すると、逆流経路出口５４は、少なくとも１段の回転翼３２又は固定翼４０より、下流（排気口９０側）に設置してある。 （もっと読む）

【課題】モレキュラードラッグポンプ部における反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ロータ３は、高真空側に設けられた複数段の回転翼３１と、低真空側に設けられた回転円筒部３２とを有し、ステータは、回転翼３１との間で第１のガス通路ＰＡ１を形成する複数段の固定翼２１と、回転円筒部３２との間で略円環状の第２のガス通路ＰＡ２を形成する固定円筒部２４とを有する。そして、第２のガス通路ＰＡ２の入口部にポンプ本体Ｔの外部からパージガスを供給するパージガス供給手段２６〜２８，１３，８１〜８３を備える。 （もっと読む）

【課題】 分子ポンプのねじ溝真空ポンプ部から排出された排気ガスが、該分子ポンプの冷却されているベアリングハウジング部に触れて凝縮し、該ベアリングハウジング部の外周部に凝着することがあるので、このような不具合を防止する構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】 円筒状のロータ１４の円筒部１４ａの外側及び内側にそれぞれステータ１３ａｓ及び１３ｂｓを配置してねじ溝ポンプ部１３を形成し、該ねじ溝真空ポンプ部１３の内方にベアリングハウジング部５を設けた複合分子ポンプ１１において、該ベアリングハウジング部５の外周部に少許の間隙６ｃを存して設けた熱遮蔽板６で該ベアリングハウジング部５を覆い、該熱遮蔽板６と前記内側ステータ１３ｂｓとの間を排気ガス通路７に形成すると共に、前記外側ステータ１３ａｓを加熱する電熱ヒータ１０ａを設けた。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ等の構成変更等をすることなく、また真空ポンプ等の機械的劣化を引き起こすことなく、稼働停止後における真空ポンプの確実な再起動を容易に可能とし、信頼性の高い真空処理を実現する制御装置及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】制御装置１０は、例えば制御部３に対して外付けで着脱自在に接続されるものであり、制御部３の補助真空ポンプ２の稼働制御に言わば割り込んで、回転停止期間内において、上記した停止期間運転モードを挿入し、当該停止期間運転モードを実行する。停止期間運転モードでは、回転停止期間内において、補助真空ポンプ２のロータ１２の１回又は複数回の間欠運転が規定されている。 （もっと読む）

【課題】真空処理室内での異物の混入を効果的に抑制することができる真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固定翼領域１１に、ハウジング１の外側からハウジング１の内側を加熱する第１のヒータ２１が設けられ、スペーサ領域１２に、ハウジング１の外側からハウジング１の内側を加熱する第２のヒータ２２が設けられている。ヒータ２１による加熱の設定温度は９５℃であり、ヒータ２２による加熱の設定温度は１１５℃である。この設定温度は温度制御部により制御される。温度制御部は、固定翼領域１１及びスペーサ領域１２に夫々設けられた温度センサに基づいて設定温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】ロータ温度をより正確に推定することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプにおいて、ロータ２の温度とモータ６の平均電流との相関関係が予め記憶部３５に記憶されている。そして、演算部３１は、モータの平均電流を算出し、算出されたモータ平均電流と相関関係とに基づいてロータ２の温度を推定する。記憶部３５には固定要因（ターボ分子ポンプの設定温度、圧力調整バルブの設定温度、ガス種）の異なる複数の相関関係が記憶されており、設定部３６により入力設定された固定要因に応じた相関関係を用いる。 （もっと読む）

【課題】 ターボ分子ポンプに取り付けられた電気ヒータの前段に絶縁トランスを設置するに際して、ヒータＯＦＦにおける絶縁トランスの残留磁束をほぼ零にする。さらに、ヒータＯＮ時における突入電流を防止する。
【解決手段】 ヒータ１２９をトライアック７８の位相制御でソフトＯＦＦさせることにより、ヒータＯＦＦ時における絶縁トランス８０の残留磁束をほぼ零まで逓減させる。また、ヒータ１２９をＯＮする瞬間には、トライアック７８を位相制御でソフトＯＮさせることにより、ヒータＯＮ時における絶縁トランス８０の磁束飽和を防止し、このことにより突入電流の発生を阻止する。 （もっと読む）