【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】温度センサによる異常温度の検知に応答して直ちに真空ポンプのモータ駆動を零にしてしまうと、異常温度が生じた状況・原因に拘わりなく所謂フリーランの状態となってしまうという問題があった。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１に内蔵されているモータ６の温度を検出するモータ温度センサ３１と、複数のモータ温度に対応した重み値を記憶しておく記憶部８６と、モータ温度センサ３１により検出されたモータ温度に対応する重み値を記憶部８６から１秒（または、所定の周期）毎に逐次読み出す温度制御部８４と、温度制御部８４から供給された重み値を累算する累積演算部８８とを備えており、温度制御部８４は、累積演算部８８による累算結果に応じてアラーム発報を表す応答信号ＳＧ８４を発する構成としてあるので、モータ温度の変化状況に応じてアラーム発報時刻を適切に可変制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 分子ポンプに取付けられている冷却ユニットが空冷式か水冷式かを自動的に判別すると共に、使用する制御パラメータを自動設定する機能を持ち、冷却ユニットの異常にも対応できる分子ポンプ装置の制御装置を提供する。
【解決手段】 分子ポンプ２と、該分子ポンプ２を制御する外部の制御装置１とからなる分子ポンプ装置の該制御装置１は、前記分子ポンプ２の冷却手段が空冷式か又は水冷式か或いは冷却手段が異常状態なのかを判別する判別手段２１を具備している。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転方向を検出することができる真空ポンプ。
【解決手段】モータ３６により回転駆動されるロータ３０に所定のキュリー温度を有する磁性体１１を設け、ロータ３０の回転に伴って、ロータ３０の磁性体１１が設けられた領域と磁性体１１が設けられていない領域とに交互に対向するように温度センサ１０を設ける。温度センサ回路４３ｂからは、ロータ１回転当たりのパルス数が前記第１のパルス列信号と等しい第２のパルス列信号が温度センサ回路４３ｂから出力される。また、ロータ３０の回転と同期した第１のパルス信号を出力する回転センサ回路４３ａを設けた。温度センサ回路４３ｂは、温度センサ１０が磁性体１１と対向しているときの第２のパルス信号の出力レベルの変化に基づいて、ロータ３０の温度を推定する。そして、正逆判定回路４４、第１のパルス信号のパルス発生パターンと第２のパルス信号のパルス発生パターンとに基づいてロータの回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ運転中にハイレベル信号およびローレベル信号の生成が不安定になるのを未然に防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータと一体に設けられたセンサターゲットと、そのターゲット面とのギャップ変化に応じたセンサ信号を出力するインダクタンス式の回転センサと、センサ信号の電圧レベルとHigh-Low判定用の閾値Ｖ_Ｌ，Ｖ_Ｈとを比較して、凹凸段差に対応したローレベル信号およびハイレベル信号を生成する回転センサ回路とを備える。電源投入時に、ロータを複数の回転角度位置に順に停止させ、複数の角度位置の少なくとも一つにおいて、センサ信号の電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｌ以下となり、かつ、他の角度位置の少なくとも一つにおいて、電圧レベル（Ｖ_Ｕ〜Ｖ_Ｗ）が判定閾値Ｖ_Ｈ以上となる場合に、センサ信号は正常であると判定し、それ以外の場合には異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ターボ用コントローラ５０は、定格回転数のＤＣモータ４２の電流値が所定の閾値を超えたか否かを判断する。閾値は、反応生成物がターボ分子ポンプ本体１に流入した際の、ターボ分子ポンプの負荷に対応しており、電流値と閾値との比較によって、反応生成物流入を常時監視し得る。反応生成物のターボ分子ポンプへの流入が開始すると、電流値は急激に上昇し、閾値を超える。内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。そこで、ターボ用コントローラは、定格回転数運転時に電流値が閾値以上となり、かつ内部温度が閾値未満のときに、インターロック動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】アンバランス修正用部材により、ロータアンバランスの修正と、ロータ温度が許容温度を越えたか否かを判断することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】外周面に排気作用部としての回転翼８が設けられた円筒状のロータ２を高速回転して、ガスを排気する真空ポンプにおいて、アンバランスを修正する修正用磁性部材としてのＣ型リング２１は、ロータ２の許容温度に相当するキュリー温度を有する磁性材料で形成され、ロータ２の内周面に該ロータ２のアンバランスを修正するために付加される。Ｃ型リング２１と対向する位置には、Ｃ型リング２１の透磁率変化を検出するインダクタンス式のギャップセンサ４４が配設されている。検出部３１は、Ｃ型リング２１の透磁率変化に基づいてロータ２の温度を監視する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を抑えつつエレクトリカルランアウトを防止できるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼３２が形成されたロータ３０と、回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配置された複数段の固定翼２２と、ロータ３０が固定され、モータ３６により回転駆動されるシャフト１２と、シャフト１２を磁気浮上させる磁気軸受３７ａ，３７ｂ，３８と、シャフト１２の磁気浮上位置を検出する渦電流式ギャップセンサ２７ａ，２７ｂ，２８とを備え、ラジアルセンサ２７ａ，２７ｂの検出対象として非磁性金属から成るターゲット部材１３，１４と、スラストセンサ２８の検出対象として非磁性金属で形成されたロータディスク１５とが設けられている。なお、ターゲット部材１３およびロータディスク１５を、シャフト１２に着脱可能に固定するようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】効率的にステータを昇温させることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ２の排気上流側に形成された複数段の回転翼８、および複数段の回転翼８に対して交互に配設された複数段の固定翼９とで構成されるターボポンプ部と、ロータ２の排気下流側に形成された円筒状ロータ部１２、および円筒状ロータ部１２の外周側に隙間を介して配置された円筒状のネジステータ１１とで構成されるドラッグポンプ部と、を備える。そして、ネジステータ１１に、ステータ加熱用のヒータ２２が埋め込まれている。ネジステータ１１はヒータ２２により直接加熱されるので、ネジステータ１１を効率的に昇温させることができる。 （もっと読む）

【課題】メカニカルベアリングの寿命判定をより精度良く行うことができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ロータがボールベアリングにより回転自在に支持されたターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データとしての起動時間カウント値およびモータ電流カウント値は、起動時間カウンタ２０１およびモータ電流積算カウンタにより積算され、演算・判定部２００は、それらの積算値に基づいて判定基準データを生成する。また、演算・判定部２００は、所定時間を経過した後のベアリング状態データ（起動時間カウント値およびモータ電流カウント値）に基づく寿命判定データを取得する。そして、演算・判定部２００は、寿命判定データと判定基準データとに基づいて、ボールベアリングの交換が必要か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】回転体のアンバランス修正作業を効率良く行うことができるアンバランス修正方法の提供。
【解決手段】本発明によるアンバランス修正方法では、被膜材料を含む電極の一部を放電により溶融して回転体に堆積させ、回転体のアンバランスを修正するものであって、回転体の動的不釣り合いを測定するアンバランス測定工程（Ｓ１０）と、測定された動的不釣り合いに基づいて放電時間および回転体に対する電極の移動範囲を制御して、被膜材料から成るアンバランス修正用被膜を回転体に形成する被膜形成工程（Ｓ４０）と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、以下のステップを備える、真空ポンプのロータの回転の故障を予測する方法に関する：
− 真空ポンプの機能信号の経時的な変化に関連するイベントシーケンスが記録されるステップ１０１と、
− 少なくとも１つのイベントシーケンス、およびその記録されたイベントシーケンス内の真空ポンプ挙動モデルの少なくとも１つの事前に確立された結合規則の発生原因の間で一致が探求されるステップであって、前記事前に確立された結合規則の発生原因がロータの回転の故障を含む、ステップ１０２と、
− その期間中にロータの回転の故障が真空ポンプ内で生じることになる時間予測ウィンドウが推定されるステップ１０３。
本発明はまた、以下を備えるポンプ装置に関する：
− 少なくとも１つのロータおよび１つのポンプ本体を備える真空ポンプ７であって、前記ロータが前記ポンプ７のモータによって前記ポンプ本体内で回転駆動される可能性をもつ、真空ポンプ７と、
− 前記ポンプ７の機能信号センサ９と、
− その期間中にロータの回転の故障が真空ポンプ７内で生じることになる時間予測ウィンドウを予測する手段１０であって、前記機能信号センサ９によって提供される測定結果に基づいてその予測時間ウィンドウを計算する、予測の手段１０。
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【課題】予め回転基準位置に対する磁性体位置の位相差を計測しておく必要がなく、ポンプ組み立て作業が簡素化される真空ポンプの提供。
【解決手段】インダクタンス検出部４４は、少なくとも一つの磁性体１０２が設けられたインダクタンス被検出面に対向するように隙間を設けて配設され、インダクタンス信号を出力する。演算手段３１３は、基準位相信号発生手段が発生する基準位相信号を基準とする複数の回転位相に関するインダクタンス信号Ｓ１〜Ｓ３に基づいて、回転基準位置に対する磁性体１０２の位置（位相差）を算出する。温度推定手段３１４は、演算手段３１３で算出された磁性体１０２の位置に基づいて、インダクタンス検出部４４が磁性体１０２に対向したときのインダクタンス信号を抽出し、該インダクタンス信号に基づいてロータの温度を推定する。 （もっと読む）

【課題】結露発生時にはターボ分子ポンプを自動的に停止させることができるターボ分子ポンプ駆動制御用電源装置の提供。
【解決手段】電源回路４０は、電源電圧を複数の抵抗器４０１，４０２で分圧して帰還電圧を取り出し、その帰還電圧が所定の基準電圧V0と等しくなるように電源電圧を制御する。そして、電源電圧出力と帰還電圧の取り出し位置との間に、すなわち電源出力側の抵抗器４０１と並列に結露センサ４４を設ける。結露センサ４４は隙間ｄで配置された一対の電極４４１，４４２を備え、結露の発生によりその絶縁抵抗が低下する。その結果、電源電圧が基準電圧V0付近まで低下して電源回路４０はシャットダウン状態となり、ターボ分子ポンプの運転は自動的に停止される。 （もっと読む）

【課題】ロータの磁極位置を正確に検出する。
【解決手段】ＤＣブラシレスモータ６によってロータ２を回転させることによりガスを排気する真空ポンプであって、ロータ２と一体に回転する回転体４２の軸方向端面には周方向に段部４２ｂが形成され、この回転体４２の軸方向端面に対向して配設されるとともに、所定の搬送波信号が印加され、回転体４２の軸方向端面との間のギャップの変化に伴うインピーダンスの変化に応じて搬送波信号を振幅変調するセンサ部４４と、センサ部４４で振幅変調された変調波信号から包絡線を抽出して復調波信号を生成する復調生成手段４５と、復調波生成手段で生成された復調波信号のうち、所定周波数以上の復調波信号を通過させるフィルタ手段４７とを含み、フィルタ手段４７を介して出力されたフィルタ信号に基づいてロータ３の磁極位置を検出する検出手段３１と、検出手段３１により検出された磁極位置に基づき、ＤＣブラシレスモータ６を制御するモータ制御手段３３とを備える。 （もっと読む）