【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】回転翼を軽量化することに伴い生ずる重心位置変動及び慣性モーメント比の変動を調整することの可能な回転体及び該回転体を搭載した真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転体１０３のハブ９９の下端で、かつ環状張出部９８の内周端には下方に向けて延長部材２０３が環状に突出されている。そして、この延長部材２０３の下端には、この延長部材２０３の厚みよりも外側に向けて大きい厚みを有する環状の重り部２０５が形成されている。重量調整部材としての延長部材２０３及び重り部２０５はステータコラム１２２の形状に沿って回転体１０３の内側に突出されている。そして、重り部２０５は延長部材２０３の長さを経た分回転体１０３の重心位置よりも一層離隔して配設されている。 （もっと読む）

【課題】高速回転ロータを有する真空ポンプの急速な通気を可能にする方法および装置を提供する。
【解決手段】ガスの導入による、高速回転ロータ１２を有する真空ポンプ１０の通気方法に関して、通気時間を改善するために、導入されたガスにより形成された、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間が決定される時間測定の評価により、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量が設定される。真空ポンプ１０を備えた装置は、第１の値から第２の値への回転速度低下に対する期間を決定するための通気時間測定器５０と、基準値５４がその中に記憶されている基準値メモリと、前記期間を前記基準値５４と比較し且つ比較結果を形成するための時間比較器５２と、少なくとも１つの通気弁２６１、２６２を含む弁装置２６の流量を前記比較結果の関数として設定する弁制御３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ロータ変形に起因するロータの径方向ずれを抑制することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、軸芯に対して垂直な締結面３３５を有するシャフト３３と、締結面３３５に立設された位置決めピン４０ａ，４０ｂと、締結面３３５にボルト締結され、ピン４０ａ，４０ｂが嵌挿される貫通穴３０１が形成されたロータ３０と、シャフト３３を回転駆動するモータと、を備える。そして、ピン４０ａは締結面３３５の軸芯と直交する直線Ｌ１上の位置に立設され、ピン４０ｂは、締結面３３５の軸芯と直交するとともに直線Ｌ１と所定角度θを成す直線Ｌ２上の位置に立設されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はターボ分子ポンプを排気対象装置に接続するための接続装置に関し、比較的低周波域の振動の排気対象装置への伝達を効果的に抑制することのできる接続装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ロータと、ロータを収容するケーシングと、前記ケーシングに設けられる吸気口及び排気口を備え、前記ケーシング内でロータを高速回転させることにより前記吸気口からガスを吸引し前記排気口からガスを排出するターボ分子ポンプの吸気口を排気対象の真空容器の排気口に接続するための接続排気管を備えたターボ分子ポンプの接続装置において、前記接続排気管の周囲を取り巻くようにリング状のおもりを配置すると共に、前記接続排気管とおもりの間に粘弾性部材を介在させることにより動吸振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】高速回転するロータが、異常により分裂する際の破壊トルクを低減する。
【解決手段】ロータ軸５は、上端部に嵌め合い軸部５ａを有し、ロータ４の中央部には、厚さ方向に貫通する嵌合用開口部４ａが形成されている。ロータ４は、中央部において、ロータ軸５の嵌め合い軸部５ａと軸方向において重合する部分を有しておらず、ロータ４とロータ軸５の嵌め合い軸部５ａとは、冷やし嵌めまたは焼き・冷やし嵌めのみによって固定されている。ボルト締結部を有していない分、ロータ４は質量が小さくなり、破壊トルクを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】装置への低周波振動の伝送を回避する、及び／又は、ポンプ要素とハウジングとの間の相対運動を低減することにより運用寿命が延びる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ(10)には、ポンプハウジング(24)の外側面(22)に保持要素(36,38) が設けられている。保持要素(36,38) は、少なくとも１つの質量要素を支持するために設けられている。好ましくは真空ポンプ(10)の長手軸(34)に対して非対称的に配置された質量要素により、生じる振動が抑制され得る。 （もっと読む）

【課題】金属対金属の接触がないことで、高い減衰係数と、真空チャンバをポンプチャンバから電気的に絶縁することとが可能になる真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ用の振動減衰器を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動減衰器101；201；301；401；501において、真空気密機能および振動減衰機能はともに、同一の構成要素により、特に、弾性材料（好ましくはエラストマー）製の1つ以上の環状リング216、131；326；426；526、531、541により果たされる。弾性リングは、真空ポンプが作動しておらず減衰器が大気圧であるときの、静止した第1条件から、真空ポンプが作動し減衰器が真空状態にあるときの、圧縮された第2状態へと移行する。この圧縮された第2状態で、弾性リングは、さらされている圧縮力のために、真空ポンプと、本発明に係る減衰器を介して同ポンプが接続されている真空チャンバとの間の金属対金属の接触を回避するような仕方で変形される。 （もっと読む）

【課題】アンバランス修正用部材により、ロータアンバランスの修正と、ロータ温度が許容温度を越えたか否かを判断することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】外周面に排気作用部としての回転翼８が設けられた円筒状のロータ２を高速回転して、ガスを排気する真空ポンプにおいて、アンバランスを修正する修正用磁性部材としてのＣ型リング２１は、ロータ２の許容温度に相当するキュリー温度を有する磁性材料で形成され、ロータ２の内周面に該ロータ２のアンバランスを修正するために付加される。Ｃ型リング２１と対向する位置には、Ｃ型リング２１の透磁率変化を検出するインダクタンス式のギャップセンサ４４が配設されている。検出部３１は、Ｃ型リング２１の透磁率変化に基づいてロータ２の温度を監視する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ特にターボ分子真空ポンプにおいてロータの回転により振動が発生され、振動は、真空ポンプがそれに固定されている室に伝達される。固定回転速度の場合、これは、回転速度と整数比の関係にある室の固有振動数が著しく励振されることを意味する。この問題を回避するために、従来技術においては、真空ポンプと室との間に追加の部品が組み込まれている。本発明の課題は、追加部品の必要性を低減させる真空ポンプおよび真空ポンプの運転方法を提供する。
【解決手段】ロータと、ロータの回転をある回転速度で行わせる駆動装置を備えた真空ポンプの運転方法であって、真空ポンプによる励振の発生をより小さくするために、変化過程３６を含み、前記変化過程内において、前記ロータの回転速度を第１の回転速度値３８および第２の回転速度値３９の間で周期的に変化させる。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバのような減圧容器と真空ポンプのように加振源となる機器との間に介設される防振継手１として、従来一般的なものを２つ繋げた場合のように設置スペースの増大やコストの上昇を招くことなく、これに匹敵する性能のものを提供する。
【解決手段】単一の金属ベローズ１０を用いながら、その中間部の外周に連結リング６を介して錘５を連結し、中間マスを構成することによって、あたかも２つの防振継手を繋いだかのように完全な二重防振構造とする。金属ベローズ１０の外周を取り囲むゴム弾性体４は筒軸Ｚ方向の中央で２つに分割し、この２つの部材４０，４０間に連結リング６を挟み込む。ゴム弾性体４の外周に全周に亘って凹部４ｂを形成し、ここに錘５の内周凸部５ａを嵌め込む。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成により磁気軸受システムを構成し、水蒸気排気速度の増大に対応可能なターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】高温超伝導磁気軸受をポンプロータの軸端に設け、クライオトラップを用いた冷凍機で高温超伝導磁気軸受を冷却するよう構成したので、被支持体のパラメータの変化（例えば、回転翼の重量増大）に応じて、排気速度、支持能力、および減衰能を増大させ、高温超伝導磁気軸受部の付加コストも極小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ロータが高速回転時に安定して回転し、信頼性に優れた誘導型モータの回転力により比較的高速で回転する回転装置、ターボ分子ポンプを提供すること。
【解決手段】ロータシャフト１１が誘導型モータの回転力により高速回転する回転装置であって、ロータスペーサ２０は、ロータシャフト１１に固定される小内径の固定部と該固定部の反モータロータのコア１３ａ側の端部に一体的に形成され外径寸法がモータロータのコアの外径寸法より小さい円筒状でモータエンドリング１３ｂの外周を覆う大内径の覆い部とからなり、該固定部を該ロータシャフト１１に嵌合させて固定することにより、覆い部でモータエンドリング１３ｂの反モータロータのコア１３ａ側の端部の外周を覆う。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの運転に伴う真空装置の微振動の低減を図るのに好適な真空ポンプ防振構造を提供する。
【解決手段】メカニカルダンパＤを介して真空装置ＭのチャンバＣに接続される真空ポンプＰの防振構造において、メカニカルダンパＤは、大気と真空の境界を維持する筒状のベローズ２と、ベローズ２の両端に取り付けたフランジ部３Ａ、３Ｂと、その両端のフランジ部間に介在させた筒状の振動減衰部材４とを備え、一方のフランジ部３ＡがチャンバＣに接続し、他方のフランジ部３Ｂが真空ポンプＰの吸気口部ＰＳに接続されるものとする。そして、フランジ部３Ｂと振動減衰部材４との間には低摩擦部材５を介在させ、この低摩擦部材５を介してフランジ部３Ｂと振動減衰部材４とが振動のエネルギーによって相対的に真空ポンプ径方向にずれる自由度を備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】回転体の小型化を図りつつ、回転体の重心位置調整を容易に行うことができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】回転翼８が形成されたロータ２とシャフト３とを締結して成る回転体１００を備えるターボ分子ポンプ１において、ロータ２の比重よりも大きな比重の材料で形成され、回転体１００の軸に関して回転対称な形状を有する重心位置調整部材１０１を、回転体１００に設けた。その結果、重心位置調整部材１０１の径方向寸法や厚さ寸法を調整することで、回転体１００を小型化しつつ、回転体１００の重心位置を簡単に調整することができる。 （もっと読む）

【課題】中心部に回転軸を有して高速回転をするターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータの外周部に突設されている多数の動翼にかかる遠心力によって該ロータの変形をきたし、ロータと回転軸との嵌合が緩むのを防止する。
【解決手段】分子ポンプのロータ１は、複数の動翼１ｂからなる動翼段を中空の円筒状のハブ部１ａの外周に放射状に且つ多段に突設すると共に、該ハブ部１ａの末端部に軸方向へ突出するボス部１ｃを設けてロータ１をカップ状に形成し、該ボス部１ｃに設けた軸孔１ｄに嵌合するのは回転軸２の先端部のねじ部２ａに螺合するナット３を用いて前記ロータを回転軸２に締結した。 （もっと読む）

【課題】ロータ中心の軸孔に回転軸を挿通させ、該回転軸を玉軸受で軸支すると共に前記ロータと回転軸とをボルト又はナット等を用いて締め付けて固定するようにした分子ポンプのロータ取付け構造において、前記ナットを強く締め付けることによって前記玉軸受の内輪が変形するのを防止する。
【解決手段】小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２とからなる段付きの中心透孔３ａを有するブッシュ３をロータ１の段付き孔１ｃの大径の孔１ｃ２に緊合させ、回転軸２の先端部に雄ねじ部２ａを形成し、該雄ねじ分２ａに続いて前記小径の孔３ａ１に嵌合する第１軸部２ｂ、前記大径の孔３ａ２に嵌合する第２軸部２ｃ及び該第２軸部２ｃよりも大径の第３軸部２ｄを順次前記回転軸２に連設して、前記第１軸部２ｂと第２軸部２ｃとの段差部２ｂｃに、ブッシュ３の小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２との段差部を当接させてナット４によりロータ１と回転軸２とを締め付けて固定した。 （もっと読む）