【課題】生成物付着防止温度までの昇温時間を短縮することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、排気機能部が形成されたロータがモータ６により回転駆動されるポンプ本体と、ポンプ本体を加熱するヒータ５５と、ポンプ本体の温度を検出する温度センサ４４と、温度センサ４４の検出情報に基づいて、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となるようにヒータ５５の通電を制御する制御回路３０２と、ヒータ５５の通電が開始されると、同期駆動制御から、同期タイミングから所定位相角だけ遅れたタイミングで駆動制御するモータ発熱制御へ移行し、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となったならばモータ発熱制御から同期駆動制御へ戻るように、モータ６を駆動制御するモータ駆動回路３０３と、を備える。このようにモータ６を駆動制御することにより、ポンプ本体の昇温時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ及び又はねじ溝ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、ねじ溝
ポンプ部のロータとステータとの間の微小な間隙を更に狭めることなしに、高いポンプ効
率が得られるようにする。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部３のロータ３ａの表面及び該ロータ表面と対向するステータ
３ｂの表面の少なくとも一方の表面にセラミックスの粒子のブラストを行なって、該表面
に０．０１乃至０．１ミリメートルの高さの微細な凹凸３ａ１を有する粗表面に形成した
。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

【課題】付着性粒子がポンプ内に付着するのを低減し、ロータ回転への影響を排除することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、多段の回転翼３２が形成され、高速回転するロータ３０と、回転翼３２に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼３３と、ポンプ吸気口２１０とロータ３０との間に設けられ、気体通過領域を形成するように配置されると共に付着性粒子を捕捉する複数のバッフルプレート４１と、複数のバッフルプレート４１を冷却する冷却ユニット４２と、を備える。付着性粒子は冷却されたバッフルプレート４１に衝突すると付着するので、付着性粒子がポンプ内部へ侵入するのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】排気速度の低下を抑えつつ、反跳パーティクルの逆流を防止するターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】多段の回転翼32が形成され、高速回転するロータ30と、回転翼32に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼33と、回転翼32および固定翼33を収容し、吸気口21aが形成されたポンプハウジング34と、ロータ30の吸気口側に近接して設けられ、ロータ30の回転翼根元よりも内径側の面に対向するように配置される円盤150と、吸気口21aとロータ30との間に配置され、細線を編み上げて形成された円筒状の網目構造体153a,153bとを備え、ロータから吸気口側に反跳したパーティクルを、網目構造体153a,153bの内部に捕捉するようにした。 （もっと読む）

【課題】薄膜製造装置等の特に粉塵を含んだガスの真空排気に最適な分子ポンプを提供する。
【解決手段】円筒状のロータ２ｂの外周部に形成されている第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１と、前記ロータ２ｂの円周部に形成されている第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２とからなるねじ溝ポンプ部１ｂを有する分子ポンプ１において、前記第１ねじ溝ポンプ部１ｂ１から第２ねじ溝ポンプ部１ｂ２への折り返し部に前記ロータ２ｂの下端部に沿ってダストコレクター室４を環状に設けると共に該ダストコレクター室４の下方にダスト貯蔵室５を環状に設け、前記ダストコレクター室４と該ダスト貯蔵室５とを狭い連絡通路６で連通して、ダストコレクター室４にて採取された粉塵等が該ダスト貯蔵室５に集積されるようにした。 （もっと読む）

【課題】保護網の形状の安定化を図ることによって保護網や回転翼の機械的な損傷を抑えた真空ポンプと、その真空ポンプの製造方法とを提供する。
【解決手段】吸気口に取付けられた円環状の鍔部２２と鍔部２２の内側に形成された網部２３とからなる保護網とを備えた真空ポンプであって、網部２３は、鍔部２２の径方向において区画されて、軸Ｃに近づくに連れて回転翼との間の距離が大きくなるように、軸Ｃの方向における位置を異にする複数の平坦部２３ｆと、軸Ｃの径方向において隣り合う平坦部２３ｆを軸Ｃの略軸方向に沿って連結する複数の段差部２３ｓとを備えた。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの処理室内への侵入を防止することができる排気ポンプ、連通管及び排気システムを提供する。
【解決手段】基板処理装置１０はチャンバ１１を備え、チャンバ１１にはＴＭＰ１８が接続され、ＴＭＰ１８は、複数の回転翼群と、円筒状の本体３７の上側、すなわち最上の回転翼群よりもチャンバ１１側に配置される円筒状の吸気部４０と、該吸気部４０内に配置され、チャンバ１１側から吸気部４０を眺めたときに、上記最上の回転翼群を遮蔽する遮蔽装置４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１において、真空処理室から飛来したパーティクル２０をターボ分子ポンプ内において捕捉、あるいはパーティクルが跳ね返るときの速度を小さくする構成を備え、これによって、吸気口１２から上流側へのパーティクルの跳ね返りを減少させ、ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。飛来したパーティクルをターボ分子ポンプ内で捕捉する構成として、パーティクルを捕捉するトラップスペース４０や凹部３０を設ける構成、パーティクルを埋没させて捕捉する捕捉部材５０の構成、あるいは、パーティクルが跳ね返るときの速度を小さくする構成として、突入して反跳するパーティクルの跳ね返り速度を低下させる緩衝部材の構成を備える。 （もっと読む）

【課題】 加熱により気化した有機材料を排気する場合に、長時間安定的に稼動することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】 この真空排気システムＡは、真空チャンバ３０において有機材料を気化する温度以上に加熱し、発生する蒸気を排気するものである。真空チャンバ３０には、有機材料が気相になる温度以上の温度を達成するヒータ１５，１７を備えたターボ分子ポンプ３４が接続され、ターボ分子ポンプ３４には、有機材料が気相になる温度以上の温度に保温されている排気配管３２が接続されている。排気配管３２にはコールドトラップ３６が接続され、コールドトラップ３６には粗引用真空ポンプが接続されている。また、ターボ分子ポンプ３４の吸気側に不活性ガスを導入する付着防止機構４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 吸気口側、すなわちプロセス室へ向うパーティクルを阻止する。
【解決手段】 吸気口２１Ａと、複数段に形成された動翼３２の中で最も吸気口２１Ａに近い第１段の動翼３２ａとの間のケーシング２２に、その内周に沿って４枚の円環２３ｂにより３段の環状室２３ｃを設ける。動翼３２ａで跳ね飛ばされたパーティクルは、円環２３ｂに衝突して環状室２３ｃ内で運動量を失って捕捉される。 （もっと読む）

【課題】 構成部品の保護を目的とする冷却の影響を受けることなく、特にポンプ機構の損傷や破損を招く部分における固化物の堆積を防止することを目的とする。
【解決手段】 真空ポンプのケーシングを、上流部を構成する上側ケーシング２１ａと下流部を構成する下側ケーシング２１ｂとを一体化した構成とし、上側ケーシング２１ａをガスの昇華温度以上に加熱するヒータを設ける。上側ケーシング２１ａと下側ケーシング２１ｂとの間に断熱部材ＨＩを介装する。下側ケーシング２１ｂ内に、ガス流路に連通してトラップ部２７となる空間部を形成し、このトラップ部２７内に、ガスの昇華温度以下に冷却されるトラップ部材Ｔを、その上端がトラップ部２７の上端（すなわち放熱板４１の上端面）近傍に位置するようにして設ける。 （もっと読む）

【課題】 吸着容量の増加および高速度排気をともに実現することにより低電力消費を実現するコールドトラップ、および、このような利点を持つコールドトラップにターボ分子ポンプを併用した真空排気装置を提供する。
【解決手段】
真空チャンバ２０内空間に設置されるコールドパネル２００と、この真空チャンバ２０の内部空間で冷却端がコールドパネル２００に熱的に接続されて配置される冷凍機１００と、を備えるコールドトラップ１０とした。また、このようなコールドトラップ１０が設置された真空チャンバ２０内に配管４０を介してターボ分子ポンプ３０を接続した真空排気装置１０００とした。 （もっと読む）