【課題】改善された真空技術的性能を有する真空ポンプ用高速回転ロータを提供することである。
【解決手段】第１のスリーブ１６および支持構造（１４；６０）を含む、真空ポンプ２用高速回転ロータ１０に関するものである。真空技術的性能を上昇させるために、第１のスリーブ１６の内側に第２のスリーブ１８が配置され且つ第１および第２のスリーブが複合材を形成することが提案される。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの漏れ（リーク）の有無を判定するためには、ターボ分子ポンプの稼働を停止させてリークディテクタを接続しなければならないので、余分な手間を招来するという問題があった。
【解決手段】モータ制御部８４は、ブラシレスモータ６に供給する電流を一定値に維持する。タイマ８９は、モータ制御部８４により一定の電流値が維持されている期間中の時間を計測する。回転数センサ１３は、モータ制御部８４により一定の電流値が維持されている期間中のモータ回転速度を測定する。漏れ判定処理部８６は、タイマ８９により計測された時間と、回転数センサ１３により測定された最大回転速度と最小回転速度との回転速度差とに基づいて、ターボ分子ポンプ吸気口側に接続されている真空チャンバー２の漏れ判定を行う。 （もっと読む）

【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受４により回転可能に支持され、且つハブ８およびハブに固定されたスリーブ１０を有する、ロータ２であって、スリーブ１０が第１の端部１２およびハブとは反対側のフリーな第２の端部１４をもつ、該ロータ２と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅１００を有する隙間３０を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ２０と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 （もっと読む）

【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプに一体的に取り付けられる制御ユニットを小型化し、または製造コストを低減する。
【解決手段】上ケース１２はフランジ１２ａの貫通孔５１に挿通された締結部材６１により外部装置の第１の取付部材９１に締結される。上ケース１２に締結された第１のベース１４はフランジ１４ｂの貫通孔５２に挿通された締結部材６３により外部装置の第２の取付部材９２に締結される。制御ユニット７０は締結部材６５により第２のベース１５に締結される。締結部材６５にはロータ３０の破壊時のトルクが作用しないので、締結部材６５および制御ユニット７０のケースを、強度が小さいものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】中心部に回転軸を有して高速回転をするターボ分子ポンプのロータにおいて、ロータの外周部に突設されている多数の動翼にかかる遠心力によって該ロータの変形をきたし、ロータと回転軸との嵌合が緩むのを防止する。
【解決手段】分子ポンプのロータ１は、複数の動翼１ｂからなる動翼段を中空の円筒状のハブ部１ａの外周に放射状に且つ多段に突設すると共に、該ハブ部１ａの末端部に軸方向へ突出するボス部１ｃを設けてロータ１をカップ状に形成し、該ボス部１ｃに設けた軸孔１ｄに嵌合するのは回転軸２の先端部のねじ部２ａに螺合するナット３を用いて前記ロータを回転軸２に締結した。 （もっと読む）

【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０はモータ６のモータステータが設けられたポンプベース４を有し、コントロールユニット３０は、モータステータが設けられたポンプベース４との間に隙間領域Ｓを形成するようにポンプベース４の底面に固定されたケース（ベース板３２およびケーシング３３）を有している。電子部品３０４が実装された基板３０１，３０２は、隙間領域Ｓに対面するケース壁部であるベース板３２の内周面に固定されている。そして、ファン３４により隙間領域Ｓに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板３２の部分から効果的にケース外に放熱される。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における排気性能を一層向上させる。
【解決手段】動翼部６５には、放射状のロータ翼６５ａを有する内周側の翼配列部６５Ａと、放射状のロータ翼６５ｂを有する外周側の翼配列部６５Ｂが半径方向に連続して形成されている。翼配列部６５Ａ、６５Ｂを複数にしたので、各翼配列部のロータ翼またはステータ翼は、翼枚数、翼角度または翼厚さの少なくとも１つを他の翼配列部のものとの調整を図りながら最適なものとすることが可能となり、これにより、排気性能を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、安全な状態に管理することが容易にできる電源一体型真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離可能に固定された電源一体型真空ポンプにおいて、ポンプユニット２０は、分離判定用データが記憶されたＲＦＩＣタグ４４を備え、コントロールユニット３０は、ＲＦＩＣタグ４４に記憶されたデータを読み取るリーダ３５と、リーダ３５によるデータの読み取りができなかったときに分離情報として分離フラグＯＮを保持する記憶部３５ａとを備え、主制御部３１は電源投入時に記憶部３５ａに分離フラグＯＮが保持されている場合に、ポンプユニット２０の起動を禁止する。 （もっと読む）

【課題】生成物付着防止温度までの昇温時間を短縮することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、排気機能部が形成されたロータがモータ６により回転駆動されるポンプ本体と、ポンプ本体を加熱するヒータ５５と、ポンプ本体の温度を検出する温度センサ４４と、温度センサ４４の検出情報に基づいて、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となるようにヒータ５５の通電を制御する制御回路３０２と、ヒータ５５の通電が開始されると、同期駆動制御から、同期タイミングから所定位相角だけ遅れたタイミングで駆動制御するモータ発熱制御へ移行し、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となったならばモータ発熱制御から同期駆動制御へ戻るように、モータ６を駆動制御するモータ駆動回路３０３と、を備える。このようにモータ６を駆動制御することにより、ポンプ本体の昇温時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造において高い圧力比を有する真空ポンプを提供することである。
【解決手段】軸１２、軸と結合されたハブ４０、およびハブの第１の側と結合された、軸に同心の第１のスリーブ５０、を有するロータを備えた真空ポンプ特に分子真空ポンプに関するものであり、少なくとも１つの第２のスリーブ５２が、軸に同心に、軸方向においてハブの第１の側に向かい合う第２の側でハブと結合され、および第１のスリーブは、ガス流れ内において第２のスリーブに後続配置されている。 （もっと読む）

【課題】ホルベック段を有する真空ポンプの性能をさらに上昇させるために、スリーブの変形を小さくする。
【解決手段】少なくとも１つの繊維方向を有する繊維複合材料からなる少なくとも１つのセクション１６を含むロータ１２を備えた真空ポンプに関するものであり、スリーブ２４に設けたセクション１６が少なくとも１つの螺旋状に配置された溝３０を有し、および繊維方向を有する繊維の少なくとも１つの部分２８が溝３０に平行に配向されているように、繊維複合材料の繊維が配向され、これにより、真空ポンプの運転において、セクション１６が遠心力の作用に抵抗する。本発明は、このようなセクション１６、およびこのようなセクション１６の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】反跳したパーティクルの処理室内への侵入を防止することができる反射装置を提供する。
【解決手段】反射装置３６は、排気マニホールド１６の内部に配置され、ＴＭＰ１８に対向するように配置された円板状の第１の反射面部材４１と、該第１の反射面部材４１の周縁に配置され且つＴＭＰ１８の回転軸４３を指向するように面角度が設定された円環状の第２の反射面部材４２とから成る反射板３８を備える。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）