【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０はモータ６のモータステータが設けられたポンプベース４を有し、コントロールユニット３０は、モータステータが設けられたポンプベース４との間に隙間領域Ｓを形成するようにポンプベース４の底面に固定されたケース（ベース板３２およびケーシング３３）を有している。電子部品３０４が実装された基板３０１，３０２は、隙間領域Ｓに対面するケース壁部であるベース板３２の内周面に固定されている。そして、ファン３４により隙間領域Ｓに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板３２の部分から効果的にケース外に放熱される。 （もっと読む）

【課題】生成物付着防止温度までの昇温時間を短縮することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、排気機能部が形成されたロータがモータ６により回転駆動されるポンプ本体と、ポンプ本体を加熱するヒータ５５と、ポンプ本体の温度を検出する温度センサ４４と、温度センサ４４の検出情報に基づいて、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となるようにヒータ５５の通電を制御する制御回路３０２と、ヒータ５５の通電が開始されると、同期駆動制御から、同期タイミングから所定位相角だけ遅れたタイミングで駆動制御するモータ発熱制御へ移行し、ポンプ本体の温度が生成物付着防止温度となったならばモータ発熱制御から同期駆動制御へ戻るように、モータ６を駆動制御するモータ駆動回路３０３と、を備える。このようにモータ６を駆動制御することにより、ポンプ本体の昇温時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を効率的に低減させる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域（回転翼及び固定翼が配設される領域）が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】効率的に真空ポンプを加熱できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口を有するケーシングと、回転体に設けられた円筒状ロータ部と、円筒状ロータ部の外周側に隙間を介して配置された円筒状のステータとを含むドラッグポンプ部と、排気口を有するベースと、ベースに埋設した、ステータを加熱する抵抗加熱ヒータとを備える。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における各構成部材間の伝熱効率を向上する。
【解決手段】スペーサ５とステータ翼６が一体に形成されたステータ翼構成体７が軸方向に多段に積層されている。下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間には間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇに柔軟な材料で形成されたＯリング２１が介装されている。Ｏリング２１はスペーサ５の溝部５ｆおよび下端面５ａの各表面が有する微細な凹凸に倣って変形するため、接触部の接触面積が増大し、これにより、伝熱効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ内部の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】ターボ用コントローラ５０は、定格回転数のＤＣモータ４２の電流値が所定の閾値を超えたか否かを判断する。閾値は、反応生成物がターボ分子ポンプ本体１に流入した際の、ターボ分子ポンプの負荷に対応しており、電流値と閾値との比較によって、反応生成物流入を常時監視し得る。反応生成物のターボ分子ポンプへの流入が開始すると、電流値は急激に上昇し、閾値を超える。内部温度がポンプ設定温度閾値以上であれば、反応生成物の堆積は生じることはないが、ポンプ設定温度閾値未満であれば堆積が生じる可能性がある。そこで、ターボ用コントローラは、定格回転数運転時に電流値が閾値以上となり、かつ内部温度が閾値未満のときに、インターロック動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、外側軸受環(36)を有する転がり軸受(28)を備えた、特に真空ポンプに適した真空式転がり軸受構成に関する。外側軸受環(36)とハウジング要素(40,50)との間に保持スリーブ(42)が配置されている。転がり軸受(28)からの放熱を改善するために、保持スリーブ(42)は突出部(52)を有している。従って、特には径方向に延びるこの環状の突出部(52)は少なくとも１つの更なる熱伝達面(56,58) を形成している。
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【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】付着性粒子がポンプ内に付着するのを低減し、ロータ回転への影響を排除することができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、多段の回転翼３２が形成され、高速回転するロータ３０と、回転翼３２に対してポンプ軸方向に交互に配置された複数の固定翼３３と、ポンプ吸気口２１０とロータ３０との間に設けられ、気体通過領域を形成するように配置されると共に付着性粒子を捕捉する複数のバッフルプレート４１と、複数のバッフルプレート４１を冷却する冷却ユニット４２と、を備える。付着性粒子は冷却されたバッフルプレート４１に衝突すると付着するので、付着性粒子がポンプ内部へ侵入するのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】高速で回転する分子ポンプ装置において、モータや回転軸の軸受等からの発熱によるポンプ本体の高温化を簡便な冷却手段により冷却する。
【解決手段】ポンプ本体２の側面に冷却ユニット４をボルト６ａの締結により固定する分子ポンプ装置１において、該冷却ユニット４に形成した該ボルト６ａの挿通孔６ｂを横長の長孔に形成し、該冷却ユニット４の前記側面への固定位置を移動可能に形成し、該冷却ユニット４と前記ポンプ本体２との相互の接触面積を調節可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。 （もっと読む）

【課題】ねじ溝ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ねじ溝ポンプ部のステータの温度を所定の高温に保つことができると共に排気ガス中の付着凝固性を有するプロセスガスが分子ポンプ内の排気ガス通路に凝着せず、しかも排気ガスの熱が該分子ポンプのベース部等に伝達することがなく、更に分子ポンプの全長を短くすることができるような構造の分子ポンプを提供する。
【解決手段】ねじ溝ポンプ部ロータ４ｂの外側にステータ３ａを有するねじ溝ポンプ部３をベース部８上に立設して有する分子ポンプ１において、該ねじ溝ポンプ部３を囲繞するケーシング５と前記ステータ３ａとの間に円筒状の排気ガス室６ｃを介在させると共に前記ケーシング５の側壁部５ｃに排気口５ａを設けて、前記ねじ溝ポンプ部３の排気ガスが前記排気ガス室６ｃを介して前記排気口５ａへ連通するように形成した。 （もっと読む）

【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置１０は、ポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介在して電源装置１４を冷却する冷却装置１３とを有する。冷却装置１３と電源装置１４との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプと同等の真空性能の磁気軸受式大気圧動作型真空ポンプが実現でき、磁気軸受の特徴である清浄（潤滑オイル必要なし）、超低振動（ロータとステータが無接触）、高信頼性（腐食性ガスに強い）等の利点を有する上に、１台のポンプで真空チャンバーを高真空に排気できる。
【解決手段】二つの回転翼間の結合方式を、片方の永久磁石による磁束と他方の導電体に発生する渦電流による結合方式とし、結合トルクが発生するために、常に分子流領域で動作する回転翼のほうが低い回転数であることを前提とした翼設計とする。少なくとも高真空側にある分子流領域で動作する回転翼は磁気軸受で支持し、例えば、高温超伝導磁気軸受を採用する。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプ本体と制御装置を一体化したターボ分子ポンプ装置において、部品点数を削減し、コストダウンとオーバーホールの容易化を図ると共に、装置の冷却効率が高いターボ分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】冷却機構２４上に冷却必要部品２３を設置すれば、冷却効率を上げることができる。また、冷却必要部品２３を配置した冷却機構２４には、制御装置のケース１が取り付けられる。冷却機構２４が、制御装置のケース１のターボ分子ポンプ本体２１との接触面の役割を果たし、ケース１はターボ分子ポンプ本体２１との接触面にケース板は存在しない。そして、冷却機構２４が、制御装置のケース１の一面の役割を果たし、冷却機構２４は制御装置２２と一体として構成する。また、ターボ分子ポンプ本体２１と冷却機構２４及び制御装置２２は、ターボ分子ポンプ本体２１と冷却機構２４が接触することにより、一体として構成する。 （もっと読む）