【課題】コントロールユニット内への塵等の侵入を防止しつつ、送風ファンによって電子部品を効果的に冷却することができる一体型ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０はモータ６のモータステータが設けられたポンプベース４を有し、コントロールユニット３０は、モータステータが設けられたポンプベース４との間に隙間領域Ｓを形成するようにポンプベース４の底面に固定されたケース（ベース板３２およびケーシング３３）を有している。電子部品３０４が実装された基板３０１，３０２は、隙間領域Ｓに対面するケース壁部であるベース板３２の内周面に固定されている。そして、ファン３４により隙間領域Ｓに冷却風を送風することで、電子部品で発生した熱は隙間領域に面したベース板３２の部分から効果的にケース外に放熱される。 （もっと読む）

【課題】真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を効率的に低減させる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼（ブレード）の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域（回転翼及び固定翼が配設される領域）が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】翼排気部における各構成部材間の伝熱効率を向上する。
【解決手段】スペーサ５とステータ翼６が一体に形成されたステータ翼構成体７が軸方向に多段に積層されている。下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間には間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇに柔軟な材料で形成されたＯリング２１が介装されている。Ｏリング２１はスペーサ５の溝部５ｆおよび下端面５ａの各表面が有する微細な凹凸に倣って変形するため、接触部の接触面積が増大し、これにより、伝熱効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】固定翼や回転翼を冷却または加熱する際の効率を向上させることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、回転可能に支持されたロータと、ロータの外周に、回転軸方向に多段に設けられた回転翼３２と、多段の回転翼３２に対して回転軸方向に交互に配設された多段の固定翼２２と、多段の固定翼２２の間に配置され、固定翼２２の外周部を軸方向から挟持して位置決めする複数のスペーサリング２３ａ，２３ｂと、を備える。そして、冷却用または加熱用の流体が流れる管状の流路４２ｃを固定翼２２に形成し、軸方向上下に配置された一対の固定翼２２の流路４２ｃ同士を連通する流路４２ｄをスペーサリング２３ｂに形成したことにより、固定翼２２が流体により直接冷却または加熱され、固定翼２２や回転翼３２を冷却または加熱する際の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、外側軸受環(36)を有する転がり軸受(28)を備えた、特に真空ポンプに適した真空式転がり軸受構成に関する。外側軸受環(36)とハウジング要素(40,50)との間に保持スリーブ(42)が配置されている。転がり軸受(28)からの放熱を改善するために、保持スリーブ(42)は突出部(52)を有している。従って、特には径方向に延びるこの環状の突出部(52)は少なくとも１つの更なる熱伝達面(56,58) を形成している。
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【課題】高速で回転する分子ポンプ装置において、モータや回転軸の軸受等からの発熱によるポンプ本体の高温化を簡便な冷却手段により冷却する。
【解決手段】ポンプ本体２の側面に冷却ユニット４をボルト６ａの締結により固定する分子ポンプ装置１において、該冷却ユニット４に形成した該ボルト６ａの挿通孔６ｂを横長の長孔に形成し、該冷却ユニット４の前記側面への固定位置を移動可能に形成し、該冷却ユニット４と前記ポンプ本体２との相互の接触面積を調節可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速で回転するロータの回転軸を上下の転がり軸受で軸支して真空排気を行なう分子ポンプにおいて、前記転がり軸受の放熱性を向上させて軸受の長寿命化を図る。
【解決手段】ロータ２の回転軸３を上側の第１玉軸受８ａと下側の第２玉軸受８ｂで軸支する構造の分子ポンプ１において、該分子ポンプ１は第２玉軸受８ｂの外輪を保持するスリーブ９と、該スリーブ９の外周部に嵌着したＯリング７ｃを介して該スリーブ９が軸方向に摺動可能に嵌入するスリーブケース６ｂとを有しており、これらスリーブ９とスリーブケース６ｂとを可撓性を有する熱伝達手段の放熱板１１で連結したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】分子ポンプとその制御装置とからなる分子ポンプ装置において、これら分子ポンプと制御装置を共に冷却できるような簡単な構造の冷却装置を持った分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】分子ポンプ２と制御装置３とを外側面に具備する接続装置５において互いに接続させると共に、冷却水を循環させて冷却したベース体４の上面にこれら分子ポンプ２と制御装置３とを並設し、前記ベース体４との熱交換によってこれら分子ポンプ２及び制御装置３の冷却を行なうように形成した。 （もっと読む）

【課題】回生ブレーキ抵抗の設置スペース効率を向上して、電源装置の小型化を図る。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータに設けられた回転翼、回転翼と協働して真空排気する固定翼、およびロータを駆動するモータを少なくとも有するポンプ本体と、モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗１４ｈで熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置１４と、制御装置１４を冷却する冷却装置１３とを備える。回生ブレーキ抵抗１４ｈを棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、制御装置筐体１４０が冷却装置１３と接する端部１４ａの内周面に沿って引き回す。 （もっと読む）

【課題】外乱によって電源装置の自重により発生する慣性トルクをトルク反力構造で受けることにより、締結部のボルト径を細くする。
【解決手段】ターボ分子ポンプ装置１０は、ポンプ本体１１と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介在して電源装置１４を冷却する冷却装置１３とを有する。冷却装置１３と電源装置１４との間の締結部には、外乱により作用するトルクの反力を取るトルク反力構造を設ける。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプ本体と制御装置を一体化したターボ分子ポンプ装置において、部品点数を削減し、コストダウンとオーバーホールの容易化を図ると共に、装置の冷却効率が高いターボ分子ポンプ装置を提供する。
【解決手段】冷却機構２４上に冷却必要部品２３を設置すれば、冷却効率を上げることができる。また、冷却必要部品２３を配置した冷却機構２４には、制御装置のケース１が取り付けられる。冷却機構２４が、制御装置のケース１のターボ分子ポンプ本体２１との接触面の役割を果たし、ケース１はターボ分子ポンプ本体２１との接触面にケース板は存在しない。そして、冷却機構２４が、制御装置のケース１の一面の役割を果たし、冷却機構２４は制御装置２２と一体として構成する。また、ターボ分子ポンプ本体２１と冷却機構２４及び制御装置２２は、ターボ分子ポンプ本体２１と冷却機構２４が接触することにより、一体として構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成により磁気軸受システムを構成し、水蒸気排気速度の増大に対応可能なターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】高温超伝導磁気軸受をポンプロータの軸端に設け、クライオトラップを用いた冷凍機で高温超伝導磁気軸受を冷却するよう構成したので、被支持体のパラメータの変化（例えば、回転翼の重量増大）に応じて、排気速度、支持能力、および減衰能を増大させ、高温超伝導磁気軸受部の付加コストも極小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ターボ分子ポンプのロータの温度上昇を抑制すること。
【解決手段】ターボ分子ポンプ１００は、ロータ翼３ｂを回転させて吸気口７Ａから吸入した気体を排気口１１Ａから排出する。ロータ本体３ａの吸気口７Ａに面した部分に無電解ニッケルメッキ層を形成し、且つ複数のロータ翼３ｂの表面、ロータ円筒部３ｃの表面、ロータ本体３ａの内周面および外周面の少なくとも一つに黒色ニッケルメッキ層を形成する。黒色ニッケルメッキ層は、熱輻射率が高いので、ロータからその周辺部材への放熱を促進する。 （もっと読む）

【課題】回転軸の環境温度を下げ、または回転軸に作用する応力を下げ、長期間安定した稼働を行うことができるターボ真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼８０、２４と、該回転翼に対向するように配置された固定翼７１、２８とを有し、吸気部より吸い込まれた気体を排気する排気部５０と、２つの軸受３１、３３に回転可能に支持され、２つの軸受間の外側において回転翼を貫通し、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え、回転軸には、第１の中空部分２２が軸方向に形成され、第１の中空部分に挿入され、回転翼と、回転軸の２つの軸受の少なくとも一方の少なくとも一部とを貫通するよう配置された第１の挿入軸３９であって、回転軸の材料より高い熱伝導性を有する材料からなる第１の挿入軸をさらに備えるターボ真空ポンプとする。 （もっと読む）

【課題】電源装置内部の結露を防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプ本体２と一体的に設けられた電源装置３の内部に結露センサ７を設ける。結露センサ７が電源装置内部の結露を検出すると、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を閉じる。そして、冷却水路５を通じて電源装置内部を流通している冷却水の流れを停止させる。 （もっと読む）

【課題】 冷却水の供給量の最適化をはかり省エネルギー化に貢献するターボ分子ポンプＴＰを提供する。
【解決手段】 ターボ分子ポンプＴＰへ冷却水ＣＷを供給する配管８に直列的に、温度により開度が変化する流温感知弁Ｖがターボ分子ポンプＴＰに密着して設置されている。この流温感知弁Ｖのハウジング１１内に線膨張係数の大きなワックスＷＸが封入され、ワックスＷＸの熱膨張を利用して流路１２の開閉を行う。流温感知弁Ｖの内方の弁体１４は摺動可能で弁体１４は下方に付勢されるが、ワックスＷＸが封入された拡縮体２０による付勢力がターボ分子ポンプＴＰの温度に相応するワックスＷＸの膨張量で発生する。ハウジング１１に規制ピン２１が植設され、ターボ分子ポンプＴＰの温度が下降してワックスＷＸが収縮したとき、バネ１５にて弁体１４が下方に押されるとき、弁体１４が流路１２を完全に閉塞しないで最少量の流量を維持させるよう付勢が制限される。 （もっと読む）

【課題】特定のプロセスによるポンプ内部での副生成物の生成を抑制または阻止したり、運転可能範囲を広く設定できるようにする。
【解決手段】ステータＳとロータＲを内部に収容するケーシング部１４と、ステータＳとロータＲで構成される翼排気部Ｌ_１及び／または溝排気部Ｌ_２と、翼排気部Ｌ_１及び／または溝排気部Ｌ_１の周囲を包囲する内側ケーシング１５２と、内側ケーシング又は溝排気部Ｌ_２のステータに取付けられた温度調整機構２０６，２０８を有する。 （もっと読む）