真空ポンプシステム、及びその運転方法
【課題】ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムの電源遮断の場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステムを提供すること。
【解決手段】ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプとを備え、交流電源５０からの交流電力を直流電力に変換し、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する真空ポンプシステムであって、運転中に交流電源５０が遮断した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介してドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。
【解決手段】ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプとを備え、交流電源５０からの交流電力を直流電力に変換し、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する真空ポンプシステムであって、運転中に交流電源５０が遮断した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介してドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステム及びその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１に示すように、超真空領域を排気するターボ分子ポンプ１００と、大気圧領域から中真空領域にいたる領域を排気するドライ真空ポンプ１１０を備え、ターボ分子ポンプ１００の排気口１０１とドライ真空ポンプ１１０の吸気口１１１を排気管１０３で接続し、反応チャンバー１２０内の排気口にターボ分子ポンプ１００の吸気口を接続し、反応チャンバー１２０内を排気真空にする真空ポンプシステム、即ち排気系の真空側にターボ分子ポンプを大気側にドライ真空ポンプを配置した真空ポンプシステムがある。この真空ポンプシステムでは、ターボ分子ポンプ１００には電源兼用コントローラ１０５から駆動電力を供給し、ドライ真空ポンプ１１０には電源装置１１３から駆動電力を供給している。即ち、ターボ分子ポンプ１００と、ドライ真空ポンプ１１０はそれぞれ別個の電源装置から駆動電力を供給している。
【０００３】
図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ターボ分子ポンプシステムは、力率改善のためのＰＦＣ回路２０１、整流器２０３と平滑コンデンサ２０５、２０６を具備する直流回路２０２、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８、コントローラ２０９、ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２、開閉器２１４、回生電力消費抵抗器２１５を備えている。
【０００４】
そして交流電源２２０からの交流電力をＰＦＣ回路２０１を通して整流器２０３に供給し、該整流器２０３で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２０２を介してターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１でコントローラ２０９の制御により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２に供給し、ターボ分子ポンプ１００を運転している。また、直流回路２０２の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ２０８を介して所定電圧の直流に変換され、コントローラ２０９やターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１の制御電源として供給されている。
【０００５】
ターボ分子ポンプ１００の運転中に、交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、開閉器２１４を閉じ、ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１を介して直流電力に変換し、回生電力をターボ分子ポンプ全体の制御電力として利用することで、安全に減速・停止するように構成されている。また、正常運転中にあってポンプ停止工程に入った場合は、前記同様ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーを直流電力に変換後、回生電力消費抵抗器２１５に通電し、熱エネルギーとして消費することにより、ターボ分子ポンプに回生制動をかけている。
【０００６】
図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ドライ真空ポンプシステムは、全波整流器２２２、平滑コンデンサ２２６を具備する直流回路２２４、ＤＣ／ＤＣコンバータ２２８、コントローラ２２９、ドライ真空ポンプ用インバータ回路２３１、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２を備えている。
【０００７】
そして交流電源２２０からの交流電力を全波整流器２２２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２２４を介してドライ真空用インバータ回路２３１に供給し、コントローラ２２９の制御によりドライ真空ポンプ用インバー回路タ２３１で所定周波数の交流電力に変換し、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２に供給し、ドライ真空ポンプ１１０を運転している。
【０００８】
交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、一般的なドライ真空ポンプ１１０は電力遮断直後にドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２の回転駆動を停止する。しかしながら、ターボ分子ポンプ１００は高真空領域で使用することを前提としているため、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２は高速回転で運転しており、急激な回転減速をすることができない。これはターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２の回転保持力を原因とする現象で、一般的にターボ分子ポンプ１００は回転保持力を消費するために減速時ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が発電する回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１で直流電力に変換し回生電力消費抵抗器２１５に通電し熱変換して消費するか、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８でコントローラ２０９内の駆動電力に変換することで消費している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第４０００６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が減速完了していない状態で、大気側のドライ真空ポンプ１１０が停止してしまうと、ターボ分子ポンプ１００の排気側圧力が急激に変動するため、ターボ分子ポンプ１００が破損する等の危険性がある。即ち、基本的にはターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転されることが求められる。
【００１１】
一方、ドライ真空ポンプ１１０（ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２）とターボ分子ポンプ１００（ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２）が同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて、停電等により電源の遮断が発生した場合、回生電力を用いた予備電源に切り替わるターボ分子ポンプに比べ、ドライ真空ポンプでの減速停止は、電源遮断直後に回避することはできないから、ターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転させることができない。
【００１２】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて停電等により電源の遮断が発生した場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステム、及びその運転方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に、交流電源の交流電力が遮断された場合、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、直流回路に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成したことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムにおいて、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムの運転方法において、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムの運転方法において、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、ターボ分子ポンプの回生電力をドライ真空ポンプの動力として利用することで、回生電力を熱変換することなく消費することが可能となるため、ポンプコントローラ内の温度を上昇させることなく安全に且つ短時間に両ポンプを減速させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させるので、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は従来の真空ポンプシステムの概念図である。
【図２】図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。
【図３】図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。
【図４】図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。
【図５】図５は電源兼用コントローラのシステム構成を示すブロック図である。
【図６】図６は交流電力遮断時の電源兼用コントローラの動作を説明するための図である。
【図７】図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図である。
【図８】図８は本発明に係る真空ポンプシステムで運転中のターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプへの駆動電力が同時に遮断された場合の減速回転数レートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。図示するように、本真空ポンプシステム１０はターボ分子ポンプ１２と、ドライ真空ポンプ１４を備え、ターボ分子ポンプ１２の排気口１６とドライ真空ポンプ１４の吸気口１８を排気管２０で接続し、反応チャンバー２２の排気口にターボ分子ポンプ１２の吸気口を接続し、反応チャンバー２２内を排気真空にする真空ポンプシステムである。ターボ分子ポンプ１２は排気系の真空側に接続され、ドライ真空ポンプ１４は排気系の大気側に接続されている。ターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４は１個の電源兼用コントローラ２４で制御され、且つ駆動電力が供給されるようになっている。なお、２３、２５は電源兼用コントローラ２４からターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４との間で制御信号や駆動電力を送受するためのケーブルである。
【００２１】
図５は電源兼用コントローラ２４のシステム構成を示すブロック図である。電源兼用コントローラ２４は、力率改善のためのＰＦＣ回路２６、整流器３２と平滑コンデンサ２８、３０を具備する直流回路３４、ＤＣ／ＤＣコンバータ３６、コントローラ３８、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を備えている。
【００２２】
そして交流電源５０からの交流電力をＰＦＣ回路２６と通して整流器３２に供給し、該整流器３２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路３４を介してドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給している。該ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０及びターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流回路３４からの直流電力をコントローラ３８の制御により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれドライ真空ポンプ駆動用電動機４４及びターボ分子駆動用電動機４６に供給し、ドライ真空ポンプ１４、ターボ分子ポンプ１２を運転している。また、直流回路３４の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ３６を介して所定電圧の直流に変換され、制御用電圧としてコントローラ３８やドライ真空ポンプ用インバータ回路４０やターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給されている。
【００２３】
上記構成の電源兼用コントローラ２４において、ターボ分子ポンプ１２（ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６）及びドライ真空ポンプ１４（ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４）の運転中に、上記電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。
【００２４】
図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図であり、図７（ａ）はポンプ始動時の加速回転数レートを、図７（ｂ）はポンプ減速停止時の減速回転数レートを示す。通常はドライ真空ポンプを先に、次いでターボ分子ポンプを始動する。ドライ真空ポンプは図７（ａ）のＢに示すように、時刻ｔ１でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４で駆動電力の供給が開始すると短時間（数秒〜数十秒）で略５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。これに対してターボ分子ポンプは図７（ａ）のＡに示すように、時刻ｔ２でターボ分子ポンプ駆動用電動機４６に駆動電力の供給が開始すると時間ｔの経過に比例し増速し、数分〜１０分程度の時間を経て略２５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。
【００２５】
ポンプ減速停止においては、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しており、ドライ真空ポンプを停止させることができる所定回転数以下に減速するのに時間がかかることから、通常、図７（ｂ）のＡに示すように、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６への駆動電力を時刻ｔ３で停止し、ターボ分子ポンプの回転数が所定回転数以下になった時刻ｔ４でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力を停止し、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプが略同時に停止するようにしている。従って、ターボ分子ポンプ駆動用電動機への駆動電力停止とドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力停止を同時にしたのでは、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しているうちにターボ分子ポンプ内が大気に開放されることになることになり、ターボ分子ポンプが破損するおそれがある。
【００２６】
本電源兼用コントローラ２４では、上記のようにターボ分子ポンプ駆動用電動機４６及びドライ真空ポンプ駆動用電動機４４の運転中に、電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、図８のＡ、Ｂに示すように、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させることなく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることができる。
【００２７】
図８において、時刻ｔ１で交流電力が遮断されると、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの回転エネルギーにより、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流電力に変換し、更にドライ真空ポンプ用インバータ回路４０で交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、Ｂに示すように、ドライ真空ポンプ１４の回転数ＮＤはターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴが所定回転数に減速される時刻ｔ２まで略定格回転数に維持され、それ以降急激に減速され停止する。また、ターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴは回生電力をドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給することにより、強い回生制動がかかりＡに示すように時刻ｔ１以降急勾配で減速され停止する。
【００２８】
上記のように、本真空ポンプシステムでは、電源装置に入力される交流電力が予期せず停止した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給することで、真空ポンプシステム全体を制御する制御電源のみならず、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４も駆動することが可能となる。即ち、真空ポンプシステムの電源が停止した場合、本来ターボ分子ポンプより後に停止することが望まれるドライ真空ポンプの駆動電力を、ターボ分子ポンプの回生電力を利用することで、ドライ真空ポンプの回転維持が期待でき、且つ回生電力を電気熱変換する特殊な放熱素子を削減或いは減少させることができる。
【００２９】
なお、真空ポンプシステムでは、制御部及び電源装置が一体であればよく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプの駆動用電動機本体は一体であっても、別体であってもよい。
【００３０】
以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術範囲である。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力でドライ真空ポンプ駆動用電動機を駆動するので、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動して減速し、停止することになり、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステムを提供できる。
【符号の説明】
【００３２】
１０ 真空ポンプシステム
１２ ターボ分子ポンプ
１４ ドライ真空ポンプ
１６ 排気口
１８ 吸気口
２０ 排気管
２２ 反応チャンバー
２３，２５ ケーブル
２４ 電源兼用コントローラ
２６ ＰＦＣ回路
２８ 平滑コンデンサ
３０ 平滑コンデンサ
３２ 整流器
３４ 直流回路
３６ ＤＣ／ＤＣコンバータ
３８ コントローラ
４０ ドライ真空ポンプ用インバータ回路
４２ ターボ分子ポンプ用インバータ回路
４４ ドライ真空ポンプ駆動用電動機
４６ ターボ分子ポンプ駆動用電動機
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステム及びその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１に示すように、超真空領域を排気するターボ分子ポンプ１００と、大気圧領域から中真空領域にいたる領域を排気するドライ真空ポンプ１１０を備え、ターボ分子ポンプ１００の排気口１０１とドライ真空ポンプ１１０の吸気口１１１を排気管１０３で接続し、反応チャンバー１２０内の排気口にターボ分子ポンプ１００の吸気口を接続し、反応チャンバー１２０内を排気真空にする真空ポンプシステム、即ち排気系の真空側にターボ分子ポンプを大気側にドライ真空ポンプを配置した真空ポンプシステムがある。この真空ポンプシステムでは、ターボ分子ポンプ１００には電源兼用コントローラ１０５から駆動電力を供給し、ドライ真空ポンプ１１０には電源装置１１３から駆動電力を供給している。即ち、ターボ分子ポンプ１００と、ドライ真空ポンプ１１０はそれぞれ別個の電源装置から駆動電力を供給している。
【０００３】
図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ターボ分子ポンプシステムは、力率改善のためのＰＦＣ回路２０１、整流器２０３と平滑コンデンサ２０５、２０６を具備する直流回路２０２、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８、コントローラ２０９、ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２、開閉器２１４、回生電力消費抵抗器２１５を備えている。
【０００４】
そして交流電源２２０からの交流電力をＰＦＣ回路２０１を通して整流器２０３に供給し、該整流器２０３で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２０２を介してターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１でコントローラ２０９の制御により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２に供給し、ターボ分子ポンプ１００を運転している。また、直流回路２０２の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ２０８を介して所定電圧の直流に変換され、コントローラ２０９やターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１の制御電源として供給されている。
【０００５】
ターボ分子ポンプ１００の運転中に、交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、開閉器２１４を閉じ、ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１を介して直流電力に変換し、回生電力をターボ分子ポンプ全体の制御電力として利用することで、安全に減速・停止するように構成されている。また、正常運転中にあってポンプ停止工程に入った場合は、前記同様ターボ分子ポンプ１００のポンプロータが有する回転エネルギーを直流電力に変換後、回生電力消費抵抗器２１５に通電し、熱エネルギーとして消費することにより、ターボ分子ポンプに回生制動をかけている。
【０００６】
図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。図示するように、ドライ真空ポンプシステムは、全波整流器２２２、平滑コンデンサ２２６を具備する直流回路２２４、ＤＣ／ＤＣコンバータ２２８、コントローラ２２９、ドライ真空ポンプ用インバータ回路２３１、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２を備えている。
【０００７】
そして交流電源２２０からの交流電力を全波整流器２２２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路２２４を介してドライ真空用インバータ回路２３１に供給し、コントローラ２２９の制御によりドライ真空ポンプ用インバー回路タ２３１で所定周波数の交流電力に変換し、ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２に供給し、ドライ真空ポンプ１１０を運転している。
【０００８】
交流電源２２０からの交流電力が遮断した場合、一般的なドライ真空ポンプ１１０は電力遮断直後にドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２の回転駆動を停止する。しかしながら、ターボ分子ポンプ１００は高真空領域で使用することを前提としているため、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２は高速回転で運転しており、急激な回転減速をすることができない。これはターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２の回転保持力を原因とする現象で、一般的にターボ分子ポンプ１００は回転保持力を消費するために減速時ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が発電する回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路２１１で直流電力に変換し回生電力消費抵抗器２１５に通電し熱変換して消費するか、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０８でコントローラ２０９内の駆動電力に変換することで消費している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第４０００６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２が減速完了していない状態で、大気側のドライ真空ポンプ１１０が停止してしまうと、ターボ分子ポンプ１００の排気側圧力が急激に変動するため、ターボ分子ポンプ１００が破損する等の危険性がある。即ち、基本的にはターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転されることが求められる。
【００１１】
一方、ドライ真空ポンプ１１０（ドライ真空ポンプ駆動用電動機２３２）とターボ分子ポンプ１００（ターボ分子ポンプ駆動用電動機２１２）が同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて、停電等により電源の遮断が発生した場合、回生電力を用いた予備電源に切り替わるターボ分子ポンプに比べ、ドライ真空ポンプでの減速停止は、電源遮断直後に回避することはできないから、ターボ分子ポンプ１００が停止するまで、ドライ真空ポンプ１１０は継続して運転させることができない。
【００１２】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムにおいて停電等により電源の遮断が発生した場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステム、及びその運転方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に、交流電源の交流電力が遮断された場合、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、直流回路に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成したことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムにおいて、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムの運転方法において、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記真空ポンプシステムの運転方法において、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、ターボ分子ポンプの回生電力をドライ真空ポンプの動力として利用することで、回生電力を熱変換することなく消費することが可能となるため、ポンプコントローラ内の温度を上昇させることなく安全に且つ短時間に両ポンプを減速させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力をドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させるので、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は従来の真空ポンプシステムの概念図である。
【図２】図２は従来のターボ分子ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。
【図３】図３は従来のドライ真空ポンプシステムの構成例を示すブロック図である。
【図４】図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。
【図５】図５は電源兼用コントローラのシステム構成を示すブロック図である。
【図６】図６は交流電力遮断時の電源兼用コントローラの動作を説明するための図である。
【図７】図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図である。
【図８】図８は本発明に係る真空ポンプシステムで運転中のターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプへの駆動電力が同時に遮断された場合の減速回転数レートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。図４は本発明に係る真空ポンプシステムの概念図である。図示するように、本真空ポンプシステム１０はターボ分子ポンプ１２と、ドライ真空ポンプ１４を備え、ターボ分子ポンプ１２の排気口１６とドライ真空ポンプ１４の吸気口１８を排気管２０で接続し、反応チャンバー２２の排気口にターボ分子ポンプ１２の吸気口を接続し、反応チャンバー２２内を排気真空にする真空ポンプシステムである。ターボ分子ポンプ１２は排気系の真空側に接続され、ドライ真空ポンプ１４は排気系の大気側に接続されている。ターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４は１個の電源兼用コントローラ２４で制御され、且つ駆動電力が供給されるようになっている。なお、２３、２５は電源兼用コントローラ２４からターボ分子ポンプ１２及びドライ真空ポンプ１４との間で制御信号や駆動電力を送受するためのケーブルである。
【００２１】
図５は電源兼用コントローラ２４のシステム構成を示すブロック図である。電源兼用コントローラ２４は、力率改善のためのＰＦＣ回路２６、整流器３２と平滑コンデンサ２８、３０を具備する直流回路３４、ＤＣ／ＤＣコンバータ３６、コントローラ３８、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を備えている。
【００２２】
そして交流電源５０からの交流電力をＰＦＣ回路２６と通して整流器３２に供給し、該整流器３２で直流電力に変換し、該直流電力を直流回路３４を介してドライ真空ポンプ用インバータ回路４０、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給している。該ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０及びターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流回路３４からの直流電力をコントローラ３８の制御により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれドライ真空ポンプ駆動用電動機４４及びターボ分子駆動用電動機４６に供給し、ドライ真空ポンプ１４、ターボ分子ポンプ１２を運転している。また、直流回路３４の直流はＤＣ／ＤＣコンバータ３６を介して所定電圧の直流に変換され、制御用電圧としてコントローラ３８やドライ真空ポンプ用インバータ回路４０やターボ分子ポンプ用インバータ回路４２に供給されている。
【００２３】
上記構成の電源兼用コントローラ２４において、ターボ分子ポンプ１２（ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６）及びドライ真空ポンプ１４（ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４）の運転中に、上記電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。
【００２４】
図７はターボ分子ポンプとドライ真空ポンプのポンプ始動時とポンプ減速停止時の加速、減速回転数レートを示す図であり、図７（ａ）はポンプ始動時の加速回転数レートを、図７（ｂ）はポンプ減速停止時の減速回転数レートを示す。通常はドライ真空ポンプを先に、次いでターボ分子ポンプを始動する。ドライ真空ポンプは図７（ａ）のＢに示すように、時刻ｔ１でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４で駆動電力の供給が開始すると短時間（数秒〜数十秒）で略５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。これに対してターボ分子ポンプは図７（ａ）のＡに示すように、時刻ｔ２でターボ分子ポンプ駆動用電動機４６に駆動電力の供給が開始すると時間ｔの経過に比例し増速し、数分〜１０分程度の時間を経て略２５，０００（ｒｐｍ）の定格回転数に達する。
【００２５】
ポンプ減速停止においては、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しており、ドライ真空ポンプを停止させることができる所定回転数以下に減速するのに時間がかかることから、通常、図７（ｂ）のＡに示すように、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６への駆動電力を時刻ｔ３で停止し、ターボ分子ポンプの回転数が所定回転数以下になった時刻ｔ４でドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力を停止し、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプが略同時に停止するようにしている。従って、ターボ分子ポンプ駆動用電動機への駆動電力停止とドライ真空ポンプ駆動用電動機４４への駆動電力停止を同時にしたのでは、ターボ分子ポンプのロータが高速回転しているうちにターボ分子ポンプ内が大気に開放されることになることになり、ターボ分子ポンプが破損するおそれがある。
【００２６】
本電源兼用コントローラ２４では、上記のようにターボ分子ポンプ駆動用電動機４６及びドライ真空ポンプ駆動用電動機４４の運転中に、電源装置に供給される交流電力が遮断された場合、図６の太い破線で示すように、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給すると共に、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介して所定周波数の交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、図８のＡ、Ｂに示すように、ターボ分子ポンプの減速工程とドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させることなく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを安定して停止させることができる。
【００２７】
図８において、時刻ｔ１で交流電力が遮断されると、ターボ分子ポンプ１２のポンプロータの回転エネルギーにより、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２で直流電力に変換し、更にドライ真空ポンプ用インバータ回路４０で交流電力に変換しドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給するので、Ｂに示すように、ドライ真空ポンプ１４の回転数ＮＤはターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴが所定回転数に減速される時刻ｔ２まで略定格回転数に維持され、それ以降急激に減速され停止する。また、ターボ分子ポンプ１２の回転数ＮＴは回生電力をドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給することにより、強い回生制動がかかりＡに示すように時刻ｔ１以降急勾配で減速され停止する。
【００２８】
上記のように、本真空ポンプシステムでは、電源装置に入力される交流電力が予期せず停止した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、直流回路３４に供給することで、真空ポンプシステム全体を制御する制御電源のみならず、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４も駆動することが可能となる。即ち、真空ポンプシステムの電源が停止した場合、本来ターボ分子ポンプより後に停止することが望まれるドライ真空ポンプの駆動電力を、ターボ分子ポンプの回生電力を利用することで、ドライ真空ポンプの回転維持が期待でき、且つ回生電力を電気熱変換する特殊な放熱素子を削減或いは減少させることができる。
【００２９】
なお、真空ポンプシステムでは、制御部及び電源装置が一体であればよく、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプの駆動用電動機本体は一体であっても、別体であってもよい。
【００３０】
以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお、直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本願発明の作用効果を奏する以上、本願発明の技術範囲である。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、真空ポンプシステムのターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプの運転中に交流電力が遮断した際、ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーによりターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力でドライ真空ポンプ駆動用電動機を駆動するので、ターボ分子ポンプ及びドライ真空ポンプを連動して減速し、停止することになり、ドライ真空ポンプの急減速による大気解放とその大気解放によるターボ分子ポンプの故障を未然に防止することができるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを備えた真空ポンプシステムを提供できる。
【符号の説明】
【００３２】
１０ 真空ポンプシステム
１２ ターボ分子ポンプ
１４ ドライ真空ポンプ
１６ 排気口
１８ 吸気口
２０ 排気管
２２ 反応チャンバー
２３，２５ ケーブル
２４ 電源兼用コントローラ
２６ ＰＦＣ回路
２８ 平滑コンデンサ
３０ 平滑コンデンサ
３２ 整流器
３４ 直流回路
３６ ＤＣ／ＤＣコンバータ
３８ コントローラ
４０ ドライ真空ポンプ用インバータ回路
４２ ターボ分子ポンプ用インバータ回路
４４ ドライ真空ポンプ駆動用電動機
４６ ターボ分子ポンプ駆動用電動機
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、
前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に、前記交流電源の交流電力が遮断された場合、前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、前記直流回路に供給すると共に、前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成したことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプシステムにおいて、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項３】
排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムの前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に前記交流電力が遮断した際、前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力を前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させることを特徴とする真空ポンプシステムの運転方法。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプシステムの運転方法において、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする真空ポンプシステムの運転方法。
【請求項１】
排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換し、直流回路に供給し、該直流回路に並列に接続されたターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路により所定周波数の交流電力に変換し、それぞれ前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムであって、
前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に、前記交流電源の交流電力が遮断された場合、前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、前記直流回路に供給すると共に、前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成したことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプシステムにおいて、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動を発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させる制御手段を設けたことを特徴とする真空ポンプシステム。
【請求項３】
排気系の真空側に配置したターボ分子ポンプと、該排気系の大気側に配置したドライ真空ポンプとを備え、交流電源からの交流電力を整流器で直流電力に変換して直流回路に供給し、該直流回路から直流電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路に供給し、該ターボ分子ポンプ用インバータ回路と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路でそれぞれ所定周波数の交流電力に変換し、前記ターボ分子ポンプを駆動するターボ分子ポンプ駆動用電動機、前記ドライ真空ポンプを駆動するドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給するように構成された真空ポンプシステムの前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプの運転中に前記交流電力が遮断した際、前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプを停止させる真空ポンプシステムの運転方法であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプロータの有する回転エネルギーにより前記ターボ分子ポンプ駆動用電動機で発電される回生電力を前記ターボ分子ポンプ用インバータ回路を介して直流電力に変換し、該直流電力を前記ドライ真空ポンプ用インバータ回路を介して所定周波数の交流電力に変換し前記ドライ真空ポンプ駆動用電動機に供給して、前記ターボ分子ポンプ及び前記ドライ真空ポンプを連動させて減速し、停止させることを特徴とする真空ポンプシステムの運転方法。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプシステムの運転方法において、
前記ターボ分子ポンプの減速工程と前記ドライ真空ポンプの減速工程で、各々の減速レートを連動して制御し、真空領域から大気圧領域に至る圧力レートに大きな変動発生させず、前記ターボ分子ポンプと前記ドライ真空ポンプを安定して停止させることを特徴とする真空ポンプシステムの運転方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−６９２９４（Ｐ２０１１−６９２９４Ａ）
【公開日】平成２３年４月７日（２０１１．４．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２２０９０９（Ｐ２００９−２２０９０９）
【出願日】平成２１年９月２５日（２００９．９．２５）
【出願人】（００００００２３９）株式会社荏原製作所 (1,477)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月７日（２０１１．４．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月２５日（２００９．９．２５）
【出願人】（００００００２３９）株式会社荏原製作所 (1,477)
【Ｆターム（参考）】
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