【課題】ポンプ分離履歴を容易に検出することができ、安全な状態に管理することが容易にできる電源一体型真空ポンプの提供。
【解決手段】ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離可能に固定された電源一体型真空ポンプにおいて、ポンプユニット２０は、分離判定用データが記憶されたＲＦＩＣタグ４４を備え、コントロールユニット３０は、ＲＦＩＣタグ４４に記憶されたデータを読み取るリーダ３５と、リーダ３５によるデータの読み取りができなかったときに分離情報として分離フラグＯＮを保持する記憶部３５ａとを備え、主制御部３１は電源投入時に記憶部３５ａに分離フラグＯＮが保持されている場合に、ポンプユニット２０の起動を禁止する。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
コネクタ直近の主ケーブル端に板金加工等で作製する一定形のシールド筐体を不要とし、ケーブル組立品の製造コストを低減し、コネクタ締結・開放作業を簡素化し、かつシールド効果を改善できる可撓性のケーブル配設構造を提供する。
【解決手段】
主ケーブル９Ｎの端部でシールド１８を半開し信号伝達用芯線１４を取り出し制御コネクタ８に接続する。電力供給用芯線１５はシールド１８とともに折返し、シールド１８は分岐ケーブル１１Ｎのシールド１９Ｎとして利用する。電力供給用芯線１５は分岐ケーブル１１Ｎを介して電力コネクタ５に接続する。各芯線の露出部分および露出部分から制御コネクタ８に至る部分はシールド３２およびジャケット３１で被覆し、可撓性と密接性を確保する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体に対する制御ユニットの取り付け位相を容易に変更できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、磁気軸受で軸支される回転体を有するポンプ本体と、ポンプ本体の下面に取り付けられ、ポンプ本体を駆動制御する制御ユニットと、ポンプ本体と制御ユニットとの間で電力や制御信号を入出力するコネクタであって、ポンプ本体側の第１のコネクタ部材と制御ユニット側の第２のコネクタ部材とを有するコネクタ装置と、第１のコネクタ部材が設置され、ポンプ本体のポンプ軸心と同軸状態で取り付けられる部材であって、少なくとも第１の取り付け位相および第２の取り付け位相でポンプ本体に取り付けられるコネクタ取り付け部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】モータ電流の高調波成分を低減することができる、真空ポンプ用モータ駆動装置の提供。
【解決手段】排気機能部としての回転翼およびネジロータが形成されたロータをモータで回転駆動して排気を行うターボ分子ポンプのモータ駆動装置において、モータを駆動するインバータ４３と、インバータ４３のインバータ入力電圧として、異なる複数の設定電圧を有する直流電圧源としてのＤＣ／ＤＣコンバータ４１と、モータ負荷情報に応じてＤＣ／ＤＣコンバータ４１の設定電圧を切り換える電圧切換手段としてのモータ制御回路４４とを備え、モータ制御回路４４は、モータの回転数が所定の目標回転数に維持されるようにＰＷＭ信号のデューティ比を設定し、インバータ４３をＰＷＭ制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】電源ユニットの大型化を防止しつつ、装置側の漏電遮断器が動作するのを防止することができるターボ分子ポンプ。
【解決手段】回転翼を有して高速回転するロータを具備するポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御する電源ユニットと、ポンプユニットを加熱するヒータ４１とを備えたターボ分子ポンプにおいて、外部電源６０からヒータ４１へ供給される電流とヒータ４１から外部電源６０に戻る電流との差分に基づいて、ヒータ４１の漏電を検知し、差分が通電停止判定値以上になった場合に、外部電源６０からの電力をヒータ４１に供給する電力ライン上に設けられたリレー５４を開いてヒータ４１への通電を停止し、検知された漏電が真の漏電と判定されるとリレー５４の開状態を維持し、偽の漏電と判定されるとリレー５４を再び閉じてヒータ通電を行わせる。 （もっと読む）

【課題】ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムの電源遮断の場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステムを提供すること。
【解決手段】ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプとを備え、交流電源５０からの交流電力を直流電力に変換し、ターボ分子ポンプ用インバータ回路４２と、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０により所定周波数の交流電力に変換し、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６、ドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する真空ポンプシステムであって、運転中に交流電源５０が遮断した場合、ターボ分子ポンプ駆動用電動機４６で発電される回生電力をターボ分子ポンプ用インバータ回路４２を介して直流電力に変換し、ドライ真空ポンプ用インバータ回路４０を介してドライ真空ポンプ駆動用電動機４４に供給する。 （もっと読む）

【課題】ＰＷＭスイッチング周波数成分に起因するモータ発熱を抑えることができるターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成されたロータを３相ＤＣブラシレスモータ(36)で回転駆動するポンプ本体と、３相ＤＣブラシレスモータ(36)をＰＷＭ制御により駆動するモータ駆動装置(40)と、モータ電力ラインに設けられ、３相ＤＣブラシレスモータ(36)に供給される電力のＰＷＭスイッチング周波数成分を低減するフィルタ回路(50U,50V,50W)とを備えたことにより、ＰＷＭスイッチング周波数成分に起因するモータ発熱を低減することができる。特に、フィルタ回路(50U,50V,50W)にＬＣ並列共振回路を用いることで、ＰＷＭスイッチング周波数近傍の周波数成分の低減効果を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】外部装置により制御やモニタをするような使い方をする場合において、使い勝手の良い真空ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成された回転体をモータ１１により高速回転して真空排気するポンプ本体１と、モータ１１を駆動制御する電源装置２とを備える真空ポンプであって、電源装置２は、外部装置３によりポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うための通信インターフェース２４と、通信インターフェース２４を介してポンプ制御状態のモニタおよび起動停止等のポンプ制御を行うためのソフトウェアを、予め記憶保持している記憶媒体２３とを備え、記憶媒体２３に記憶保持されたソフトウェアを、通信インターフェース２４を介して外部装置３に出力することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置コストを抑えつつ、高調波成分の低減を図ることができる３相ブラシレスＤＣモータを備えたターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】回転翼が形成されたロータを回転駆動する３相ブラシレスＤＣモータと、ロータの回転に同期した回転パルスを発生する回転検出部(701)と、スイッチング素子(Tr1〜Tr6)をオンオフして直流を３相交流に変換し、その３相交流を３相ブラシレスＤＣモータに供給するインバータ回路(72)と、回転パルスの立ち上がりを基準としてロータ１回転分のＰＷＭ出力値を算出する演算手段(703)とを備え、演算手段(703)は、モータ電気角の３６０度を複数の電気角区間に分割し、正弦波状の駆動電流が３相ブラシレスＤＣモータに供給されるように、ＰＷＭ出力値を電気角区間毎に段階的に変化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回生ブレーキ抵抗の設置スペース効率を向上して、電源装置の小型化を図る。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータに設けられた回転翼、回転翼と協働して真空排気する固定翼、およびロータを駆動するモータを少なくとも有するポンプ本体と、モータを回生駆動するときに発生する回生電流を回生ブレーキ抵抗１４ｈで熱エネルギに変換するモータ駆動回路を含む制御装置１４と、制御装置１４を冷却する冷却装置１３とを備える。回生ブレーキ抵抗１４ｈを棒状発熱抵抗体とし、この発熱抵抗体を、制御装置筐体１４０が冷却装置１３と接する端部１４ａの内周面に沿って引き回す。 （もっと読む）

【課題】電源装置の小型化と設定データの確認容易化とを両立させることができる、ターボ分子ポンプ用電源装置の提供。
【解決手段】第１の色および第２の色のいずれか一方で選択的に発光可能な１つのＬＥＤ３０５を備え、ターボ分子ポンプ運転に関する設定値および該設定値に対して付与された項目番号から成る設定データを、第１の色で点灯および消灯を行う第１の発光パターンで項目番号を表示すると共に、第２の色で点灯および消灯を行う第２の発光パターンで設定値を表示するようにしたので、電源装置の小型化と設定データの確認容易化とを両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】結露発生時にはターボ分子ポンプを自動的に停止させることができるターボ分子ポンプ駆動制御用電源装置の提供。
【解決手段】電源回路４０は、電源電圧を複数の抵抗器４０１，４０２で分圧して帰還電圧を取り出し、その帰還電圧が所定の基準電圧V0と等しくなるように電源電圧を制御する。そして、電源電圧出力と帰還電圧の取り出し位置との間に、すなわち電源出力側の抵抗器４０１と並列に結露センサ４４を設ける。結露センサ４４は隙間ｄで配置された一対の電極４４１，４４２を備え、結露の発生によりその絶縁抵抗が低下する。その結果、電源電圧が基準電圧V0付近まで低下して電源回路４０はシャットダウン状態となり、ターボ分子ポンプの運転は自動的に停止される。 （もっと読む）

【課題】ポンプ本体が取付けられる装置には、ポンプ本体以外にも周辺機器が配置されているため、それらと干渉しないように装置チャンバに取り付ける必要があり、取り付け姿勢に制約があった。ポンプ本体と一体となった電源装置の、表示部、操作スイッチおよび接続コネクタ類が設けられたパネル面の表示の視認や操作スイッチの操作などを容易にする。
【解決手段】電源装置１０は、第１の回路ユニット１１と第２の回路ユニット１２とを備えている。第１の回路ユニット１１は、外部から電力が入力される入力端子１３１が設けられ、ポンプユニット１に対して所定の向きで固定されている。第２の回路ユニット１２は、操作パネル面１２ｂが設けられ、その操作パネル面１２ｂの向きが異なる複数の接続形態で第１の回路ユニットに接続可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数のターボ分子ポンプを同時に駆動する際に電力供給手段からの電力を効率よく最大限に利用する。
【解決手段】電力供給手段１からの電力によって駆動する複数のターボ分子ポンプＴ１〜Ｔ４と、複数のターボ分子ポンプＴ１〜Ｔ４が消費している電力総消費量Ｗｔを求める電力量取得手段６と、電力量取得手段６により求められた電力総消費量Ｗｔが予め定めた設定値Ｗｓを超えないように各ターボ分子ポンプＴ１〜Ｔ４への供給電力を制御する電力制御手段４とを備える。 （もっと読む）

【課題】電源装置内部の結露を防止することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプ本体２と一体的に設けられた電源装置３の内部に結露センサ７を設ける。結露センサ７が電源装置内部の結露を検出すると、ＣＰＵ８は、冷却水バルブ６を閉じる。そして、冷却水路５を通じて電源装置内部を流通している冷却水の流れを停止させる。 （もっと読む）

【課題】コスト的に有利に且つ容易に製造可能な、電子部品および付属のリード線を含む真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、ハウジング部分（２）と、電子部品（３、６、１３、１６）と、およびこれらに通じている電子リード線（４、７、１４、１７）と、を備えた真空ポンプ（１）に関するものである。コスト的に有利に且つ容易に製造可能な真空ポンプを提供するために、前記ハウジング部分内に、前記リード線の長さの少なくとも一部がその中を伸長するリング状通路（５）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】位相合わせ作業を必要とせず、組み立て作業の効率化を図ることができる真空ポンプ装置の提供。
【解決手段】ポンプユニット１には、モータロータ６２のロータ磁極位置とギャップ変化部４６ｃの位置とに関する位相差に対応した位相差情報を保持する保持手段４８が設けられている。保持手段４８、例えば、可変抵抗の抵抗値として位相差情報を保持する。
制御ユニット２は、保持手段４８に保持された位相差情報に基づいてモータロータ６２の回転を駆動制御する。 （もっと読む）