互いに相対的に回転する第１の表面および第２の表面のそれぞれの開口が整列されるとき、入口から出口に少なくとも周期的に流体流れをもたらす、具体的には回転タイミング弁であってよい回転供給継手であって、気体軸受が第１の表面と第２の表面の間に軸受力をもたらすように構成される、回転供給継手が提供される。 （もっと読む）

【課題】 摺動部材およびこれを用いた弁体およびフォーセットバルブの摩擦係数を小さくする。
【解決手段】 互いに摺動し合うための第１摺動体２ａおよび第２摺動体２ｂを備えた摺動部材３０であって、第１摺動体２ａおよび第２摺動体２ｂのそれぞれの摺動面が、多数の開口を有し気孔率１５％以下の炭化珪素を主成分とするセラミック体からなり、多数の開口のうち円相当径が１５μｍを超える開口を対象とした第１摺動体２ａと第２摺動体２ｂの開口面積比率の差が０．１〜１２％である摺動部材とする。 （もっと読む）

【課題】回転弁体の回転トルクをモニタすることで微少な回転異常を検出可能とする。
【解決手段】流体を供給または排気する切替用通孔１０６，１０７を有し相対回転する回転弁体１００において、回転する移動弁体１０１側に孔１０５を介して、駆動力を伝達するピン１０５Ａの長手方向に歪みを検出する歪みセンサ２０１を設ける。歪み検出器２０２とケーブル２０３を通じて歪み検出機構（歪み検出器２０２、警報手段２０４）を構成する。回転弁体１００の摺動面１０３，１０４に焼き付きなどの異常発生時、歪みセンサ２０１の歪み値に変化が生じ、回転異常を検出できる。警報手段２０４は歪み検出器２０２を介した異常検出時に警報を発報、または駆動停止手段（図示せず）により駆動手段（図示せず）を停止する。ピン１０５Ａの歪みを検出し、回転トルクの変化をモニタすることで摺動面１０３，１０４での損傷に起因する異常を高精度で検出できる。 （もっと読む）

【課題】揺動形のゲートバルブにおけるバルブプレートを揺動させるための揺動装置を、構造が簡単で耐久性に勝れると共にハウジングに省スペース的に付設することができるようにする。
【解決手段】バルブプレート２を揺動させる揺動装置８を、ハウジング１の側面に配設されたアクチュエータ２８と、該アクチュエータ２８から延出して先端部が上記ハウジング１の内部に進入し、上記アクチュエータ２８でバルブプレート２と平行な方向に直線的に往復駆動される操作ロッド３３と、上記バルブプレート２に形成されたカム溝３８と、上記操作ロッド３３に取り付けられて該カム溝３８内に変位自在なるように嵌合し、該カム溝３８と協同して上記操作ロッド３３の直線運動をバルブプレート２の揺動運動に変換するカム軸３９とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を行うチャンバーに用いられる圧力制御バルブにおいて、シール部材の長寿命化を達成することができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】 チャンバー１１側と排気装置５３，５４側とを連通する開口６１ｂを備えた弁ボディ６１と、前記開口を閉止する封止用弁体６２と、該封止用弁体に設けられたシール部材６２ａ及びその外側の保護シール６２ｂと、前記開口６１ｂを所定の開度だけ開口するシール部材を持たない制御用弁体６３と、を設け、プラズマ処理をする場合は、開口を制御用弁体で所定の開度にし、封止用弁体６２は、弁退避部に退避させておく。弁退避部では、保護シールの内側にシール部材が密封されるので、シール部材はプラズマやラジカルに曝されない。 （もっと読む）

【課題】ロータの耐久性を向上させる。
【解決手段】流路切換えバルブは、接触平面１３をもつステータ１１と接触平面１７をもつロータ１５を備えている。ステータ１１は複数の流路のそれぞれに接続される流通口１９をその接触平面１３にもち、ロータ１５はステータ１１の流通口１９の内の２つを連通させる少なくとも１つの溝２１をもち、ステータ１１の接触平面１３に付勢され、連通すべきステータ１１の流通口１９を切り換えるように回転摺動する。本発明では、ステータ１１とロータ１５の接触平面の一方は樹脂製であり、他方には窒化クロム膜が被膜されている。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ確実に開口部を開閉することができるとともに、装置全体を小さくするゲートバルブを提供する。
【解決手段】仕切壁とほぼ垂直な内壁面を有する側壁に支持されて、仕切壁に沿って進退移動するシャフト部材２１と、シャフト部材２１の先端部に設けられるスライダ部材２２と、スライダ部材２２に相対移動可能に支持されて、開口部の開閉を行うシャッタ部材２３と、シャッタ部材２３がシャフト部材２１から受ける力を用いて、シャッタ部材２３を開口部の開口方向に沿って移動させる移動変換機構と、を備え、シャフト部材２１の進行移動により、スライダ部材２２が内壁面に押圧固定された後に、シャッタ部材２３がシャフト部材２１から押圧力を受けて、移動変換機構により開口部に向かう方向に移動して、開口部を閉じることを特徴とする。移動変換機構が傾斜面であってもよい。 （もっと読む）

【課題】高圧気体が長期間にわたり停止される閉塞状態が維持されうる、コンパクトで優れた真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブケース（１）を備え、バルブケース（１）の対向する壁（４）（５）には入口開口部（２）および出口開口部（３）が設けられ、入口開口部（２）の周囲にはバルブシート（６）が設けられている。調整ピストン（１５）の出口開口部（３）に対向する側に一または複数のタペット（１８）が取り付けられている。調整ピストン（１５）が待機位置から動作位置に動くとき、タペット（１８）は開閉ユニット（８）の内部空間（１６）から開口部を通じて押し出される。タペット（１８）はバルブプレート（９）をバルブシート（６）に当接させるために出口開口部（３）の近傍領域において直接的または間接的にバルブケース（１）に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】プロテインスキマー内の海水または淡水中から分離されて出る汚染を含んだ泡沫を十分に収集して排出することができ、泡沫排出レベル自動昇降制御装置の提供。
【解決手段】本体を含み、前記本体上に泡沫収集口、泡沫排出口、泡沫ガイド通路が設けられ、そのうち、前記本体に水または泡沫の浮力に基づき上下に浮動するフロートが設置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】止水栓の二次側流路に水が残らないようにする。
【解決手段】止水栓１の止水弁体４よりも流出口６側の流路から、止水栓本体２外に通じる排水路１３を設けて、閉栓状態において排水路１３を介して止水弁体４よりも流出口６側の流路の水を管外へ排出させる機能を備えた止水栓において、前記排水路１３を、前記流出口６側の流路の下部から引き出して止水栓本体２の下部に設けた排水口１１へ導き、その排水口１１に開閉自在のドレン弁１０を設けた。止水弁体４はスピンドル７の回転操作により回転して前記流路を開閉し、前記ドレン弁１０は前記止水弁体４とともに回転して、前記流路の閉栓状態で排水口１１を開放し、流路の開栓状態で排水口１１を閉塞させる。排水路１３が、二次側流路より低くなるので、止水栓１の二次側流路に水が残ることを防止し得る。また、ドレン弁１０の動作が、止水栓１の開閉動作に連動するのでその操作を省くことができ便利である。 （もっと読む）