【課題】 高い正確さで校正を施すことができる電−空変換装置の構成方法を提供する。
【解決手段】 ポジショナフィードバックリンケージを事前設定基準位置にくるまで調整する段階と、ポジションフィードバック値を読み取り、必要なフィードバック線形値を求めて、出力／入力間の関係を線形にする段階とを含む、電−空ポジショナの線形化、並びに、初期校正シーケンス、コンフィギュレーションシーケンス、および動作シーケンスを含み、マイクロプロセッサをベースとする電−空コンバータ装置に用いる校正方法と、校正から独立したコンフィギュレーション方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造、安価で個々のセンサチップのＯＫまたはＮＧ判定を行うことができる。
【解決手段】この発明に係るセンサチップの破壊強度検査装置は、ダイヤフラム部３を有する複数のセンサチップ２９が配列された半導体ウエハ８におけるセンサチップ２９の破壊強度検査を行うセンサチップの破壊強度検査装置において、半導体ウエハ８を載置するステージ２３と、センサチップ２９の規格破壊強度相当の圧力の媒体をセンサチップ２９に噴射するノズル２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 差圧・圧力伝送器をオンライン状態のままで、特別な水素透過量の測定装置を必要とせずに水素透過量を予測演算できる診断装置を実現する。
【解決手段】 プロセス流体の圧力を、プロセス隔膜を介して受圧する差圧・圧力伝送器を診断する診断装置であって、
前記プロセス流体の温度及び圧力並びに前記プロセス隔膜の水素透過係数に基づき、前記プロセス隔膜の水素透過量を実時間で演算する水素透過量演算手段を備える。 （もっと読む）

【課題】絶対校正と比較校正とをＩｎ−Ｓｉｔｕ状態で一つの装置にて校正が可能になるようにする。
【解決手段】本発明は、体積が互いに異なる真空チェンバーへ気体を順次的に拡張させ、真空チェンバーの圧力を計算する静的法標準器で絶対校正された基準真空ゲージを用いて真空ゲージの移動なく、Ｉｎ−Ｓｉｔｕ状態でオリフィス気体流れ制御方法に従って真空ゲージの比較校正が可能な装置の開発に関し、細部技術としては、静的法による基準真空ゲージ絶対校正と、オリフィス気体流れ制御方法による真空ゲージ比較校正結合技術、低真空から高真空領域までの基準圧力発生技術、及び校正技術、オリフィス気体流れ安定化方法による真空ゲージ比較校正に関する技法を含む。本発明は、真空ゲージの絶対校正と、比較校正とがそれぞれ別の装置のみで可能であったことを２つの校正装置を結合した新たな装置の開発のため、校正時間短縮と、移動校正などの校正效率の向上に関するものである。 （もっと読む）

【課題】 筒内圧力センサをエンジンに装着した状態で校正ができる筒内圧力センサの校正装置を提供する。
【解決手段】 エンジン１の筒２内に設置された筒内圧力センサ３と、エンジン１の筐体外部に取り付けられた振動（加速度）センサ４とを備え、上記筒内圧力センサ３が出力する筒内圧力検出信号と上記振動センサ４が出力する振動加速度信号の積分値とを比較し、その比から上記筒内圧力センサ３が出力する筒内圧力検出信号の校正を行う。 （もっと読む）

【課題】導圧管の両詰まり判定に加え、高圧側導圧管及び低圧側導圧管の詰まりを識別して判定可能な導圧管の詰まり診断機能付き差圧測定装置を提供する。
【解決手段】前記導圧管が正常なときにおける前記診断信号に対する前記差圧伝送器の差圧変化出力を取得して基準データとして保持する基準データ保持手段と、診断のときにおける前記診断信号に対する前記差圧伝送器の差圧変化出力を取得して測定データとして保持する測定データ保持手段と、前記基準データ及び測定データ並びに設定されたパラメータに基づいて前記導圧管の詰まり状態を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする導圧管の詰まり診断機構付き差圧測定装置。 （もっと読む）

【課題】 作動流体の圧力を制御する際に圧力センサの誤差の影響を小さくする。
【解決手段】 作動流体圧力制御装置１０は、第１の初期補正圧力下で出力特性が設定され、第１の対象物に供給される作動流体の圧力を測定する左前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＬと、第１の初期補正圧力とは異なる第２の初期補正圧力下で出力特性が設定され、第２の対象物に供給される作動流体の圧力を測定する右前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＲと、ＷＣ圧力センサ４４ＦＬ、４４ＦＲの双方に第２の初期補正圧力が作用するときの左前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＬの出力に基づいて左前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＬの出力特性を補正し、ＷＣ圧力センサ４４ＦＬ、４４ＦＲの双方に第１の初期補正圧力が作用するときの右前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＲの出力に基づいて右前輪ＷＣ圧力センサ４４ＦＲの出力特性を補正するＥＣＵ２００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 上流側吸気圧センサと下流側吸気圧センサと大気圧センサの異常の有無を精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 エンジン停止中に、上流側吸気圧センサ１５の検出値と下流側吸気圧センサ１９の検出値と大気圧センサ３５の検出値とを比較して、３つの圧力センサ（上流側吸気圧センサ１５と下流側吸気圧センサ１９と大気圧センサ３５）の異常の有無を判定する。エンジン停止中には、吸気管１２内の圧力がほぼ大気圧となっているため、３つの圧力センサが全て正常の場合には、３つの圧力センサの検出値がほぼ同じになり、いずれか１つの圧力センサが異常になれば、その異常な圧力センサの検出値が他の２つの正常な圧力センサの検出値と異なってくる。従って、エンジン停止中に、３つの圧力センサの検出値を比較すれば、３つの圧力センサの異常の有無を精度良く判定することができる。
（もっと読む）

【課題】 誤診がない詰まり診断機能付き圧力伝送器及び圧力伝送器の詰まり診断方法を簡便に提供する。
【解決手段】 プラントからの導圧管の圧力が入力されるセンサと、前記センサが生成する電気信号から圧力値を演算する圧力演算部と、前記圧力値の揺動の分散を演算する統計演算部と、前記統計演算部の演算結果に基づき前記導圧管の詰まりを診断する詰まり判定部とを備えた詰まり機能付き圧力伝送器において、前記演算結果を格納する演算結果格納部と、前記演算結果格納部に格納された値が所定の値よりも小さいときに診断不可の判定をする診断可否判定部と、前記診断不可のときに、前記詰まり判定部の判定結果を無効にするアラーム処理部とを備えることを特徴とする詰まり機能付き圧力伝送器。 （もっと読む）

【課題】 導圧管の詰まりが、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供する。
【解決手段】 高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。 （もっと読む）