【課題】小型化、構造の簡略化、および低コスト化を図ることができる差圧測定用の均圧弁、および、差圧式流量計の提供。
【解決手段】差圧式流量計に組み込まれた均圧弁３５では、第１導入路３６１が弁棒３５１の軸方向に沿って延びており、弁棒３５１の軸周りに設けられたテーパ部３５１Ｈを軸方向に沿って進退させることで差圧状態から均圧状態へと切り替えられる。ここで、弁棒３５１の進退する区間が、均圧に用いられる弁通路３５２と互いに重なっているぶん、均圧弁３５の小型化を図ることができる。この小型化により、第１導出路３７１と第２導出路３７２との距離が短くなるので、これらの第１導出路３７１と第２導出路３７２との間の流れの遅延による圧力のムラを小さくできる。また、均圧弁３５の弁体は、テーパ部３５１Ｈのように簡略な構造であるため、組み立ても容易であって信頼性および低コスト化に寄与できる。 （もっと読む）

【課題】精度や信頼性がより高い、絶対圧測定用の静電容量型圧力センサ及びその真空室の真空度を評価する評価方法を提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム３の圧力により変位する可動電極６と、該可動電極６に対向して設けられた固定電極５とを真空室内４に備え、該可動電極６と該固定電極５との間の静電容量を計測することにより、ダイヤフラム内の圧力を計測する静電容量型圧力センサにおいて、前記真空室内４に外部に端子が引き出される一対の真空度計測用端子７ｃ、７ｄを設けた。真空度計測用端子７ｃ、７ｄの一方に高電圧を印可し、他方の電極から放電電流を計測することにより、真空室４内の真空度を計測して真空度を評価する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】テスト音波をスピーカ２から出力する。スピーカ２から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化を、プローブ針４を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部２０は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】センサの出力特性の変動を吸収し、異常検知の精度を向上させることを可能とする異常検知手法を提供する。
【解決手段】本発明は、内燃機関の燃焼室の筒内圧力を検出する圧力検出手段（センサ）と、内燃機関のクランク角度を検出するクランク角度検出手段と、クランク角度検出手段で検出されるクランク角度に基づいて燃焼室の容積を算出する算出手段と、算出された容積を含む演算式により前記内燃機関のモータリング圧力を推定する推定手段と、内燃機関の圧縮行程において、前記圧力検出手段で検出される圧力と、推定手段で推定されるモータリング圧力との偏差に基づいて、該偏差を最小とするための補正パラメータを同定する同定手段と、燃料カット時に、補正パラメータに基づいて圧力検出手段の異常を検知する異常検知手段と、を備える、圧力検出手段の異常検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】テスト音波をスピーカ２から出力する。スピーカ２から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。可動部の動きによって、可動部に配置された電極ＥＤｂと検出回路ＣＳ１，ＣＳ２との間の静電容量が変化する。検出回路ＣＳ１，ＣＳ２が検出した静電容量により、３軸加速度センサの特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、空気入りタイヤの内圧を測定するセンサが異常であるか否かを利用者に知らせることができる。
【解決手段】本発明は、空気入りタイヤ１０の内圧を測定可能な少なくとも２つのセンサ１０１ａ，１０１ｂにより出力された信号に対応する圧力値を検出するセンサ異常判定部２０７と、センサ異常判定部２０７による判定結果を出力する出力部２０９とを備えている。このセンサ異常判定部２０７は、各圧力値の差分が閾値を超えていない場合には、全てのセンサ１０１ａ，１０１ｂが異常でないと判定し、各圧力値の差分が閾値を超えている場合には、いずれかのセンサ１０１ａ，１０１ｂが異常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】センサの出力特性の変動を吸収し、異常検知の精度を向上させることを可能とする異常検知手法を提供する。
【解決手段】本発明は、内燃機関の燃焼室の筒内圧力を検出する圧力検出手段（センサ）と、内燃機関のクランク角度を検出するクランク角度検出手段と、クランク角度検出手段で検出されるクランク角度に基づいて燃焼室の容積を算出する算出手段と、算出された容積を含む演算式により前記内燃機関のモータリング圧力を推定する推定手段と、内燃機関の圧縮行程において、前記圧力検出手段で検出される圧力と、推定手段で推定されるモータリング圧力との偏差に基づいて、該偏差を最小とするための補正パラメータを同定する同定手段と、燃料カット時に、モータリング圧力と補正パラメータにより補正された検出圧力とを比較することによって、圧力検出手段の異常を検知する異常検知手段とを備える、圧力検出手段の異常検出装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、航空機の静圧センサの圧力タップの障害物を地上で検知するための方法と装置に関する。装置(１)は、プローブ(４)内の圧力を測定するために設けられており、プローブ(4)を加熱するための加熱システム(９)を有し、この加熱システム(９)が作動すると、プローブ(４)内の圧力に依存する少なくとも１つのパラメータの第１の測定を行い、加熱システム(９)の作動後所定期間中に上記のパラメータの第２の測定を行なう圧力センサ(２)からなる。本発明の装置はまた、第１の測定と第２の測定との差を計算し、この差を所定の値と比較するための少なくとも１つの中央処理ユニット(11)と、上記の差が所定値より大きければ、障害物を検知したこと示す警告信号を出すための警告手段(13)とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ状態での特性がアセンブリ行程により変化することを抑制する微小構造体を有する半導体装置および微小構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微小構造体のチップＣＰが複数形成されたウェハ１００に対して接着層１５を用いてダミーウェハ１０と貼り合わせる。そして、ＭＥＭＳデバイス１は、カッティングしたダミーウェハ１０をチップＣＰの台座としてハウジング部材１１０と接着させることにより、ハウジング部材１１０を用いてパッケージする際の下からの応力等をダミーウェハ１０で吸収する。 （もっと読む）

圧力センサに連結された制御システムが圧力センサを較正する。制御システムは容量値と、比較においてサンプル圧力センサによって生成される第１の較正機構とを比較するために、対応する複数の印加電圧での複数の容量値を測定できる。比較に応答して第１の較正機構を調整することによって最終較正機構を生成できる。未知の差圧が圧力センサのダイアフラムに加えられることができる。次に、未知の差圧での容量を測定できる。最終較正機構を利用して、該測定された容量値での差圧が検索される。
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