フッ素含有種を含むガス、例えばＨＦ、ＮＦ３等でエッチ洗浄を受ける半導体加工用具の流排出物中内のフッ素含有種を検出する（ＭＥＭＳ）をベースとするによるガスセンサアセンブリ。好適な実施形態におけるこのようなガスセアセンブリは、ガス感知材料層と、その上にコーティングされた好ましくは好適にはニッケルまたはニッケル合金とをであるガス感知材料の層がコーティングされた有する自立炭化シリコンケイ素支持構造を備える有する。このようなガスセンサアセンブリは、構造体層を形成するために後で除去可能な犠牲成形型を用いたマイクロ成形技術により好適に作製される。
（もっと読む）

適応フィードバック制御アルゴリズムに従い、素子に供給される電力を調整することによって、素子の電気加熱を制御し、一定した電気抵抗を維持するためのシステムおよび方法であり、ここで、全てのパラメータは、（１）任意に選択されるか、（２）被制御素子の物理的特性によって予め決定されるか、または（３）リアルタイムで測定される。従来の比例−積分−微分（ＰＩＤ）制御機構と異なり、本発明のシステムおよび方法は、異なる被制御素子と関連して用いられるか、または異なる動作条件下で用いられる場合に、比例定数の再調整が必要ではなく、したがって被制御素子および動作条件の変化に適応性がある。
（もっと読む）

ガス流の成分を検知するガスセンサー（１００）は、基板（１５０）を取り付け、第１の濃度範囲内のガス成分を検知することができる第１のガス検知素子（１６０）、第１のガス検知素子（１６０）と一致した電気的特性を持ち、成分に反応しない基準素子（１７０）、第１のガス検知素子（１６０）と基準素子（１７０）を実質的に区切る加熱素子（１８０）、第１のガス検知素子（１６０）と基準素子（１７０）を実質的に区切る温度検知素子（１９０）、及び第２の濃度範囲内のガス成分を検知することができる第２のガス検知素子（２１０）、を備える。第１のガス検知素子（１６０）と基準素子（１７０）は、金属ゲート金属酸化膜半導体（ＭＯＳ）の固体状態装置であることが好ましい。ガスセンサー（１００）は、特にガス流内の水素濃度を検知するように構成される。
（もっと読む）

ガスセンサアセンブリ（１０）は、ガス流中の成分を検知する。アセンブリは、（ａ）設置表面（１５）、（ｂ）設置表面（１５）に設置され、成分の存在下で検知可能な信号を発生することが出来るセンサ（２２）、及び（ｃ）収納構造体（３０）を包含する。収納構造体（３０）は、（ｉ）垂直に間隔を開けた一対の端部を有し、センサ（２２）を囲むために設置表面（１５）上に一方の端部で設置される壁要素（３２）、及び（ii）壁要素（３２）の他方の端部に取付けられ、その結果、前記収納構造体内に内部容積を画定するガス透過膜（３４）を包含する。膜（３４）を通過してガス流を流すことは、センサ（２２）を収納する前記内部容積にガス流の一部分を導入する。
（もっと読む）

【課題】可動部品が無く、設計が単純であり、メンテナンスをあまり必要とせず、安価で、信頼性があり、及び通常は耐熱性及び耐腐食性があるポンプを提供する。
【解決手段】ガスサンプリング又はガス分析システムのためのポンプは、ガス不透過性の壁を有するポンプ本体と、本体内にある電気コイルとを含む。ポンプは、ガスセンサ及びサンプリング又は分析されるガスを収容するガス容積と直列に接続される。コイルに印加される交流又は直流のいずれかの振幅を変化させることによって、コイル温度すなわちポンプ内部のガス温度を変化させることができ、ポンプ内のガス温度が低下する時にポンプに「吸い込み」を起こさせ、ポンプ内のガス温度が上昇する時にポンプに「吐出」を起こさせ、これによってサンプリングのためにガス容積からのガスがセンサ内に周期的に引き込まれ、及びセンサから吐出されるのを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 低廉・コンパクトで、センサ挿着後も点検が容易で、測定ミスの発生が生じにくく、正確な目的ガスのガス濃度の測定ができる接触燃焼式センサ用アルコール除去フィルターを提供する。
【解決手段】 柔軟で伸縮性に富む素材からなり、その伸縮性によりセンサ素子部の採気孔位置に保持されて該採気孔を覆う接触燃焼式センサ用アルコール除去フィルター。 （もっと読む）

【目的】風の影響がなくＳ／Ｎ比に優れるガス検知センサを得る。
【構成】多孔質体からなるフィルタ６２を介して可燃性ガスを拡散させるキャップ６５をガス検知素子と補償素子にかぶせる。 （もっと読む）