【課題】 転動部材に侵入する拡散性水素を精度よく分析することで、鋼材、潤滑油、潤滑添加剤などの耐水素侵入性を評価することができる転動部材への拡散性水素侵入の検出方法および検出システムを提供する。
【解決手段】 試験空間４内の絶対湿度を一定に保持し、前記試験空間４内において転動部材で用いる材料から成る試験片Ｗを、回転定盤５上でアブレシブ摩耗させる摩耗過程と、この摩耗過程の後、前記試験片Ｗから拡散性水素を昇温離脱させて分析する分析過程とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】水素センサは、膜(14)によって閉じられたハウジング(10)を備えており、膜(14)はパラジウムで形成されており、水素のみを選択的に透過させる。ハウジング(10)は排気され、ピラニ圧力センサ(22)を有している。膜(14)及びピラニ圧力センサ(22)は夫々担体(11,12)に取り付けられている。両方の担体(11,12) は、互いに隣接して直接連結されているか、又は連結部分(25)によって距離を隔てて維持されている。水素センサは、比較的大きな膜表面とハウジングの小さな容積とにより高感度であり応答時間が短い。水素センサは、小型に構成されることができ、吸込み式漏れ検出器の操作部に一体化され得る。
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【課題】透湿度もしくは気体透過度の測定限界値をより上げることができる透湿度・気体透過度測定装置を提供すること。
【解決手段】水蒸気もしくは試験気体が導入される雰囲気チャンバ１１と、真空吸引がなされる真空チャンバ１２との間に試料膜Ｓａが挟持される。前記真空チャンバ１２には当該チャンバ内の圧力を検出する圧力検出手段Ｇが配置されると共に、前記試料膜と圧力検出手段との間に、試料膜を透過した水蒸気もしくは試験気体の分子流を断続させて圧力変調を実行するチョッピング手段ＣＨが配置される。前記真空チャンバ１３内の吸引を続ける状態において、前記チョッピング手段により変調された変調圧力を、前記変調動作に同期したタイミングで前記圧力検出手段Ｇより抽出する同期検波手段が用いられ、これにより前記試料膜Ｓａの透湿度もしくは気体透過度が算出される。 （もっと読む）

【解決手段】ガスセンサは、シリコン材料から構成され、外部に加熱器(20)を含む選択性透過膜(13)を有する。膜(13)は、圧力センサを収容する排気されるハウジングを閉じる。ハウジングを囲む領域を排気するとき、熱放散が周囲の空気の全圧力の急速な変化の結果として変化し、その結果、信号のドリフト（drift ）が膜(13)の温度調節にもかかわらず生じる。本発明は少なくとも１つの第２加熱器(21,22) を備え、少なくとも１つの第２加熱器の温度が第１加熱器(20)と関係なく調整される。その結果、膜温度が、ハウジング内の全圧力が大幅に変化する場合でも極めて一定である。
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【課題】 混合気体中の水素圧力を検出する水素圧センサにおいて、構造を簡略化しつつ、高精度で、かつ良好な応答性を得るようにする。
【解決手段】 ＭＥＭＳ技術などを用い、相互に対向する一対の基板１２，１３の周囲をスペーサ１４で気密に封止することで、真空雰囲気となる密閉された内容積を形成し、前記一対の基板１２，１３の少なくとも一方が可撓性を有し、かつ少なくとも一方が水素透過性を有するように形成する。そして、水素透過による前記内容積の変化を、対向電極１５，１６間の静電容量の変化から検出する。したがって、簡単な工程で作製可能であり、しかも歪みゲージなどに比べて、高精度で、かつ良好な応答性を得ることができる。また、検出のための消費電流を低減することができる。 （もっと読む）