【課題】温度が変化しても加速度感度の変化が極めて小さいサーボ加速度計を提供する。
【解決手段】振子１１の両面にトルカコイル１５が取り付けられ、それらトルカコイル１５は磁気回路の磁気空隙２６にそれぞれ位置し、加速度入力による振子１１の変位に応じてトルカコイル１５に流すトルカ電流を発生するサーボ回路１３を具備するサーボ加速度計において、磁気回路の温度を検出する温度センサ３１と、磁気回路に巻かれた補償用コイル（ＳＦＣコイル）３２と、温度センサ３１の出力に基づき、補償用コイル３２に電流を流す電気回路とを有し、補償用コイル３２に電流が流れることによって発生する磁束が磁気回路の磁束に加算される。 （もっと読む）

【課題】ゼロｇ不連続効果および不感帯を軽減するためのレギュレータ回路を含む、トルク駆動器を提供する。
【解決手段】レギュレータ回路は、トルク信号が、制御信号を同時に追跡するトルク信号を発生するのを防止することにより、ゼロｇ不連続効果および不感帯を軽減する。そうするために、レギュレータ回路は、調整バッファおよび／または調整器を含むことができる。左トルク信号および制御信号を受け取るように結合された差動入力１００、１０４を備え、左トルク信号を出力するための左調整バッファ８８と、右トルク信号および制御信号を受け取るように結合された差動入力９２、９６を備え、右トルク信号を出力するための右調整バッファ８６と、を備え、左トルク信号は、左トルク信号と制御信号間の電圧差に相関的に対応し、右トルク信号は、右トルク信号と制御信号間の電圧差に相関的に対応する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電基板上に表面弾性波発信器と圧電用パターンとを形成し、部品点数が少なく、量産にすぐれるようにしたサーボ加速度計を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明によるサーボ加速度計は、圧電基板(31)上に設けられた第１、第２表面弾性波発信器(SAW1,SAW2)及び第１、第２圧電用パターン(36,39)と、前記各表面弾性波発信器(SAW1,SAW2)からの第１、第２周波数信号(f₁[Hz],f₂[Hz])の差からなる周波数出力信号(52)を周波数/電圧変換した電圧信号(19)を用いて、加速度が入力された圧電基板(31)を元の状態に戻す構成である。 （もっと読む）

【課題】加速度を高精度にかつ容易に検出することができる加速度計測装置を提供すること。
【解決手段】揺動可能に設けられた振り子部材２の位置変位を検出し、アクチュエータ５を用いて振り子部材２の静止状態を保つようにフィードバック制御し、そのときのアクチュエータ５の出力を計測することで加速度を測定する加速度計測装置において、振り子部材２に可動電極３３（３５）を設け、その可動電極３３（３５）に対向するように設けられた固定電極３６（３８）、発振回路４１、水晶振動子４及び可動電極３３（３５）を電気的に直列に接続してループを形成する。このとき発振回路４１の発振周波数を計測することにより、可動電極３３（３５）と固定電極３６（３８）との間で形成される可変容量Ｃｖ１（Ｃｖ２）の大きさの変化を検出することで、振り子部材２の位置変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度の傾斜等測定（例えば、０．０１度以下の傾斜測定）と振動測定（例えば、数１０Ｇｒｍｓの振動の測定）を同時に行うことができるサーボ加速度計に用いる出力回路を提供する。
【解決手段】電流出力型サーボ加速度計用出力回路は、第一読取抵抗と、第一読取抵抗に並列に接続される第二読取抵抗とキャパシタからなる第一ローパスフィルタと、第一読取抵抗の両端の電圧を測定するための傾斜・直線加速度測定用端子と、キャパシタに直列に接続される第二読取抵抗の両端の電圧を測定するための振動加速度測定用端子と、を備える。また、第一ローパスフィルタは、第一読取抵抗と、第一読取抵抗に並列に接続されるキャパシタからなるものであり、キャパシタを流れる電流を電圧に変換するオペアンプからなる電流・電圧変換回路と、電流・電圧変換回路の出力側に設けられる振動加速度測定用端子と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて高精度での製作及び組み立てが不要である加速度センサを提供する。
【解決手段】基板１と、変位可能に基板に支持され可動電極１２を有する変位部材３，７と、可動電極との間に静電力を発生させる第１固定電極１１とを備えた加速度センサであって、上記第１固定電極は、基板の厚み方向に直交する方向において可動電極に対向して基板に支持され、加速度の作用により可動電極に対向する面積が変化する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサの精度を大幅に改善する。
【解決手段】静電容量型マイクロメカニカルセンサは、２つの固定電極Ｅ１、Ｅ２と、外力によって変位可能な可動式の１つの中心電極Ｅ０とによって形成される、少なくとも１つの差動可変キャパシタを有しており、中心電極Ｅ０の変位測定において、中心電極Ｅ０に作用する静電復元力に相当する力の比率を補償する。センサを閉ループにおいて動作させると、その読み出し信号は、制御器ＰＩを介してリセットクロストーク信号に影響を与え、これによって生じる容量性の復元力が中心電極の変位に抗して作用してこれを補償する。 （もっと読む）

【課題】くし歯状電極を有する静電容量型加速度計の機械的な振動に由来するノイズレベルを改善する。
【解決手段】可動質量部５及び／又は固定部２の各電極３、４のうち、少なくとも一つが幅広の基部と先端部で幅狭の輪郭をもつフィンガー形状を有する。更に静電容量の変化を検出する電子回路による反復的な復帰用静電気力を、可動質量部５及び／又は固定部２の各電極３、４の機械的共振周波数で実質的にゼロ出力となる領域をもつように設定する。 （もっと読む）

【課題】フィンガー電極を有する静電容量型加速度計の機械的振動に由来するノイズレベルを改善する。
【解決手段】可動質量部５を初期位置に復帰させる反復的な静電気復帰力を、可動質量部５及び／又は固定部２の各電極３、４の機械的共振周波数で実質的にゼロ出力となる領域をもつように設定する。更に可動質量部５及び／又は固定部２の各電極３、４のうち、少なくとも一つが幅広の基部と先端部で幅狭の輪郭をもつフィンガー形状を有する。 （もっと読む）

【課題】接着剤の厚さのばらつきによる静電容量センサの温度係数のばらつきや、接着剤の硬化に伴う収縮による静電容量の適正値からのずれによる零点不均衡を抑制することができる静電容量センサの提供。
【解決手段】サーボ型加速度センサ１は、固定極板２と、固定極板２を保持する固定側保持部材３と、固定極板２と対向して配設される可動極板４と、可動極板４を保持する可動側保持部材５とを備える。固定側保持部材３、及び可動側保持部材５は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５を互いに接着するための接着部８４を備えている。また、接着部８４は、固定側保持部材３、及び可動側保持部材５における固定極板２、及び可動極板４と垂直な面に設けられている。 （もっと読む）