【課題】より細くかつ耐久性の高い探針を備えるカンチレバーを製造することができるカンチレバー製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】板状の梁部と、梁部の一方の端部を支持する支持部と、梁部の支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、バルクを梁部に接合させる接合工程と、バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、特に走査型プローブ顕微鏡に接続して、生体細胞に類する物質のミクロンサイズの検体との間において制御可能な様式で液体を交換するためのプローブ装置１０ｇに関し、このプローブ装置は、少なくとも１つの組込み型の第１のチャネル１８を有するプローブホルダ１１と、少なくとも１つの組込み型の第２のチャネル１５を有するカンチレバー１２とを備え、このカンチレバーは、第１のチャネルと第２のチャネルとの間における液体の液密移送が可能となるように、第１のチャネルの少なくとも１つの孔１９が第２のチャネルの少なくとも１つの孔１７に接続されるように、プローブホルダ１１に装着されるようになっている。このプローブ装置の安全かつ容易な使用は、カンチレバー１２をプローブホルダ１１に永続的に装着させて、事前組立されたプローブユニット１０ｇを形成することによって実現される。 （もっと読む）

カンチレバーが窒化ケイ素または炭化ケイ素を含み、かつピエゾ抵抗器がドープ（doped）ケイ素を含む、少なくとも一つの該ピエゾ抵抗器を備える少なくとも一つの該カンチレバーを備える装置が記載される。そのような装置を製造および使用するための方法も提供される。

（もっと読む）