【課題】 プローブ先端部を安価かつ容易に製造できるマイクロプローブを提供する。
【解決手段】 実施形態によれば、保護台、絶縁層、電極層がこの順番で第１の方向に配列したマイクロプローブが提供される。前記第１の方向とは異なる第２の方向に形成された前記マイクロプローブの主面において、少なくとも前記電極層に段差が形成され、この段差により前記電極層が第１の領域と第２の領域とに区画される。 （もっと読む）

【課題】近接場光やマイクロ波のような微小スケールのエネルギー源の空間分布を広い測定範囲、高空間分解能で観測することができるＳＰＭプローブを提供する。
【解決手段】ＳＰＭカンチレバー１と、ＳＰＭカンチレバーの探針部に形成された熱抵抗２と、熱抵抗２の上に形成された絶縁膜３と、絶縁膜３の上に形成された微小スケールエネルギー源を熱に変換する１本の細線４とを備えた。 （もっと読む）