【課題】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、レバー部面上に探針部を接着固定する際に、所望の位置への取付けが容易で、レバー長を一定にすることにより、レバー特性を均一にし、安定したＡＦＭ測定を可能にする。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーは、支持部１と、該支持部より延びたレバー部２と、該レバー部の自由端あるいは自由端近傍に接着固定された探針部５とを具備し、前記レバー部の自由端又は自由端近傍に、前記探針部をレバー部に位置決め固定するための探針部位置決め用ガイドとしての突起部３を備える。 （もっと読む）

【課題】設計自由度が高く曲げ強度が高く極めてアスペクト比が高いニードルを提供する。
【解決手段】最小幅１μｍ以上の連続領域を保護する膜であるリード保護膜Ｒ１をシリコン基板１００の主面１０１の一カ所以上に形成する工程と、シリコン基板１００の主面１０１のリード保護膜Ｒ１から露出している領域を垂直方向にエッチングすることによって直柱体１０２を形成する工程と、直柱体１０２の内部に酸化されずに残る直柱体領域１０４の横断面最大幅が１μｍ未満になるまでシリコン基板１００を熱酸化する工程と、シリコン基板１００に形成された酸化膜１０３を除去することによって、直柱体領域１０４からなるリードと、底に向かって広がるフレア面を側面とし頂からリード１０４が突出するマウント１０５とを有しシリコンからなるニードル１０を形成する工程と、を含むシリコンナノニードルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】より細くかつ耐久性の高い探針を備えるカンチレバーを製造することができるカンチレバー製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】板状の梁部と、梁部の一方の端部を支持する支持部と、梁部の支持部に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針とで構成され、走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーの製造方法であって、試料からバルクを切り出すバルク切り出し工程と、バルクを梁部に接合させる接合工程と、バルクに収束イオンビームを照射し、探針の針部を作成する針部加工工程と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

走査型プローブ用の金属探針（１）が提供される。この探針（１）は、軸方向長さ（ｌ）と、半径方向幅（ｄ）と、最大半径方向幅の区域（５）から原子レベルで鋭利な端部（９）まで軸方向に延びる尖った区域（Ｂ）と、最大半径方向幅の区域（５）から丸みのある端部（７）まで軸方向に延びる丸みのある区域（Ａ）とを有し、尖った区域（Ｂ）の軸方向長さが、丸みのある区域（Ａ）の軸方向長さよりも大きい。金属探針（１）は１０μｇ以下の質量を有する。 （もっと読む）