【課題】下面電極タイプの微小なチップ部品を四端子測定法により精度を高めて確実に測定できるほか、面サイズを異にするチップ部品であっても柔軟に対応させることもできる四端子測定用チップ部品治具の提供。
【解決手段】チップ部品が下面側に備える一対の電極における一方の電極側に各別に接触させる２本の接触端子を具備させた一側端子台１２と、他方の電極側に各別に接触させる２本の接触端子を具備させた他側端子台３２と、これら一側端子台１２と他側端子台３２とをチップ部品の面サイズに対応させるべく相互の接離とその位置固定とを自在に支持する基台５２とを少なくとも備え、該基台５２には、一側端子台１２の各接触端子に一方の電極を、他側端子台３２の各接触端子に他方の電極をそれぞれ接触させてチップ部品を定置する押当て部材６９を配設した。 （もっと読む）

【課題】精度よくインピーダンス整合を行うことのできるインピーダンス整合装置を提供する。
【解決手段】本発明のインピーダンス整合装置３は、高周波電源１と負荷５との間に設けられ、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２のインピーダンスを変化させることにより、高周波電源１と負荷５とのインピーダンスを整合させるためのものであって、入力端３ａにおける進行波の電圧Ｖｆｉ及び反射波の電圧Ｖｒｉと、予め測定することによって取得された、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２の可変値に関する情報と、この情報に対応するインピーダンス整合装置３のＴパラメータとに基づいて、出力端３ｂにおける進行波の電圧Ｖｆｏ及び反射波の電圧Ｖｒｏ並びに入力端３ａにおける入力反射係数Гｉを算出する。そして、可変キャパシタＶＣ１，ＶＣ２の可変値に対する入力反射係数の絶対値｜Гｉ｜のうち、最小の値を選定し、これに基づいて、インピーダンスを調整する。 （もっと読む）

【目的】被測定素子に流れる電流の検出抵抗器を低抵抗でかつ低インダクタンスで実現し、高周波で測定誤差を小さくする方法を提示する。
【構成】電流検出抵抗器を同軸構造で構成してリアクタンス成分を小さくする。電流の入出力用同軸コネクタ２と複数の抵抗素子４および多層プリント板を該電流検出抵抗器の構成要素とし、同軸コネクタを中心にして抵抗器全体が同軸構造になるように、抵抗素子及びプリント板の導体パターンを配置し、かつ抵抗素子が並列接続になるよう回路を構成する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、測定感度を向上して、測定値の信頼性を向上し得る透磁率測定装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明は、幅をａ，厚さをｂ，長さをｌとする方形ライン構造をもつ検出治具１によりインピーダンスを測定し、検出治具１中の幅をｗ，厚さをｔ，長さをｌとする被測定体２の透磁率を算出する透磁率測定装置において、前記幅ａ，厚さｂがｂ＜ａであり、しかも前記厚さｂ，幅ｗが１mm≦ｗ≦５mm，１mm≦ｂ≦４mmの範囲で且つｗ／ｂ＝１．３±０．３９であり、さらに、被測定体２の体積Ｖｍ（ｔ×ｗ×ｌ）と検出治具１の空隙部体積Ｖｇ（ａ×ｂ×ｌ）の比Ｖｍ／Ｖｇが少なくとも５×１０^-5以上であることを特徴とする。 （もっと読む）