【課題】省エネルギー効果を向上可能な投写型映像表示装置を提供することである。
【解決手段】プロジェクタ１は、映像を投写するためのプロジェクタユニット１００と、当該プロジェクタユニット１００に対して太陽光を導光可能に構成された太陽光集光ユニット２００とを備える。プロジェクタユニット１００は、人工光を出射する光源ランプを搭載する。プロジェクタユニット１００は、太陽光集光ユニット２００が出射した太陽光と、光源ランプが出射した人工光とのいずれか一方を照明光に選択するための光源切替部と、光源切替部によって選択された照明光を映像光に変調して投写する投写部とを備える。光源切替部は、ノーマルモード時には光源ランプからの人工光を照明光に選択する一方で、スーパーエコモード時には太陽光を照明光に選択する。 （もっと読む）

【課題】有効利用する波長において、ＥＵＶ光源、特に、ＥＵＶプラズマ光源の光源パワー及び光源位置を十分な精度を持って測定することができる測定手段を備えたＥＵＶ照明システムを提供する。
【解決手段】少なくとも一つのＥＵＶ（ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光源（３）と、特に、有効利用する波長の範囲で、ＥＵＶ光源（３）の、又はＥＵＶ光源（３）の中間像の一つの強度変動及び／又は位置変化を測定する開口絞り及びセンサ装置（１）とを備えたＥＵＶ照明システムにおいて、開口絞り及びセンサ装置（１）は、開口絞り（２．１）とＥＵＶ位置センサ（２．３）とを有し、開口絞り及びセンサ装置（１）は、開口絞り（２．１）がＥＵＶ光源（３）から、又はその中間像（７）の一つから発せられる照射の所定の立体角範囲がＥＵＶ位置センサ（２．３）に当たるように配置される。 （もっと読む）

【課題】集積回路を製造するためのマイクロリソグラフィーにおいて、マスク乃至レチクル形態の対象物をEUV照射によって照らすために使用される公知の照明システム及びそれらを備えた投影露光システムを指定サイズのEUVにより処理能力が増加する乃至所定のEUV処理能力によりサイズが減少されるよう、更に発達させることである。
【解決手段】光学軸の方向にEUV照射を集束するコレクタ、二次光源を発生するための第一光学要素、上記二次光源の位置に配置された第二光学要素及び第一光学要素と合わせて最大５つとなる更なる光学要素をコレクターと照明領域の間に備える照明システムにおいて、光学要素と光学軸が６０°よりも大きいか３０°よりも小さい入射角で交わり、光学軸の少なくとも一つの軸部分が少なくとも二つの光学要素の間において照明主要面に対して傾斜していることを特徴とする、照明システムによって成し遂げられる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置のコンパクト化を図るとともに、製造時におけるコスト削減、工程の簡略化を図る。
【解決手段】撮像装置は、１つの媒質で形成された基材上に配備された第１ミラー２１と第２ミラー２２を備えた結像光学系２を備え、第１ミラー、第２ミラーは、非回転対称な非球面形状を有する表面反射ミラーであるとともに、軸上主光線に対して互いに偏心して配備され、結像光学系の開口絞り２４から入射した光線は、第１ミラーと第２ミラーで反射され、撮像素子１上に結像されるまでに１回交差する光路を形成する。 （もっと読む）

【課題】
利用者の頭部に表示装置を装着する必要がなく、空間を選ばずに全方位投写を可能とする表示システムを提供する。
【解決手段】
表示システム１００は、互いに直交するＸ軸及びＹ軸によって定義される投写面に対して、Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸に沿って映像光を投写する。表示システム１００は、スキャン光源１０と、トロイダル反射ミラー２０とを備える。トロイダル反射ミラー２０は、トロイダル形状を有するミラー面２１を有する。ミラー面２１は、Ｚ軸に沿った映像光の走査に伴って、投写面上において映像光の照射位置をＹ軸に沿って移動させる形状を有しており、かつ、トロイダル反射ミラー２０の回転に伴って、投写面上において映像光の照射位置をＸ軸に沿って移動させる形状を有する。 （もっと読む）

【課題】対物光学系、特に、投影対物光学系、好ましくは、マイクロリソグラフィー投影対物光学系の提供。
【解決手段】光線束を通過させる開口部を有さない少なくとも１枚の鏡Ｓ１を有する第１部分対物光学系１００と、少なくとも１枚の１次凹面鏡ＳＫ１と１枚の２次凹面鏡ＳＫ２を有する第２部分対物光学系２００とを含み、１次凹面鏡ＳＫ１と２次凹面鏡ＳＫ２が光線束を通過させる開口部を有する、動作波長が特に１９３ｎｍ以下の、対物光学系、特にマイクロリソグラフィー投影対物光学系に関する。 （もっと読む）

【課題】各実鏡映像結像光学系により結像される映像を視差により歪みのない立体空中映像として表示可能な装置を提供する。
【解決手段】素子平面Ｓ１，Ｓ２に対する面対称位置に被投影物の実像を結像可能な実鏡映像結像光学系２Ａ１，２Ａ２を並べて配置するとともに、各結像光学系２Ａ１，２Ａ２に対応してそれぞれに同一の被投影物Ｏ１，Ｏ２を同じ位置及び角度関係で配置し、相対的に左側に配置した実鏡映像結像光学系２Ａ１である右目用結像光学系によって結像される対応する被投影物Ｏ１の実鏡映像Ｐ１と、相対的に右側に配置した実鏡映像結像光学系２Ａ２である左目用結像光学系によって結像される対応する被投影物Ｏ２の実鏡映像Ｐ２とを同じ位置で重ね合わせて表示させるように構成した視差式３次元空中映像表示装置Ｘ１とした。 （もっと読む）

【課題】照射距離の長距離化あるいは光源の省電力化を図ることが可能な光照射器を提供する。
【解決手段】光照射器１１は、楕円鏡１と、放物面鏡２，３，６と、光源Ｓと、双曲面鏡４，５とを備える。楕円鏡１の第１焦点と放物面鏡２の焦点とが点Ｐ１で一致し、光源Ｓは、その中心が点Ｐ１と一致するように配置される。放物面鏡３、双曲面鏡４，５は、放物面鏡２の内部に配置され、双曲面鏡４の第１焦点と放物面鏡３の焦点とは点Ｐ３で一致する。双曲面鏡４の第２焦点と楕円鏡１の第２焦点とは点Ｐ２で一致する。放物面鏡６は、楕円鏡１と反対側に位置する放物面鏡２の端部（光を照射する側の端部）において放物面鏡２に接続される。放物面鏡６の焦点は双曲面鏡５の第１焦点と一致する。放物面鏡６の中央部分は開口しており、その開口部分から光が照射される。 （もっと読む）

【課題】斬新な表現を可能とし、また、視認性を向上させることができる結像装置を提供する。
【解決手段】結像装置１は、入射した表示光の、透過軸に垂直な偏光方向成分の光を第１の直線偏光として反射する偏光フィルタ２１と、偏光フィルタ２１で反射された前記第１の直線偏光が入射し、入射した前記第１の直線偏光を、その偏光方向を変更し、前記第１の直線偏光の偏光方向に対して垂直な偏光方向を有する第２の直線偏光として再帰反射する再帰反射部２３と、を備える。再帰反射部２３で反射した前記第２の直線偏光は、偏光フィルタ２１を透過し、偏光フィルタ２１の表面側で、表示画像１２を表す実像４０を結像する。偏光フィルタ２１は、表面側から入射した外光の、前記透過軸に垂直な偏光方向成分の光を観察者の視点、前記観察者の視線及び前記実像以外の方向に向けて反射する形状及び／あるいは角度で配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】高いスループットを達成することのできる光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学ユニット２０は、光源装置と被照射面との間に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して反射する複数の入射側ミラー要素４７を有する入射側フライアイミラー４５と、入射側フライアイミラー４５で波面分割された露光光ＥＬを反射する複数の射出側ミラー要素６７を有する射出側フライアイミラー６５とを備える。また、光源装置と入射側フライアイミラー４５との間に挿入可能に配置され、光源装置からの露光光ＥＬを波面分割して、その反面分割した露光光ＥＬを、射出側フライアイミラー６５の位置に配置される射出側フライアイミラーに入射させる射出側フライアイミラー５０を備える。 （もっと読む）