本発明のシステム及び方法は、複数のダイオードバーアセンブリからの放射ビームを合成することで、個々のアセンブリにおける熱分配の必要に対応しつつ、合成された出力ビームの出力濃度を高める。本発明は、照射光を出射平面で合成することで、光度Ｉ_M≒Ｍ×Ｉ_stack及び輝度Ｂ_M≒Ｍ×Ｂ_stack（ただし、Ｉ_stackとＢ_stackとはそれぞれ一つのスタックアレイにおける照射光の出射平面における光度及び輝度を示し、Ｉ_MとＢ_MとはそれぞれＭ層のスタックアレイにおける照射光の合成出射平面における光度及び輝度を示す）を有する、面積Ａ_gの一つの合成ビームを形成することを可能とする。このように、本発明は、高光度、高輝度の光エネルギーを必要とする用途において有用である。
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【課題】 均質化効果以上に、入射光の分布に追加効果も与えるフライアイコンデンサを、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系や、そのようなフライアイコンデンサを有する照明系にも使用できるようにする。
【解決手段】 入力光分布を出力光分布に変換するためのフライアイコンデンサ（１１５；２１５；３１５；４１５）において、複数の光チャネルを生じるために光学群（２１、２２；１２１、１２２；２２１、２２２；４０；１４０）の少なくとも１つのラスター配列を有するフライアイコンデンサ（１１５；２１５；３１５；４１５）であって、光学群（２１、２２；１２１、１２２；２２１、２２２；４０；１４０）の少なくとも一部は、光チャネルを通過する光の偏光状態を変化させるための偏光変化手段（３０；１２１、１２２；２３０；４０；１４０）を有する、フライアイコンデンサ。 （もっと読む）

所望の光学特性を有する光ビームを発生し、アレー状に配された試料に照射できる光検査システムおよび方法である。１つの実施の形態において、光学検査システムは光源、回折素子、およびコリメート光学系（例えば、単レンズ、ｆ−θレンズ、分割鏡、ファイバー・アレー）を含んでいる。光源から回折光学系に向けて光ビームが出射され、回折光学系は光ビームを受け、コリメート光学系に向け多数の光ビームを出射する。コリメート光学系は回折光学系から出射された光を受けて調整し、試料アレーに向け所望の光学特性を有する調整済み光ビームを出射する。光学検査システムの別の幾つかの実施の形態も記載されている。
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【課題】 調整が容易でその製作コストも安価であり、経時的に安定した均一なレーザビームを照明エリア上に照明することが可能な照明装置を提供すること。
【解決手段】 照明装置は、シリンドリカルレンズアレイ１５と、バーレーザ１２から出射されたレーザビームにおけるエミッタ１１の列設方向の遠視野像をシリンドリカルレンズアレイ１５上に投影するシリンドリカルレンズ１６と、シリンドリカルレンズアレイ１５により分割されたレーザビームの遠視野像を空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリアに重畳して投影するシリンドリカルレンズ１７と、バーレーザ１２から出射されたレーザビームにおけるエミッタ１１の列設方向と直交する方向の近視野像を空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリアに結像するシリンドリカルレンズ１８、１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 レンズの光吸収による各投影光学ユニットの光学特性の変動を実質的に抑制することのできる露光装置。
【解決手段】 照明系（ＩＬ）と、複数の投影光学ユニット（ＰＬ１〜ＰＬ５）を有する投影光学系（ＰＬ）とを備え、照明系は各投影光学ユニットの瞳面と光学的にほぼ共役な位置に二次光源を形成し、マスクパターンを投影光学系を介して感光性基板（Ｐ）上へ投影露光する露光装置。照明系は、光照射による各投影光学ユニットの光学特性の変動を実質的に制御するために、二次光源の光強度分布を、中心よりも周辺において実質的に強度の高い光強度分布に設定するための強度分布設定手段（９）を備えている。 （もっと読む）

【課題】 一つの投射距離内で極めて高い解析度を達成でき、投射距離を延長する時、比較的低い解析度のバーコードに適用できるバーコードリーダーの走査投射光源構造の提供。
【解決手段】 第１遮光片の前方に第２遮光片を配置し、該第２遮光片に貫通孔を設けて、該貫通孔の両側に相互に対応し並びに円弧形面を有する遮光部を設け、レーザーダイオードの投射する光点を、集光レンズを透過して平行ビームとなし、さらに第１遮光片の円孔を透過して円形小光点となし、この円形小光点に貫通孔を通過させる時に、該遮光部の遮蔽部分により円孔を通過した光点が、円弧切辺を有する光点となし、この円弧切辺を有する光点の投射距離が近くなるほど直線に接近し、遠くなるほど円弧切辺の円弧形投影が明確となるようにした。 （もっと読む）

【課題】エキシマレーザー光源を使用した場合でも、十分なコヒーレンシーの低減を行うことのできる照明光学装置及びそれを用いた露光装置を提供する。
【解決手段】微小コヒーレント素光源が多数集まって形成されたコヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を分割し、分割された一方の光束を遅延光路に廻し、再び分割した光路に戻す光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子の遅延光路の光路長を、前記微小コヒーレント素光源の可干渉長以上に設定する事を特徴とする照明光学装置を提供する。また、この照明光学装置を備えた露光装置及び露光方法を提供する。 （もっと読む）

【目的】 本考案は１つのレーザ光線発射部を使用して、線状のレーザ照射光および該線状のレーザ照射光に接したレーザ光点を同時に得ることが可能となり、しかも安価なレーザ光発射装置を提供することにある。
【構成】 本考案のレーザ光発射装置は、１つのレーザ光線を発するレーザ光線発射部と、該レーザ光線発射部の前方に設けられ前記レーザ光線を平面光に変換する平面光レンズから構成され、前記レーザ光線の少なくとも一部のレーザ光線を該平面光レンズに入射させることによって、線状のレーザ照射光および該線状のレーザ照射光に接したレーザ光点が同時に得られることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 導波路の出力結合を用いることにより、任意のビーム径を得、光学系の調整を容易にする。
【構成】 半導体レーザ５からの発散光はコリメートレンズ６により平行光となる。この平行光は、入力結合用グレーティングカプラ３に入射する導波光が励振され、光は導波路層２を導波する。導波光が出力結合用グレーティングカプラ４に達すると、導波路から平行光として出射する。導波路層２から出射したビームの入射面と平行な方向のビーム径は、出力結合の結合効率に依存し、グレーティングの形状や深さを変えることにより結合効率が変化し、任意のビーム径を得ることができる。 （もっと読む）