【課題】中心波長の異なる複数の光に対して、高い回折効率と高い走査性能を実現する技術を提供する。
【解決手段】２次元光スキャナ６に入射したレーザ光は、駆動手段７ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ７で偏向される。ＡＯＤ７で生じた角度分散は、ＡＯＤ７の射出端近傍に配置されたプリズム８により補償される。プリズム８から射出されたレーザ光は、リレーレンズ９を通過して、駆動手段１０ｄにより波長毎に入射角が調整されたＡＯＤ１０で偏向される。ＡＯＤ１０で生じた角度分散は、ＡＯＤ１０の射出端近傍に配置されたプリズム１１により補償されて、２次元光スキャナ６から射出される。ＡＯＤ７とＡＯＤ１０は偏向平面が直交している。 （もっと読む）

【課題】被露光体上を走査する光ビームの走査距離を短くして露光工程のタクトを短縮する。
【解決手段】一定方向に一定速度で搬送される被露光体４の搬送方向と交差する方向に一定の配列ピッチで一列に平行に並んだ複数のレーザビームに強度変調を与えて射出するパターンジェネレータ６と、パターンジェネレータ６から射出した複数のレーザビームを被露光体４上に一定間隔に並べて集光するｆθレンズ７と、ｆθレンズ７を射出した複数のレーザビームを被露光体４の搬送方向と交差する方向に回折させて、互いに隣接するレーザビームの間の領域を同時に往復走査する音響光学素子８と、を備え、音響光学素子８は、レーザビームの回折方向の軸が光軸を中心に被露光体４の搬送方向と直交する方向に対して一定角度だけ回転した状態に配設され、音響光学素子４の光射出側には、複数のレーザビームの０次回折光を遮断する遮光マスク２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】レーザによる穴加工において、移動時間の短縮化を図ると共に、加工パターンを変更せず加工径を変更または調整する場合も、その変更を容易にし、調整に要する時間も短縮する。
【解決手段】本発明では、穴中心間を移動するポイントからポイントへの移動を機械的に動作するガルバノスキャナーで実施し、加工時に求められる滑らかな軌跡に追従する移動に音響光学素子を用いて機械的な移動ではなく周波数を制御して光学回折角を変化させることで、円滑な加工を実施するものである。 （もっと読む）

【課題】解像点数の大きな光偏向器を提供する。
【解決手段】１次元に光を偏向する光偏向器において、２次元に光を偏向する光偏向手段と、光を伝搬させるコアを複数備え、コアが入射端面において２次元に配置され、出射端面において１次元に配置されたマルチコア導波路と、光偏向手段から出射された光を、マルチコア導波路の入射端面に結合するレンズとを備えた。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型のレーザー光源を前提として、出力レーザー光の可干渉性を低下させることでスペックルノイズを確実に低減し得る光源装置を提供する。
【解決手段】レーザー光を射出するエミッター２２を有する第１発光素子１２と、エミッター２２から射出されたレーザー光が入射するように配置されたエミッター２３を有する第２発光素子を備え、エミッター２３は、射出されたレーザー光がエミッター２２へ入射するように配置され、エミッター２２と異なる２つのエミッター２３の間の光路上に、空間的に選択波長が異なる波長選択素子１７が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の振幅と位相を独立して制御可能な光学素子を走査型顕微鏡に用いる場合に、より画質のよい観察画像を得ることができるようにする。
【解決手段】分散フィルタ６２は、入射した赤外光の振幅と位相を独立に制御可能であるが、有効に動作できる期間とできない期間が生じる。そこで、調整部２２は、各時刻において、３つの分散フィルタ６２のうちの何れかが有効に動作するように、それらの動作を制御し、音響光学素子６１は、３つの分散フィルタ６２のうち、有効に動作している分散フィルタ６２に赤外光を入射させる。合成素子６３は、分散フィルタ６２からの赤外光が同一光路を通って試料に照射されるように、赤外光を合成する。これにより、常に振幅と位相が適切に調整された赤外光を試料に照射することができ、より画質のよい観察画像を得ることができるようになる。本発明は、走査型顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】感光性基板に対するマイクロリソグラフィ描画および検査のためのレーザ走査の時間効率および偏向器の制御を改善するシステムを提供する。
【解決手段】本システムは、偏向方向における基板のオフセットの程度を測定する少なくとも１つのセンサと、横方向に移動する走査に対応するように位置データまたは位置データの供給を修正するための手段と、前記のオフセットを補償するために、検出器によって測定されたオフセットに依存して偏向器のためのデータの読み出しを制御する制御ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】ファイバアンプ出力光による光学部品の損傷を回避するとともに、ファイバアンプ出力光の異常検知後における迅速な復帰が可能なレーザ発生装置を提供する。
【解決手段】複数のレーザダイオードに対して給電する電源ユニット５と、第１レーザダイオードからの第１励起光に基づいてシード光を出力するシード光源ユニット１と、第２レーザダイオードからの第２励起光と第３レーザダイオードからの第３励起光とにより励起されたエネルギーをシード光に付与して増幅して、レーザ光を出力するファイバアンプユニット３と、シード光を遮光するビーム遮蔽ユニット２と、電源ユニット５とビーム遮蔽ユニット２とを制御する制御ユニット６と、ファイバアンプユニット３の出力レーザ光の強度を検知して異常の有無を判断するビームモニタユニット７とを備え、異常と判断された場合には、制御ユニット６は、ビーム遮蔽ユニット２を制御してシード光を遮光させる。 （もっと読む）

【課題】特定波長の光を効率よく遮光することができる可変フィルタ装置を提供する。
【解決手段】入射ピンホール板２を通過した発散光は、コリメートレンズ３により平行光束に変えられ、音響光学可変フィルタ４に入射する。音響光学可変フィルタ４に所定周波数の電圧を印加することにより回折格子の働きをさせ、回折光が破線で示すように光軸に対して斜め方向に出射するようにし、０次光のみが直進するようにする。音響光学可変フィルタ４を出射した光束は、集光レンズ５によって集光されるが、このとき、直進した０次光は、出射ピンホール板６のピンホールを通過し、可変フィルタ装置１の外部に放出される。回折光は、出射ピンホール板６の板部にあたって遮光され、可変フィルタ装置１の外部には放出されない。 （もっと読む）