【課題】ガンマ線を発生させるターゲット材料としての炭素を高密着性を持って均一に形成すること。
【解決手段】少なくとも一対の電極（１３，１４）および前記電極（１３，１４）間に配置された絶縁部材（１８）により形成された空間（１９）に、ターゲット基板（１３）を配置し且つ表面層形成用粉体としてのグラファイト化された炭素粒子を収容して、前記電極（１３，１４）間に前記表面層形成用粉体を往復動させる電圧を印加することにより、前記ターゲット基板（１３）表面に炭素の表面層が形成されたターゲット材（３）を製造することを特徴とするターゲット材製造方法。 （もっと読む）

【課題】出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、ドライバレーザ光の照射に対する除熱を良好に行いつつ、固体のターゲットを高速かつ連続的に供給する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ワイヤにターゲット物質をコーティングするターゲット物質供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤをチャンバ内の所定の位置に供給するワイヤ供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤにレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【解決手段】核融合中性子生成装置１０は、重水素ガスがバックグラウンドガスとして導入された真空容器１２、その中に配置された円筒形の陰極２２、陰極２２を挟むように真空容器１２内に設けられる１対の陽極３２を含み、一方の陽極３２ａ側の真空容器１２の外部には外部イオン源１８が設けられる。陰極２２および陽極３２ａ，３２ｂの内表面に、それぞれ、重水素を吸蔵した重水素吸蔵層（チタンコーティング）５６が形成される。陰極２２と陽極３２との間の電界によってエネルギーを付与されたイオンが陽極間を往復運動するときに、バックグラウンドガスを電離して新たなイオンを発生させ、イオンを増倍する。このイオンが電極内表面に吸着されている重水素粒子に衝突して核融合を生起し、それによって中性子が生成される。
【効果】電極内表面に吸着されている重水素とイオンとによる核融合を中性子生成の主たる手段とするので、中性子生成率が向上する。 （もっと読む）

【課題】ほぼ均一な強度で所望のパルス幅を実現できるドライバレーザを用いて、効率的にＥＵＶ光を得ることができる極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】食品原料から収集した鉱物質にＴＬ法を適用して放射線照射を実行された食品原料であるか否かを検知する場合に、放射線照射業者にとって好都合な放射線照射用器具及び放射線照射検知方法を提供する。
【解決手段】食品メーカ等は、ＴＬ測定装置を使ってGlow-１測定を実施した後、これに使用した試料皿2に鉱物質を入れたまま、放射線照射用器具10を使って、放射線を照射する設備を備えた専門機関等に送り、専門機関等は、放射線照射用器具10のまま放射線を照射し、その後、放射線照射装置10を食品メーカ等に返却する。放射線照射用器具10は、平面視矩形のキャリア11と、このキャリア11を覆う平らな硬質のプレート13とを有し、プレート13はゴムリング14で固定される。キャリア11は、試料皿2を受け入れる穴12を備えている。 （もっと読む）

【課題】従来の製品より小形でありながら、しかも高エネルギーでより小径なスポットのＸ線を発射することが可能なＸ線源を得る。
【解決手段】Ｘ線源は、電子線を発射する電子線源と、この電子線源から発射された電子線を高周波電場で加速する加速管と、この加速管で加速された高エネルギの電子を衝突させてＸ線を放出するターゲットとを有する。加速管はターゲットに向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、ターゲットはＸ線案内孔を有するコリメータを備え、このコリメータのＸ線案内孔の孔径を０．６ｍｍ以下としている。より具体的には、電子線源から加速管に向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、加速管でこの電子線を加速し、前記のターゲットに衝突させる。 （もっと読む）

【課題】高圧ガス設備の設置許可申請等の手続きを不要とすること等が可能なＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置用ターゲット物質供給装置等を提供する。
【解決手段】このターゲット物質供給装置２０は、ＬＰＰターゲット物質を出射するための噴射口２１ａが形成されたスリーブ２１と、スリーブ２１内に摺動可能に嵌入されたプランジャー２２と、プランジャー２２を押圧することにより、スリーブ２１及びプランジャー２２によって形成される空間内に充填されたＬＰＰターゲット物質を加圧して、ＬＰＰターゲット物質をスリーブ２１の噴射口２１ａから出射させる押圧装置２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】デブリの影響を抑え、強いＥＵＶ光を発生させる液体状のターゲットを効果的に供給することのできるＥＵＶ光源を提供する。
【解決手段】本発明によるＥＵＶ光源は、ターゲット（ＬＱ）からプラズマを生成し、前記プラズマから発生するＥＵＶ光を放出するＥＵＶ光源であって、線状部材（１０１）を備え、前記ターゲットが液体状であり、前記線状部材は、前記ターゲットが前記線状部材に沿って供給されるように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型且つ簡易な構造で電子線とＸ線との両者を放出することができる電子線・Ｘ線源装置を提供する。
【解決手段】電子線・Ｘ線源装置３は、管体６内に電子線を放出する電子線放出部９を備える。管体６の一端部（下端部）には、電子線放出部９から照射された電子線を管体６の外部に透過させる電子線透過窓部１０ａと、照射された電子線によって励起されるＸ線を発生するターゲット１１とを備える。ターゲット１１は、管体６の一端部を閉蓋する膜状蓋部材１０の上面に固着され、その厚さ方向に貫通する孔１２を備える。膜状蓋部材１０は電子線およびＸ線を透過可能である。この膜状蓋部材１０のうちの、孔１２に対向する部分が電子線透過窓部１０ａである。電子線・Ｘ線源装置３は、例えばエアロゾル試料Ａを分析するエアロゾル分析装置で使用される。 （もっと読む）

【課題】微小焦点で低エネルギのＸ線を放出できるＸ線源を提供する。
【解決手段】真空容器１２の透過ターゲット１３を接地電位とし、真空容器１２内で電子光学系１９を正電位に浮遊させる。電子光学系１９で収束する電子ビーム１６を透過ターゲット１３へ入射する直前に減速させる。電子ビーム１６は電子光学系１９を通過するまで最終設定値の数倍のエネルギを有しており、空間電荷効果による発散作用が低減する。電子光学系１９の色収差は電子ビーム１６のエネルギに比例するので、電子光学系１９を通過した後に電子ビーム１６を減速させれば、減速の度合いに比例して収差を低減し、その分の焦点サイズの減少を可能とする。 （もっと読む）