【課題】カソードの消耗を抑制し、寿命を延ばす。
【解決手段】中央部が空けられたフィラメント６０´（カソード）、グリッド７及びアノード８を有する電子銃５からの電子ビームを蒸発物質３に当て、蒸発粒子を基板上に膜状に付着させる様に成した電子ビーム蒸着装置であって、電子銃５の中心軸Ｏ′上に、その先端面が、アノード８から見て、フィラメント６０´（カソード）の中央部空間内に位置する様にイオンコレクタ２０を設け、更に、アノード８から見てフィラメント６０´（カソード）側とは反対側に金属板２１を設け、スパッタリングによって生じたイオンコレクタ２０からのチタン粒子を金属板２１上に堆積させ、電子銃５周辺内の酸素ガスを堆積したチタンに吸着させる様に成した。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電流値を自動的に調整することが可能な電子ビーム加工装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを照射する照射手段（5,1）と、照射手段（5,1）から照射された電子ビームのビーム電流を検出し、該検出したビーム電流実測値とビーム電流指令値との差分に応じたバイアス電圧値を取得する取得手段（3）と、照射手段（5,1）が電子ビームを照射する際に使用するフィラメント電流値を調整する調整手段（4）と、を有し、調整手段（4）は、取得手段（3）が取得した複数のバイアス電圧値を基に、バイアス電圧値の変化率を算出し、該算出したバイアス電圧値の変化率が所定の目標値に収束するように、フィラメント電流値を調整する。 （もっと読む）

【課題】アライメントの精度や信頼性などを向上させることができ、また、製造原価のコストダウンを図ることができる電子ビーム加工装置及び電子ビーム加工方法、並びに、電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法の提供を目的とする。
【解決手段】電子ビーム溶接装置１は、電子銃２と、集束コイル４と、アライメントコイル３１、デジタル観測光学系３２、デジタル画像処理コントローラ３３及び情報処理装置３４を有するアライメント制御手段３とを備え、情報処理装置３４が、アッパーフォーカス状態とロアーフォーカス状態で電子ビームをターゲット１０に照射し、これらの照射画像の位置座標の差分から算出した補正値にもとづいて、アライメントコイル３１に、アライメント制御信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】直径１００μｍ以下の微小領域において、溶接、融合、焼鈍などの熱処理を行うことができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】タングステンフィラメントからなる電子源１と、ポールピース３を有する集束レンズ２と、対物レンズ６とを備えた電子線照射装置において、ポールピース３の上部ポールピース３１における上部通過孔３１ａ、下部通過孔３３ａの直径を４ｍｍ以上として、電子線の電流値を高める。被照射体に照射される電子線の電流値を、直径１００μｍ以下の照射領域において１ｎＡ以上とすることによって、１００μｍ以下の微小な領域において、溶接、融合、焼鈍などの熱処理を行うことができる。 （もっと読む）