複合排気システム（１０）は、ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）を具備する。ゲッタポンプ（１２）及びイオンポンプ（１３）は、同じフランジ（１１）に取り付けられ、前記フランジ（１１）の同じ側の２つの異なる箇所に配置される。
（もっと読む）

【課題】低圧でも満足なポンピング速度を提供できるとともに、限られた全体的な寸法および重量を有するスパッタ・イオン・ポンプを提供する。
【解決手段】スパッタ・イオン・ポンプ１は、陽極のポンプ・セルの両端部に配置された主磁石９ａ、９ｂと、ポンプ・セルの片側のみに配置された補助磁石１１；１１’、１１”とを含む改良された磁石アセンブリを有し、これにより、アセンブリは非対称構成となっている。改良された磁石アセンブリを有するスパッタ・イオン・ポンプは、ポンプ自体の寸法、重量、および製造コストを抑えつつ、低圧でも高いポンピング速度を達成できる。 （もっと読む）

【課題】減磁、磁場低下、磁力線の漏洩などを誘引せず、所期の磁場強度を保つベーキング処理機構を備えたスパッタイオンポンプを提供する。
【解決手段】ポンプケース２の内側に、アノード７、一対のカソード６ａ、６ｂにより構成されるポンプセル２ｂを備え、ポンプケース２の外側に、両カソード６ａ、６ｂの対向方向に一対のマグネット８ａ、８ｂと、このマグネット８ａ、８ｂを囲繞するヨーク４とを取り付けたイオンポンプ１において、ポンプセル２ｂの側面部分にポンプケース２の外側から、プレート状の加熱用ヒータ９を取り付ける。また、空間部分２ａに位置するポンプケース外側から、別の加熱用ヒータ３ａ、３ｂを取り付ける。さらに、マグネット８ａ、８ｂとヨーク４と加熱用ヒータ９、３ａ、３ｂとを取り付けたポンプケース２を保温箱１１内に収容し、その際に、ポンプケース２と保温箱１１との接触部分を非磁性材質の固定ねじ１２のみに限定する。 （もっと読む）

【課題】改良されたスパッタイオンポンプ、およびスパッタイオンポンプ用磁石アセンブリを提供する。
【解決手段】イオンポンプは１つ以上の陽極ポンプセルと、該１つ以上の陽極ポンプセルに近接して位置する陰極と、該１つ以上の陽極ポンプセル内に磁界を発生させる磁石アセンブリとを含む。該陰極と該１つ以上の陽極ポンプセルとの間に電界が印加される。磁石アセンブリは、該陽極ポンプセルの両端に配置された互いに反対の極性を有する一次磁石と、該陽極ポンプセルの両側方に配置された二次磁石とを含む。磁石アセンブリには、磁束帰還経路を構成する磁石ヨークを更に含んでもよい。磁石アセンブリは該１つ以上の陽極ポンプセル内に実質的に一様な軸方向の磁界を発生する。
（もっと読む）