【課題】コストダウンし且つ信頼性を高める。
【解決手段】電子増倍器１００は、電気配線パターン２０を有し貫通孔１６が形成された絶縁性基板１１と、絶縁性基板１１の貫通孔１６の一方側に配置され電気配線パターン２０に電気的に接続されたＭＣＰ１２と、ＭＣＰ１２の一方側に配置されＭＣＰ１２に電気的に接続されたシールド板１３と、貫通孔１６の他方側に配置され電気配線パターン２０に電気的に接続されたアノード１５と、絶縁性基板１１に固定されアノード１５から信号を読み出すための信号読出し端子１９と、を備えている。シールド板１３は、厚さ方向から見てＭＣＰ１２を含むように形成されている。シールド板１３には、ＭＣＰ１２の少なくとも一部を露出させる貫通孔２７が形成されている。ここで、絶縁性基板１１、ＭＣＰ１２、シールド板１３及びアノード１５は、一体となるように互いに固定されている。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子検出装置および電子検出方法に関し、サンプルからの電子をほぼ完全に検出すると共に、チャネルによる増倍飽和による影響を低減して大きな入力電流まで比例した出力電流の検出することを目的とする。
【構成】電子を衝突させて２次電子を放出して増倍する第１の電子増倍手段と、第１の電子増倍手段に電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第１の電圧印加手段と、第１の電子増倍手段より増倍されて放出された２次電子を衝突させて２次電子を放出して増倍する第２の電子増倍手段と、第２の電子増倍手段に第１の電子増倍手段から放出された電子を加速して集束し衝突させる電圧を印加する第２の電圧印加手段と、第２の電子増倍手段により増倍されて放出された２次電子を衝突させて電流を検出するアノードと、アノードに第２の電子増倍手段から放出された電子を加速して衝突させる電圧を印加する第３の電圧印加手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＰのイオンの入射方向上流側に配置されたグリッド電極で発生する二次電子に起因する検出誤差を防止することのできる荷電粒子検出器及び飛行時間型質量分析装置を提供すること。
【解決手段】入射されるイオンをＭＣＰ１１，１２を通過させて検出する荷電粒子検出器Ｘは，ＭＣＰ１１へのイオンの入射面１１ａに対向して配置されると共に該入射面１１ａの電位Ｖｉｎより低い電位Ｖｇが与えられたグリッド電極２を備えている。そして，グリッド電極２は，該グリッド電極２にイオンが照射されたときに発生する二次電子をＭＣＰ１１の入射面１１ａに対して離間する方向に移動させる機能を有する。例えば，グリッド電極２は，イオンの入射方向の上流側から下流側のＭＣＰ１１に向けて先細となる三角形の断面形状を有する複数のグリッド線２１により形成されている。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度及び微細加工を容易に実現可能な構造を有する光電子増倍管及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電子増倍管1aは、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて電子を放出する光電面22と、該光電面22から放出される電子をカスケード増倍する電子増倍部31と、該電子増倍部31で生成された二次電子を取り出すための陽極32とが配置されている。上記外囲器の一部は、平坦部を有するガラス基板4により構成され、該ガラス基板4における平坦部上に、上記電子増倍部31及び陽極32のそれぞれが二次元的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】電極とマイクロチャンネルプレートとの接触に伴って生じる検出信号のノイズを低減する。
【解決手段】マイクロチャンネルプレート２と、マイクロチャンネルプレートの一方の面の外周部上に配置され、中央部に検出対象のエネルギー線が入射される枠状の入力電極３と、マイクロチャンネルプレートの他方の面の外周部上に配置され、中央部に電子増倍された２次電子が放出される空間４２Ｓが形成される枠状の出力電極４とを備え、出力電極は、マイクロチャンネルプレートに接触する第１枠状部４１と、第１枠状部と同心状であって、第１枠状部におけるマイクロチャンネルプレートとは反対側の面に設けられ、内周端縁部４２Ｅが第１枠状部の内周端縁部４１Ｅよりも平面視で内方に位置し平坦面４２Ｆを有している第２枠状部４２とから構成される。 （もっと読む）

【課題】ＭＣＰの検出位置によって検出効率が異なる問題を解決する。
【解決手段】ＭＣＰを３枚用いた３段構成のＭＣＰ組立体を用いる。１段目のＭＣＰ８１は電子の数を大きく増倍することを目的とせず、検出体を捕獲して２段目のＭＣＰ８２に送り込むことを目的とする。１段目のＭＣＰ８１のチャネルに衝突した検出体８４，８５は低い増倍率で二次電子に変換されて２段目のＭＣＰ８２に入射し、チャネルに衝突しない検出体８６は発散角が制限されて２段目のＭＣＰ８２に入射する。これにより２段目のＭＣＰのチャネル方向と検出体の進行方向が一致することを回避する。２段目及び３段目のＭＣＰにより、ＭＣＰ全面で十分に読み出し可能な電荷量まで二次電子数を増倍させる。 （もっと読む）

【課題】 微細チャンネルを有する薄型で変形を抑制することを可能とした矩形のＭＣＰを提供する。
【解決手段】 ＭＣＰ１００は、矩形平板状であって、厚み方向に貫通する多数の孔（チャンネル）が多数配置された有孔部分１０の両側に無垢ガス等で形成されたチャンネルを有しない無孔部分１１を有している。そして、ＭＣＰ１００の両面には、それぞれ有孔部分１０をはさんで、両側の無孔部分１１にかかるような形で、入力側電極２と、出力側電極３がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

本発明は、チャンネル５の配列、基板２及び水素化非晶質シリコン膜３を有するマイクロチャンネルプレート１に関し、基板上に堆積した水素化非晶質シリコン膜３は５０μｍから２００μｍを有する厚み、好適には８０μｍから１２０μｍを有する厚みを有し、前記膜はチャンネル５の配列を有する。基板２は、内部の読み出し電子回路及び画素化された集電極８を有する集積回路であり、膜３は基板２上に集積されているのが好ましい。チャンネル５は深反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）プロセスによって形成してもよい。 （もっと読む）

タンパク質、オリゴヌクレオチドなどの大きな分子を含む分子を、室温又は室温に近い温度で、電界放出（ＦＥ）及び／又は２次電子放出（ＳＥＥ）による電子の発生に基づいて検出する活性検出器及び方法を提供する。この検出器は、１つ又は複数の分子が接触する外面と、薄い金属層又は他のタイプの電子放出層を有する内面とを有する半導体膜を備える。半導体膜と接触した分子の運動エネルギーは、半導体膜を貫いて移動し、放出層から電子を放出させる。放出された電子を検出するために電子検出器が配置され、この電子検出器は任意選択の電子増幅手段を含む。 （もっと読む）

【課題】紫外線、赤外線、あるいは可視光等の光を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた光検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】光検出器１０１は、入射する光を電子に変換して放出する光電変換部２と、光電変換部２に相対する位置に配置され、チャンバ７内のガスで電子を増幅して検出するピクセル型電極６と、光電変換部２の周囲に接触し、ピクセル型電極６に対して負電位となるマイナス電極９と、を備える。本光検出器は、光電変換部からピクセル型電極へ向けて広がる電場を形成しており、光電変換部が発生させた電子の位置情報を保ったまま相似拡張してピクセル型電極へ到達させることができる。 （もっと読む）