【課題】大気開放路１０６末端から反応室３に大気ガスを混入させない真空分析装置を提供する。
【解決手段】真空反応室３と、ガス源４と、反応室３に出口端が接続された流量制御用抵抗管１１と、流量制御用抵抗管１１の上流に配置された圧力検出手段１４と、圧力検出手段１４の検出値が所定値になるよう流量制御用抵抗管１１から出るガス量を調節する流量調節手段７と、流量調節手段７と圧力検出手段１４の間でガスを分岐し、スプリット用抵抗管１０３を備えるスプリット流路１０１と、流量調節手段７と圧力検出手段１４の間で上流から流れるガスを分岐して大気中に放出する大気開放路１０６と、大気開放路１０６に設けられたバルブ１０４とを有する真空分析装置で、バルブ１０４の直下にスプリット流路１０１を接続する。ガスがバルブ１０４下流に流入するため大気開放バルブ１０４開放時に大気ガスが拡散によって混入するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度及び微細加工を容易に実現可能な構造を有する光電子増倍管及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電子増倍管1aは、内部が真空に維持された外囲器を備え、該外囲器内に、入射光に応じて電子を放出する光電面22と、該光電面22から放出される電子をカスケード増倍する電子増倍部31と、該電子増倍部31で生成された二次電子を取り出すための陽極32とが配置されている。上記外囲器の一部は、平坦部を有するガラス基板4により構成され、該ガラス基板4における平坦部上に、上記電子増倍部31及び陽極32のそれぞれが二次元的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】改善された放射検出器を提供する。
【解決手段】放射検出器は放射を検出する。放射検出器は複数のファラデーカップを含む。各ファラデーカップにはカバーが設けられている。各カバーは、放射がファラデーカップへと通り抜けることができる窓構成を含む。各カバーの窓構成は各ファラデーカップに対して異なる。各ファラデーカップは、放射がターゲットに入射した場合に光電子を放出するように構成されたターゲットを収容する。 （もっと読む）

【課題】確実に封止された電子管を提供する。
【解決手段】この電子管は、ガラスからなる側管部と、側管部の一方の開口を塞いでおり、ガラスからなる板状部材と、を備える真空容器と、側管部の端面上に設けられた第１金属膜と、第１金属膜に対向配置され、板状部材の真空側の面における周縁部分上に設けられた第２金属膜と、端面に隣接する側管部の外壁面上、及び、周縁部分に隣接する板状部材の側面上の少なくとも一方に設けられた第３金属膜と、第１金属膜、第２金属膜及び第３金属膜に接触しながら側管部と板状部材との間を封止する、低融点金属からなる金属部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】アノード基板と外部支持体間にハンダ付けを行うことにより真空セルの気密封止を製造歩留りよく実現する。
【解決手段】カソード基板１０と、カソード基板１０上に配置された電子放出源部１４と、電子放出源部１４を取り囲みカソード基板１０上の外周部に配置された外部支持体２０と、カソード基板１０に対向して配置され、外径が外部支持体２０の外径よりも小さいアノード基板１２と、アノード基板１２上に、電子放出源部１４に対向して配置される光電変換膜２２と、アノード基板１２の外周部に配置される第１ハンダ４２と、外部支持体２０上に配置される第２ハンダ４０と、第１ハンダ４２と第２ハンダ４０間に配置される第３ハンダ３６とを備え、第３ハンダ３６を介して第１ハンダ４２と第２ハンダ４０間にハンダ付けを行うことにより、アノード基板１２とカソード基板１０間を真空に保持するＦＥＤセンサおよびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 収束電極と光電陰極との安定した導通が確保されると共に、収束電極と光電陰極との導通状態を確認することが可能な光電子増倍管及び放射線検出装置を提供する。
【解決手段】 光電子増倍管１の側管２の上端に固定された受光面板３には光電陰極４が形成されている。側管２の下端にはステム５が配置され、ステム５には光電陰極ピン５０を含む複数のステムピン６が挿着されている。ステム５の側面には、側管２と溶接されたリング状側管７が固定されている。このような密封容器８内には、光電陰極４から放出された電子を電子増倍部９に収束させて導くための収束電極１１と、電子増倍部９で増倍された電子を取り出すための陽極１２とが収容されている。ステム５の下面における収束電極ピン５０の貫通部を含む領域に形成されたペースト充填用凹部５２内には、収束電極ピン５０とリング状側管７とを電気的に接続させる導電性ペースト５３が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】紫外光を検出する光電子増倍管において、ソーラブラインド特性を高精度に実現できる光電子増倍管を提供する。
【解決手段】光電子増倍管１は、被検出光を取り込むための受光面板１１を有する真空容器１０と、真空容器１０内に設けられ、被検出光を光電変換して光電子を放出する光電面２０と、二次電子放出面を有し真空容器１０内に配設された複数段のダイノード２５ａ〜２５ｈを含み、光電面２０から放出された光電子を二次電子増倍する電子増倍部２４とを備える。光電面２０は、Ａｌ_ＸＧａ_１−ＸＮ（０≦Ｘ＜１）を含む。電子増倍部２４の複数段のダイノード２５ａ〜２５ｈのうち、光電面２０から光電子を受ける第１段目のダイノード２５ａを含んで連続するダイノード２５ａ〜２５ｄは、ベリリウム銅合金基板と、該ベリリウム銅合金基板に形成された酸化ベリリウムを含む二次電子放出面とを有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化された場合であっても真空容器における気密性を十分に維持すること
【解決手段】 光電子増倍管１は、平板状の下側基板４と、その下側基板４上に立設された枠状のフレーム３ｂと、そのフレーム３ｂの開口部に低融点金属を挟んで気密に接合されたフレーム３ａを含む上側基板２と、下側基板４上のフレーム３ｂの内側においてフレーム３ｂに並設された枠状の突起２５ｂとを備える。 （もっと読む）

測管（１１）は、筒頭部（１７）と漏斗状接続部（１５）と筒本体部（１３）とを管軸に沿って一体的に備えている。筒頭部の管軸に略垂直な断面の大きさは筒本体部の管軸に略垂直な断面の大きさより大きい。筒頭部が有する湾曲角部の曲率半径は筒本体部の湾曲角部の曲率半径より小さい。筒頭部の管軸に沿った長さは筒本体部の管軸に沿った長さより小さい。光電面（２０）が、入射面板（９）の筒頭部が接続された側の面のうち筒頭部の内側に位置した領域に形成されている。かかる構造を有するマルチアノード型光電子像倍管（１）は、光電面に光を有効に入射させることができ、しかも強い強度を有している。
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【課題】 ステム内側の面に設置される電子増倍部と光電面の間の位置精度を高めて所定の特性を得ると共に電子増倍部の着座性を高め、又は、光電子増倍管全長の寸法精度及び光電子増倍管を表面実装する際の取付性を高める。
【解決手段】 ステムピン６を通すと共に押え材１５又は押え材１６によりその片面が押えられたベース材１４に、ベース材１４の溶融による融着によってステムピン６及び押え材を接合すると共に、このベース材１４の溶融時のボリュームをベース材浸出部１４ｃに良好に逃がして、ステム５を、ベース材１４を押え材１５で押えた二層構成とし、押え材１５をベース材１４の内側の面に接合する場合にはステム５内側の面の位置精度、平坦度、水平度を高め、一方、押え材１６をベース材３０の外側の面に接合する場合にはステム２９外側の面の位置精度、平坦度、水平度を高める。 （もっと読む）