【課題】短い距離でイオンビームを平行化できるイオンビームの平行化装置を提供する。
【解決手段】第1ベース層と、その上に形成された第1導電層と、これらの層を貫通する複数の第1貫通孔とを有する第1基板50aと、第2ベース層と、その上に形成された第2導電層と、これらの層を貫通し、複数の第1貫通孔と対応するように形成された複数の第2貫通孔とを有する第2基板50bとを備え、複数の第1貫通孔および第2貫通孔はそれぞれベース層内の壁面部分が電気絶縁性を有し、第1基板50a及び第2基板50bは、第1導電層及び第2導電層を同じ方向に向け且つ複数の第1貫通孔それぞれが対応する第2貫通孔と対向するように配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明はモノクロメータのスリット位置制御装置に関し、モノクロメータの調整を短時間で行なうことができるようにしたモノクロメータのスリット位置制御方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、前記エネルギー選択スリット２２に流れる電流を検出する電流検出手段４と、該電流検出手段４により検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリット２２の位置を制御するスリット位置制御手段５、とを有するように構成される。 （もっと読む）

【解決手段】１つの実施形態は、荷電粒子エネルギー分析器装置に関する。第１のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、第１の電極は、第１のキャビティが第１のメッシュの第２の側部と第１の電極との間に形成される。第２のメッシュは、第２の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第１の側部に受け渡すように配列され、第２の電極は、第２のメッシュの第１の側部と第２の電極との間に第２のキャビティが形成される。最後に、第３のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、位置検知荷電粒子検出器は、荷電粒子が第３のメッシュを通過した後に、荷電粒子を受け取るように配列される。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーイオン注入システムにおいて、粒子性汚染物質を減少する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】ワークピース（２２８）へのイオン注入の際にイオンビーム（２１０）を磁気的にフィルタリングする為のシステム（２００）及び方法が提供される。ここで、イオンはイオンソース（２１２）から放出され、イオンビームを形成するように、当該イオンソースから離れる当該イオンが加速される。イオンは選択され、当該イオンビームは、質量分析器（２１４）によって質量が分析される。そして、当該イオンビームの質量が分析された後で、当該イオンビームは、減速器（２４２）によって減速され、当該減速の下流側において、更に磁気的にフィルタリングされる。当該磁気的なフィルタリングは、４重極磁気エネルギーフィルター（２５０）によって供給される。ここで、磁場（２６４）が、減速器から出て行く当該イオンビーム中の当該イオンを妨害する為に形成され、望まれないイオン及び高速の中性体を選択的にフィルタリングする。
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【課題】 励起光に起因する信号の裾が光電子信号と重ならないようにする飛行時間型エネルギー分光装置を提供する。
【解決手段】 飛行時間型エネルギー分光装置は、飛行管内に、飛行管内壁から発生する二次電子の検出器への入射を制限する制限開口板を設置する。 （もっと読む）

プラズマにおけるイオン種を監視する飛行時間型イオンセンサは、ハウジングを含む。ハウジング内にはドリフトチューブが配置される。プラズマからのイオンを引き付けるよう、ハウジング内のドリフトチューブの第１の端部に抽出器電極が配置される。抽出器電極の近傍のドリフトチューブの第１の端部には複数の電極が配置される。複数の電極は、引き付けられたイオンの少なくとも一部がドリフトチューブに入り、ドリフトチューブの第２の端部の方へ移動するようバイアスされる。ドリフトチューブの第２の端部の近傍にはイオン検出器が配置される。イオン検出器は、引き付けられたイオンの少なくとも一部に関連する到着時間を検出する。 （もっと読む）

【課題】 高強度のゼロロス電子を効率よく遮蔽できて且つエネルギー分散スリット開口部の散乱電子やコンタミネーションによる影響を軽減するエネルギー選択スリットを提供する。
【解決手段】 スリット開口部３３を挟んで、スリット部材３１のスリット構成辺３４とスリット部材３２のスリット構成辺３５が対面するように配置する。スリット部材３２をスリット部材３１よりも薄くし、スリット構成辺３４の側壁下部をテーパー部３６のように、上方から下方に向かって広くする。高強度のゼロロス電子側がスリット部材３１で遮蔽されるようにエネルギー選択スリット３０を配置する。 （もっと読む）