【課題】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタにおいて、質量フィルタの入射側及び出射側エンドキャップでの磁場分布を調整するための方法及び構造を提供する。
【解決手段】戻り経路の磁束の磁気抵抗は、入射側及び出射側エンドキャップの外径に設けられたスロット内に複数の磁気シムを設けることによって、さらに、入射側及び出射側アパーチャを囲む円形の磁束ダム内に複数の磁気プラグシムを設けることによって、変更可能である。磁場を完全に機械的に調整することの利点としては、従来の電磁石の調整方法と比較して、高い信頼性、簡素化、低コスト及び消費電力の節約を含む。質量分離の磁場を生成するため、永久磁石及び電磁石のいずれかを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。
【解決手段】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び／又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 （もっと読む）

【課題】軸合わせの作業に訓練と経験を積んだ者でなくとも、容易にかつ精度良くエネルギー分析器の位置合わせを行うことができる技術を提供する。
【解決手段】エネルギー偏向器を備えたエネルギー分析器の軸合わせを行う方法において、試料を３次元的に移動可能な試料ステージに載置し、エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた２次電子捕集器を設け、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度を検出するとともに、２次電子捕集器により２次電子を捕集し、２次電子強度を検出し、両信号強度の比を算出する手法により、ｘ−ｙ平面で１次ビームを移動させ、ｘ−ｙ平面における位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をｚ方向に移動させ、ｚ方向の位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求め、ｘ−ｙ平面におけるピーク位置とｚ方向におけるピーク位置で定まる点を最適点とする。 （もっと読む）

【課題】複数のカラムを備える粒子ビーム装置に於いて、試料との相互作用粒子の高エネルギー分解能と検出効率を実現する。
【解決手段】第１粒子ビームカラム２、第２粒子ビームカラムおよび少なくとも１つの検出器３４を有する粒子ビーム装置に於いて、検出器は第１中空体３６，３７内部の第１吸入口３９，４０を有する第１キャビティ３５，３８内において、第１粒子ビームカラム２および第２粒子ビームカラムが配置される平面とは異なる平面上に配置される。第１粒子ビームカラム２上には少なくとも１つの制御電極４１が配置され、第２粒子ビームカラムは終端電極を有する。第１相互作用粒子および／または第２相互作用粒子が第１吸入口３９，４０経由で第１中空体３６，３７内部の第１キャビティ３５，３８に入射するように、第１中空体電圧、制御電極電圧、および／または終端電極電圧を選択する。 （もっと読む）

【課題】電子分光法及び電子分光を行う装置に関する。特に、試料から表面層を選択的に除去するために用いることのできる電子分光用イオン源に関する。
【解決手段】電子分光装置２は内部に試料台６を設置した超高真空容器４を備える。イオン銃８は超高真空容器４内に伸びており、多環式芳香族炭化水素イオンビーム１０を供給する。イオンビームは使用の際、試料台の上の試料に向けられる。光子源１２は、使用時に試料上に投射する光子ビーム１４を供給するのに適合している。真空容器４の内部には光電子分光器１６が設置され、使用時に試料から放射される電子１８を検出する。 （もっと読む）

高透過およびエネルギー分解能を同時に可能にする荷電粒子エネルギー分析計が記載されている。この分析計は、内側電極表面および外側電極表面（ＩＳ、ＯＳ）それぞれを有する同軸の内側電極および外側電極（１４、１５）を含む電極構造（１１）を有する。この内側電極表面および外側電極表面は、電極構造（１１）の縦軸に対称に直交する子午表面を有する回転楕円体の表面によって、少なくとも部分的に画定されている。内側電極表面および外側電極表面は、それぞれ異なる半径Ｒ_２およびＲ_１（Ｒ_２はＲ_１より大きい。）を有する２つの非同心円の弧の縦軸回りの回転により生成される。それぞれの子午面における縦軸からの外側電極表面の距離は、Ｒ_0１であり、そしてそれぞれの平面における縦軸からの内側電極表面の距離は、Ｒ_０２およびＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_０１であり、そしてＲ_０２は、規定された関係を有する。
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完全に平坦な形態を有し、要素は平坦な非導電性基板に配置され、扇形とりわけ９０°の扇形として構成される、イオンのためのエネルギーフィルター（ｋ）と、イオン化チャンバー（ｂ）と、電子およびイオンを加速するための電極（ｇ、ｈ、ｊ）と、イオンの検出器（ｌ）と、エネルギーフィルター（ｋ）とを含むことを特徴とする質量分析計は、基板に、ドープした小さな半導体プレートおよび配線のフォトリソグラフィーおよびエッチングにより作られ、前記の部品は第２の平坦な非導電性基板により覆われている。
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【課題】半導体回路製造工程における多数の地点でのイオンエネルギー分布を測定するためのイオン分析システムを提供する。
【解決手段】イオンエネルギー分布関数を測定するために１つのシステムに組合わせた少なくとも２つのイオンフラックスセンサー３３１、３３２を具備する。該イオンフラックスセンサーは大きさが５０マイクロメートル未満の孔を有するセルを具備する。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムのイオン分析が可能であって高効率かつ安価なイオン分析装置を提供する。
【解決手段】イオン分析装置１は、イオン発生源９から発生したイオンの比電荷および運動エネルギを分析するトムソンパラボラ型のものであって、真空容器１０の内部に配置されており、コリメータ１１、電磁場発生部１２、金属箔１３ａ，１３ｂ、プラスチックシンチレータ１４、光フィルタ１５、光検出部１６、分析部１７、制御部１８および表示部１９を備える。プラスチックシンチレータ１４は、電磁場発生部１２により形成された電磁場により偏向され金属箔１３ａ，１３ｂを通過して到達したイオンを主面に入射して、そのイオン入射位置から光を発生する。 （もっと読む）

【課題】
同心円筒鏡型のエネルギー分光器を有するオージェ電子分光分析装置を用いた固体表面の化学状態を分析法において、運動エネルギーの高い成分の検出する分解能を向上させる装置及び方法を提供することである。より具体的には、ＣＭＡ型のＡＥＳ装置を用いて、運動エネルギーの高いオージェ電子を測定する際に、運動エネルギーの低いオージェ電子を測定したときと同程度の分解能を備えた分析方法及び分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
測定中の試料に、グランドに対して正のバイアス電圧を印加したところ、試料から検出されたオージェ電子の運動エネルギーが、負の方向に平行移動したように減少した。このため、従来運動エネルギーの高いオージェ電子を検出する成分においても、運動エネルギーの低い領域でオージェ電子が検出することができた。 （もっと読む）